本設(shè)備是通過(guò)控制沉積周期的次數(shù)進(jìn)而實(shí)現(xiàn)薄膜厚度的精確控制支撐器件芯片研制和工藝研發(fā)。 查看詳情>>
子層沉積系統(tǒng) 查看詳情>>
建設(shè)地點(diǎn)：北京市順義區(qū)高麗營(yíng)鎮(zhèn)金馬園一街17號(hào)院5號(hào)樓、7號(hào)樓 公示時(shí)間：2025-12-09至2 查看詳情>>
子層沉積設(shè)備采購(gòu)項(xiàng)目 查看詳情>>
采購(gòu)刻蝕機(jī)、鍍膜設(shè)備配套工藝氣體供氣系統(tǒng)，包括CH2F2特氣供系統(tǒng)、BCL3與CL2/AR特氣供氣系 查看詳情>>
采購(gòu)項(xiàng)目名稱 原子層沉積設(shè)備采購(gòu)項(xiàng)目 品目 貨物/設(shè)備/儀器儀表/試驗(yàn)儀器及裝置/其他試驗(yàn)儀器及裝置 采購(gòu)單位 zycgr22011902 行政區(qū)域 北京市 公告時(shí)間 2025年10月30日 18:23 首次公告日期 2 查看詳情>>
采購(gòu)項(xiàng)目名稱 原子層沉積設(shè)備采購(gòu)項(xiàng)目 品目 貨物/設(shè)備/儀器儀表/試驗(yàn)儀器及裝置/其他試驗(yàn)儀器及裝置 采購(gòu)單位 zycgr22011902 行政區(qū)域 北京市 公告時(shí)間 2025年10月30日 16:43 首次公告日期 2 查看詳情>>
子層沉積設(shè)備主機(jī)及配套附件，上述設(shè)備和材料的設(shè)計(jì)、制造、試驗(yàn)、供貨、安裝、培訓(xùn)、工藝調(diào)試及其它現(xiàn)場(chǎng)技術(shù)服務(wù)。 查看詳情>>
公告概要： 公告信息： 采購(gòu)項(xiàng)目名稱 北京科技大學(xué)集成電路介電材 查看詳情>>
采購(gòu)刻蝕機(jī)、鍍膜設(shè)備配套工藝氣體泄漏安全檢測(cè)系統(tǒng)，包括硬件和性能參數(shù)、售后服務(wù)等。 查看詳情>>
用具有較高集成度的原子層沉積工藝制備高精度、高均勻性、高質(zhì)量的先進(jìn)薄膜材料覆蓋導(dǎo)體、絕緣體及半導(dǎo)體包括單質(zhì)、氧化物、氮化物、二維材料等復(fù)雜材料體系開(kāi)發(fā)前沿 查看詳情>>
子層沉積主要用于沉積氧化物、氮化物及金屬薄膜主要應(yīng)用于OLED、玻璃強(qiáng)化、太陽(yáng)能電池鈍化層、微米納米顆粒功能性包裹、銀器的防氧化處理、高精度光學(xué)玻璃鍍膜和鋰電池等 查看詳情>>
子層沉積系統(tǒng) 查看詳情>>
公告概要： 公告信息： 采購(gòu)項(xiàng)目名稱 北京科技大學(xué)集成電路介電材 查看詳情>>
采購(gòu)刻蝕機(jī)、鍍膜設(shè)備配套工藝氣體氣路分配系統(tǒng)，包含硬件和性能參數(shù)要求，需符合半導(dǎo)體工藝氣體相應(yīng)純度要 查看詳情>>
子層沉積系統(tǒng)1臺(tái)套要求設(shè)備所能處理的最大卷材寬度不低于200mm;生長(zhǎng)速率氧化鋁不低于0.9A/Cycle;設(shè)備能夠處理的基底厚度范圍不少于0.05-0.2mm;基底能夠穩(wěn)定通過(guò)反應(yīng)區(qū)的最大速 查看詳情>>
關(guān)于發(fā)布原子級(jí)制造基礎(chǔ)研究重大研究計(jì)劃2025年度項(xiàng)目指南的通告國(guó)科金發(fā)計(jì)〔2025〕211號(hào)
招標(biāo)信息 | 2025-08-12丨 北京
原子級(jí)制造基礎(chǔ)研究重大研究計(jì)劃2025年度項(xiàng)目指南，旨在圍繞批量原子操控這一核心目標(biāo)，聚焦原子尺度下 查看詳情>>
亞納米器件關(guān)鍵薄膜原子層沉積設(shè)備（清采比選20251155號(hào)）成交結(jié)果公告 成交信息 選標(biāo)理由：無(wú) 開(kāi)始時(shí)間：2025-07-07 15:02:43 公告截止日期： 采購(gòu)單位：清華大學(xué) 查看詳情>>
亞納米器件關(guān)鍵薄膜原子層沉積設(shè)備（清采比選20251155號(hào)）采購(gòu)公告 開(kāi)始時(shí)間：2025-07-04 14:42:54 公告截止日期：2025-07-07 15:00:00 采購(gòu)單位：清華大學(xué) 報(bào)價(jià)地址： 見(jiàn)內(nèi)容 查看詳情>>
