1采購需求一總體說明1本章所提出的技術(shù)要求是對(duì)本次招標(biāo)貨物及伴隨服務(wù)的基本要求,并未涉及所有技術(shù)細(xì)節(jié),也未充分引述有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范的全部條款。投標(biāo)人應(yīng)保證其提供的貨物及伴隨服務(wù)除了滿足本技術(shù)要求外,還應(yīng)符合中國國家、行業(yè)、地方或設(shè)備制造商所在國的有關(guān)強(qiáng)制性標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范。當(dāng)上述標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范的有關(guān)規(guī)定之間存在差異時(shí),應(yīng)以要求高的為準(zhǔn)。2本章中提及的工藝、材料、設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)及品牌或型號(hào)(如有)僅起說明作用,并沒有強(qiáng)制性。投標(biāo)人在投標(biāo)中可以用替代工藝、材料、設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)及品牌或型號(hào),但這種替代須實(shí)質(zhì)上滿足、等同或優(yōu)于本章技術(shù)要求,同時(shí)須提供相關(guān)證明材料,否則可能被評(píng)標(biāo)委員會(huì)認(rèn)定為負(fù)偏離。3除非有特別說明,本章中所列的具體參數(shù)或參數(shù)范圍,均理解為采購人可接受的最低要求。4“3技術(shù)要求”中標(biāo)記“★”技術(shù)要求為實(shí)質(zhì)性要求,不接受負(fù)偏離,如有負(fù)偏離,視為無效投標(biāo),標(biāo)記“▲”及未標(biāo)記技術(shù)要求根據(jù)評(píng)分辦法中相關(guān)規(guī)定進(jìn)行評(píng)審。5中標(biāo)的核心產(chǎn)品的數(shù)量、單價(jià)、規(guī)格等將予以公布。二技術(shù)規(guī)格要求1項(xiàng)目簡介合肥同步輻射裝置儀器設(shè)備更新改造項(xiàng)目計(jì)劃建設(shè)計(jì)量標(biāo)定平臺(tái)以提升軟X射線-極紫外波段光學(xué)元件高精度測(cè)量能力,為支撐平臺(tái)所需精密光學(xué)元件的研發(fā)與制作,現(xiàn)擬采購離子束拋光設(shè)備1臺(tái)。2需求明細(xì)本項(xiàng)目招標(biāo)采購離子束拋光設(shè)備1臺(tái)。2采購清單采購標(biāo)的名稱數(shù)量單位離子束拋光設(shè)備1臺(tái)3技術(shù)要求功能描述:主要用于光學(xué)元件基底的精密拋光修形,在超光滑光學(xué)元件基底加工中可以用于實(shí)現(xiàn)納米級(jí)及亞納米級(jí)超高精度面形修正,顯著降低中高頻誤差,精確控制邊緣輪廓,獲得原子級(jí)光滑表面。擬購置的離子束拋光設(shè)備主體由真空腔室、運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、離子源系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)及工藝軟件等組成,其技術(shù)要求如下:表31技術(shù)要求表項(xiàng)目技術(shù)要求編號(hào)需求設(shè)備整體★31設(shè)備整體采用臥式加工方案。32可加工平面、球面、非球面及自由曲面光學(xué)元件?!?3最大可加工工件長度≥800mm;面形精度≤1nmRMS。34可加工的材料包括但不限于:微晶玻璃、ULE、融石英、KDP、K9、SiC、Si以及其他光學(xué)材料。真空腔室★35除主真空腔室外,應(yīng)配備副真空腔室以滿足小尺寸樣品(口徑≤300mm)快速加工需求?!?6主真空腔室本底真空≤5×10-3Pa;副真空腔室本底真空≤1×10-2Pa。37主真空腔室安裝離子源、工裝夾具及運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu),集成三坐標(biāo)測(cè)頭和法拉第杯束流測(cè)量系統(tǒng);副真空腔室安裝工裝夾具及傳輸機(jī)構(gòu)。運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)★38至少為主真空腔室X、Y、Z1軸、副真空腔室Z2軸,四軸三聯(lián)動(dòng)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)。3▲39X軸運(yùn)動(dòng)行程≥1000mm;Y軸運(yùn)動(dòng)行程≥600mm;Z1軸運(yùn)動(dòng)行程≥300mm。X軸最大運(yùn)動(dòng)速度≥5m/分鐘;Y軸最大運(yùn)動(dòng)速度≥5m/分鐘;Z1軸最大運(yùn)動(dòng)速度≥5m/分鐘?!?10各軸重復(fù)定位精度≤10μm;三坐標(biāo)測(cè)頭運(yùn)動(dòng)測(cè)量重復(fù)精度≤5μm。