懷環(huán)審字〔2025〕35號北京市懷柔區(qū)生態(tài)環(huán)境局關(guān)于6英寸MEMS晶圓中試生產(chǎn)線和研發(fā)平臺建設(shè)項目環(huán)境影響報告表的批復(fù)
審批公示 | 2025-12-26丨 北京
擬建項目位于北京市懷柔區(qū)懷柔新城0101街區(qū)懷柔科學(xué)城產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)化示范區(qū)A1棟，租用A1棟廠房部分區(qū)域進 查看詳情>>
非甲烷總烴表征）、氯化氫和噴碼產(chǎn)生的有機廢氣（用非甲烷總烴表征）由集氣罩收集后，經(jīng)二級活性炭吸附裝置處理后通過3根15m高DA003-DA005排氣筒排放。退火產(chǎn)生的有機廢氣（用非甲烷總烴表征）由集氣罩收集后，經(jīng)二級活 查看詳情>>
氮氧化物、氟化氫、氯化氫、氯氣等酸性廢氣；SiF4、SF6、SF4、CHF3、C4F8等氟化物；HMDS、TMAH、丙酮、異丙醇等揮發(fā)性有機物；氨等堿性廢氣。酸性廢氣處理系統(tǒng)設(shè)堿液洗滌塔 查看詳情>>
