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序號貨物名稱技術參數(shù)數(shù)量單位1掃描NV探針顯微鏡1）微波控制系統(tǒng)▲1微波輸出頻段：07~40GHz▲2微波輸出功率：≥10W3微波頻率精度：≤001Hz4微波源功率精度：≤05dB2）共聚焦系統(tǒng)1激光中心波長：520±10nm2激光功率：≥10mW3激光開關比：≥50dB4納米臺掃描范圍（300K）：≥40μm×40μm×40μm5納米臺分辨率（300K）：≤1nm6微米臺移動范圍（300K）：≥4mm×4mm×3mm7微米臺分辨率（300K）：≤1μm8納米臺掃描范圍（4K）：≥10μm×10μm×10μm9納米臺分辨率（4K）：≤1nm10微米臺移動范圍（4K）：≥4mm×4mm×3mm11微米臺分辨率（4K）：≤1μm12熒光收集：650nm~1060nm（典型值）13探測器：單光子探測器14探測效率：≥65%@650nm15物鏡數(shù)值孔徑：≥06016物鏡倍數(shù)：40x17物鏡工作距離：≥40mm3）脈沖控制系統(tǒng)▲1時序精度：≤1ns2最小脈寬：≤75ns1臺3最大脈寬：≥2s4通道數(shù)：≥8個▲5脈沖個數(shù)：≥1066輸出電平：33V±1%4）NV掃描探針系統(tǒng)▲1金剛石探針數(shù)量：≥2根2每根探針NV色心數(shù)量：≥3個3納米掃描臺范圍（300K）：≥40μm×40μm×40μm4納米臺分辨率（300K）：≤1nm5微米臺移動范圍（300K）：≥4mm×4mm×3mm6微米臺分辨率（300K）：≤1μm7納米掃描臺范圍（4K）：≥10μm×10μm×10μm8納米臺分辨率（4K）：≤1nm9微米臺移動范圍（4K）：≥4mm×4mm×3mm10微米臺分辨率（4K）：≤1μm▲11磁靈敏度：≤5μT/sqrt(Hz)12磁成像分辨率：≤30nm5）控制軟件單等高線磁成像、雙等高線磁成像、連續(xù)波譜成像、熒光掃描成像、原子力顯微鏡成像、磁力顯微鏡成像、共聚焦成像、光探測磁共振譜測量。6）干式低震動無液氦低溫矢量超導磁體系統(tǒng)1磁場強度：9/1/1T三軸磁體系統(tǒng)（Z方向≥9T，其他任意方向≥1T）2孔徑：≥25英寸3Z方向磁場均勻性：±01%@10mmDSV4Y方向磁場均勻性：±10%@10mmDSV5X方向磁場均勻性：±10%@10mmDSV6四象限雙極性電流源×3臺，≥2kW、具備自動失超探測和保護功能，真空泵車：真空度≤10-6mbar7低溫系統(tǒng)：71樣品最低溫度：≤3K；72變溫范圍：最低溫度~室溫；73制冷機：42K分離閥脈管制冷機；74制冷功率：15W@42K(二級冷頭)75冷卻循環(huán)水：6~9L/min@5~25℃；76溫控：高精度PID控溫儀：±50mK@<77K，±100mK@>77K。8減震平臺：主動減震平臺，減振效果：≤100nm@1~5Hz；≤1~100nm@5~20Hz；≤1nm@20~200Hz9插桿升降平移系統(tǒng)：X-Z高精度伺服控制系統(tǒng)：豎直Z方向行程≥1000nm，水平XY方向行程≥800nm