離子源▲311離子源臥式安裝;采用射頻離子源,射頻功率≥300W,離子源維護(hù)周期≥300小時(shí)?!?12離子源無鎢絲噴濺,內(nèi)置中和器,束流密度穩(wěn)定性≤5%。▲313離子束輸出束斑可調(diào)范圍:05mm~35mm,束流均勻性≤4%,離子能量范圍:300eV~1600eV。真空系統(tǒng)▲314抽氣泵組采用無油泵與分子泵組合;主真空腔室真空建立(≤5×10-3Pa)時(shí)間≤15小時(shí);副真空腔室真空建立(≤1×10-2Pa)時(shí)間≤15分鐘。315配備真空規(guī),測(cè)量范圍覆蓋105Pa~10-3Pa。電氣控制系統(tǒng)316控制系統(tǒng)具有真空系統(tǒng)參數(shù)與狀態(tài)監(jiān)控、操作過程控制等功能;具有水電氣監(jiān)控系統(tǒng)的狀態(tài)顯示及控制功能;能夠?qū)﹄x子源的參數(shù)進(jìn)行設(shè)置與監(jiān)控;具有運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)控制與位置反饋功能;具有運(yùn)動(dòng)點(diǎn)位控制和手輪控制功能。317具備一鍵開機(jī)和一鍵關(guān)機(jī)功能;具備限位保護(hù);插板閥與運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)具備聯(lián)動(dòng)安全保護(hù);具備加工保護(hù)功能,當(dāng)離子源故障時(shí),加工暫停,運(yùn)動(dòng)故障時(shí),加工暫停,并關(guān)閉束流;具備日志記錄功能;具備誤操作保護(hù)功能。工藝軟件318工藝計(jì)算軟件可通過干涉儀的測(cè)量數(shù)據(jù),計(jì)算駐留4時(shí)間,仿真加工過程、預(yù)測(cè)加工結(jié)果、分析加工結(jié)果等;可實(shí)現(xiàn)離子束加工的去除函數(shù)建模、面形數(shù)據(jù)輸入與處理、手動(dòng)及自動(dòng)的加工工藝參數(shù)選擇和加工路徑調(diào)整、加工面形精度預(yù)測(cè)與加工時(shí)間預(yù)算、生成加工文件等;可以對(duì)比加工前后面形,對(duì)加工過程進(jìn)行分析,對(duì)材料去除效率等因素偏差進(jìn)行辨識(shí)補(bǔ)償控制。4出廠測(cè)試要求供應(yīng)商根據(jù)采購人認(rèn)可的測(cè)試大綱按照各部件的關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)以及系統(tǒng)集成后的關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)進(jìn)行測(cè)試,包括準(zhǔn)備所需的測(cè)試設(shè)備和測(cè)量工具。5其他事項(xiàng)如供應(yīng)商原因?qū)е陆桓哆M(jìn)度延期,采購人駐廠費(fèi)用由供應(yīng)商承擔(dān),包括但不限于交通、食宿等費(fèi)用。6項(xiàng)目交付進(jìn)度及其他交付時(shí)間:合同簽訂后10個(gè)月內(nèi)完成交付。交付地點(diǎn):安徽省合肥市中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)國家同步輻射實(shí)驗(yàn)室。交付方式:供應(yīng)商承擔(dān)所有設(shè)備的運(yùn)輸、安裝、配合采購人完成驗(yàn)收,并承擔(dān)相應(yīng)費(fèi)用。7驗(yàn)收71驗(yàn)收流程711出廠測(cè)試(1)產(chǎn)品在出廠前,供應(yīng)商需按照采購人認(rèn)可的測(cè)試大綱進(jìn)行嚴(yán)格檢驗(yàn),包括完成機(jī)械尺寸、功能測(cè)試及性能指標(biāo)測(cè)試等并提供完備的測(cè)試報(bào)告。設(shè)備在供應(yīng)商處完成調(diào)試達(dá)到測(cè)試指標(biāo)后,供應(yīng)商組織出廠測(cè)試,采購人參加。(2)出廠測(cè)試合格后,供應(yīng)商負(fù)責(zé)將設(shè)備運(yùn)至交貨地點(diǎn),設(shè)備運(yùn)輸和保險(xiǎn)由供應(yīng)商負(fù)責(zé)。712安裝及驗(yàn)收(1)裝配工作由供應(yīng)商配合采購人完成,同時(shí)配合采購人完成驗(yàn)收。設(shè)備到達(dá)安裝地點(diǎn)后,供應(yīng)商需在15個(gè)工作日內(nèi)完成設(shè)備的安裝、調(diào)試等工作。(2)系統(tǒng)或部件如有質(zhì)量問題需要返廠維修,供應(yīng)商負(fù)責(zé)承擔(dān)一切費(fèi)用,并在采購人規(guī)
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