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zycgr22011903電感耦合等離子體-反應(yīng)離子刻蝕(ICPRIE)招標(biāo)文件項(xiàng)目編號：0747-2561SCCCQ064采購人：zycgr22011903采購代理機(jī)構(gòu)：中化商務(wù)有限公司2025年11月I目錄第一章投標(biāo)邀請1第二章投標(biāo)人須知前附表和投標(biāo)人須知4投標(biāo)人須知前附表4投標(biāo)人須知10一、說明10二、招標(biāo)文件10三、投標(biāo)文件的編制11四、投標(biāo)文件的遞交13五、開標(biāo)與評標(biāo)14六、授予合同18七、其他19第三章評標(biāo)方法和評標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)21一、評標(biāo)方法21二、評標(biāo)中的落實(shí)政府采購政策具體辦法211、促進(jìn)中小企業(yè)、殘疾人福利性單位、監(jiān)獄企業(yè)政策落實(shí)212、鼓勵節(jié)能、環(huán)保政策落實(shí)22三、評標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)23第四章技術(shù)服務(wù)需求26第五章擬簽訂的合同文本30第六章投標(biāo)文件格式41商務(wù)技術(shù)文件分冊封面建議格式42評分索引表建議格式43附件1投標(biāo)函格式44附件2開標(biāo)一覽表格式46投標(biāo)人開票信息表格式47附件3投標(biāo)分項(xiàng)報(bào)價(jià)表格式48附件4技術(shù)服務(wù)需求偏離表格式49附件5合同條款偏離表格式51附件6法定代表人授權(quán)書格式52附件7詳細(xì)的技術(shù)服務(wù)響應(yīng)537-1、擬派實(shí)施人員匯總表格式537-2、擬派實(shí)施人員簡歷格式547-3、貨物配置一覽表建議格式55附件8相關(guān)評審證明材料以及其他材料56II8-1、相關(guān)業(yè)績表建議格式568-2、其它招標(biāo)文件要求的或投標(biāo)人認(rèn)為應(yīng)當(dāng)或有必要提供的資料56資格、資信證明文件分冊封面建議格式57附件9資格、資信證明文件589-5、具備履行合同所必需的設(shè)備和專業(yè)技術(shù)能力的證明材料609-6、參加政府采購活動前三年內(nèi)，在經(jīng)營活動中沒有重大違法記錄的聲明格式619-7、投標(biāo)人針對投標(biāo)人須知22條第3項(xiàng)第（2）款的聲明格式629-8、聯(lián)合體協(xié)議格式63附件10政府采購政策落實(shí)附件及其他文件6410-1、中小企業(yè)聲明函格式6410-2、殘疾人福利性單位聲明函格式661第一章投標(biāo)邀請項(xiàng)目概況電感耦合等離子體-反應(yīng)離子刻蝕(ICPRIE)的潛在投標(biāo)人應(yīng)在中化商務(wù)電子招投標(biāo)平臺(ebidsinochemitccom)（本項(xiàng)目采購文件一律通過線上登記方式獲?。┇@取招標(biāo)文件，并于2025年11月26日14:00（北京時(shí)間）前遞交投標(biāo)文件。一、項(xiàng)目基本情況：項(xiàng)目編號：0747-2561SCCCQ064項(xiàng)目名稱：電感耦合等離子體-反應(yīng)離子刻蝕(ICPRIE)預(yù)算金額：1650萬元（人民幣）最高限價(jià)：1650萬元（人民幣）采購需求：（1）采購需求一覽表：包件號包件名稱標(biāo)的名稱數(shù)量預(yù)算（萬元）交貨期交貨地點(diǎn)簡要技術(shù)要求/項(xiàng)目基本概況/用途：是否允許進(jìn)口產(chǎn)品投標(biāo)1電感耦合等離子體-反應(yīng)離子刻蝕(ICPRIE)電感耦合等離子體-反應(yīng)離子刻蝕(ICPRIE)1臺1650合同簽訂后6個(gè)月內(nèi)具備發(fā)貨條件，在收到采購人發(fā)貨通知后2個(gè)月內(nèi)送達(dá)采購人指定地點(diǎn)。采購人指定地點(diǎn)采購1臺電感耦合等離子體-反應(yīng)離子刻蝕(ICPRIE)，該設(shè)備擁有兩個(gè)獨(dú)立的射頻電源。額外引入的電感耦合等離子體源射頻電源，是一個(gè)獨(dú)立的高密度等離子體源，可通過感應(yīng)耦合方式產(chǎn)生并維持極高密度的等離子體。再通過放置在樣品下的偏壓射頻電源形成偏壓，從而控制轟擊樣品表面的離子能量。設(shè)備可實(shí)現(xiàn)更高精度的刻蝕加工能力，具備更高深寬比、更高選擇比和更低損傷。該設(shè)備對柔性器件的先進(jìn)微納圖形轉(zhuǎn)移和結(jié)構(gòu)成型至關(guān)重要。否（2）是否專門面向中小企業(yè)或小型、微型企業(yè)采購：否。注：投標(biāo)必須以采購包（也稱為“包件”或“包”）為單位，對所投包件號中的所有內(nèi)容進(jìn)行投標(biāo)，不允許將包件拆開投標(biāo),也不允許將幾個(gè)包件合并報(bào)一個(gè)價(jià)格投標(biāo)，評標(biāo)、授標(biāo)以包件為單位。合同履行期限：自合同簽訂之日起至質(zhì)量保證期結(jié)束。本項(xiàng)目不接受聯(lián)合體投標(biāo)。二、申請人的資格要求：1滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定；