/17 招標(biāo)范圍：原子層沉積設(shè)備 招標(biāo)機(jī)構(gòu)：中電商務(wù)（北京）有限公司 招標(biāo)人：北京京東方創(chuàng)元科技有限公司 開(kāi)標(biāo)時(shí)間：2025-06-25 10:00 公示時(shí)間：2025-06-27 17:46 - 2025-07-02 23:59 中標(biāo)結(jié)果公告時(shí)間：2025-07-03 11:13 中標(biāo)人：青島思銳 查看詳情>>
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/17 招標(biāo)范圍：原子層沉積設(shè)備 招標(biāo)機(jī)構(gòu)：中電商務(wù)（北京）有限公司 招標(biāo)人：北京京東方創(chuàng)元科技有限公司 開(kāi)標(biāo)時(shí)間：2025-06-25 10:00 公示開(kāi)始時(shí)間：2025-06-27 17:46 評(píng)標(biāo)公示截止時(shí)間：2025-07-02 23:59 中標(biāo)候選人名單： 候選人排名 投標(biāo)商名稱 查看詳情>>
該設(shè)備用于氧化鉿的高均勻性生長(zhǎng)需滿足以下條件：1、內(nèi)外雙腔結(jié)構(gòu)內(nèi)腔可拆卸；2、配備loadlock腔 查看詳情>>
該設(shè)備用于三氧化二鋁的高均勻性生長(zhǎng)需滿足以下條件：1、內(nèi)外雙腔結(jié)構(gòu)內(nèi)腔可拆卸；2、配備loadloc 查看詳情>>
中電商務(wù)（北京）有限公司受招標(biāo)人委托對(duì)下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國(guó)際公開(kāi)競(jìng)爭(zhēng)性招標(biāo)，于2025-06- 查看詳情>>
中電商務(wù)（北京）有限公司受招標(biāo)人委托對(duì)下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國(guó)際公開(kāi)競(jìng)爭(zhēng)性招標(biāo)，于2025-06- 查看詳情>>
中電商務(wù)（北京）有限公司受招標(biāo)人委托對(duì)下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國(guó)際公開(kāi)競(jìng)爭(zhēng)性招標(biāo)，于2025-06- 查看詳情>>
中電商務(wù)（北京）有限公司受招標(biāo)人委托對(duì)下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國(guó)際公開(kāi)競(jìng)爭(zhēng)性招標(biāo)，于2025-06-0 查看詳情>>
中電商務(wù)（北京）有限公司受招標(biāo)人委托對(duì)下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國(guó)際公開(kāi)競(jìng)爭(zhēng)性招標(biāo)，于2025-06-0 查看詳情>>
中電商務(wù)（北京）有限公司受招標(biāo)人委托對(duì)下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國(guó)際公開(kāi)競(jìng)爭(zhēng)性招標(biāo)，于2025-06-0 查看詳情>>
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中電商務(wù)（北京）有限公司受招標(biāo)人委托對(duì)下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國(guó)際公開(kāi)競(jìng)爭(zhēng)性招標(biāo)，于2025-05- 查看詳情>>
中電商務(wù)（北京）有限公司受招標(biāo)人委托對(duì)下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國(guó)際公開(kāi)競(jìng)爭(zhēng)性招標(biāo)，于2025-05- 查看詳情>>
中電商務(wù)（北京）有限公司受招標(biāo)人委托對(duì)下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國(guó)際公開(kāi)競(jìng)爭(zhēng)性招標(biāo)，于2025-05- 查看詳情>>
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膜厚均勻性（WiW<3%WtW<3%BtB<2%）；階梯覆蓋率100%。 查看詳情>>
子層沉積系統(tǒng)：均勻性優(yōu)于+/-0.35%、階梯覆蓋率100%、并可以實(shí)現(xiàn)大于 查看詳情>>
