統(tǒng)：X/Y/Z三軸超高性能線性電機驅(qū)動掃描系統(tǒng)，X/Y軸具有內(nèi)置磁力懸浮機構(gòu)，在高速掃描過程中可隔絕振動的影響，并采用光學編碼接口的驅(qū)動方式，Z軸采用觸發(fā)接口的驅(qū)動方式掃描范圍：X-Y方向：最小0.2×0.2mm... 查看詳情>>
統(tǒng)：X/Y/Z三軸超高性能線性電機驅(qū)動掃描系統(tǒng)，X/Y軸具有內(nèi)置磁力懸浮機構(gòu)，在高速掃描過程中可隔絕振動的影響，并采用光學編碼接口的驅(qū)動方式，Z軸采用觸發(fā)接口的驅(qū)動方式掃描范圍：X-Y方向：最小0.2×0.2mm，最... 查看詳情>>
