參數(shù)要求涂層厚度檢測儀:測量厚度范圍001-600μm,測量準確度±4%,復現(xiàn)精度<3%,點解電流精度±03%,測量面直徑φ14mm,線材與柱面測量范圍005-5mm,+10—+40℃,相對濕度不大于85%。數(shù)量:1氣密檢測儀:分辨率5pa,正壓測試5-700kpa,輸入信號7個,輸出信號7個,測試品容積小于10升。數(shù)量:1
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