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1采購需求一總體說明1總體說明11本章所提出的技術(shù)要求是對本次招標(biāo)貨物及伴隨服務(wù)的基本要求，并未涉及所有技術(shù)細(xì)節(jié)，也未充分引述有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范的全部條款。投標(biāo)人應(yīng)保證其提供的貨物及伴隨服務(wù)除了滿足本技術(shù)要求外，還應(yīng)符合中國國家、行業(yè)、地方或設(shè)備制造商所在國的有關(guān)強制性標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范。當(dāng)上述標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范的有關(guān)規(guī)定之間存在差異時，應(yīng)以要求高的為準(zhǔn)。12本章中提及的工藝、材料、設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)及品牌或型號（如有）僅起說明作用，并沒有強制性。投標(biāo)人在投標(biāo)中可以用替代工藝、材料、設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)及品牌或型號，但這種替代須實質(zhì)上滿足、等同或優(yōu)于本章技術(shù)要求，同時須提供相關(guān)證明材料，否則可能被評標(biāo)委員會認(rèn)定為負(fù)偏離。13除非有特別說明，本章中所列的具體參數(shù)或參數(shù)范圍，均理解為招標(biāo)人可接受的最低要求。2采購內(nèi)容標(biāo)的名稱單位數(shù)量備注磁控濺射（氧化物）套1包含進樣腔、濺射主腔、濺射電源、磁控濺射靶槍、工件臺、真空檢測模塊、氣體流量控制模塊、膜厚監(jiān)控模塊、進樣腔及自動傳樣模塊、及系統(tǒng)自動控制及操作軟件。供應(yīng)商須隨設(shè)備提供以下附件，無需在投標(biāo)文件中單獨報價，下述附件價格，視為已包含在投標(biāo)報價內(nèi)。序號附件名稱單位數(shù)量1密封圈套12螺釘螺母套13觀察窗密封玻璃個14靶槍陽極罩個65靶槍擋板個66內(nèi)襯板套27工件盤個128設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)維修工具套13技術(shù)要求31標(biāo)識符號標(biāo)識類型標(biāo)識符號標(biāo)識符號含義實質(zhì)性參數(shù)★負(fù)偏離或未響應(yīng)視為實質(zhì)性不響應(yīng)招標(biāo)文件要求重要參數(shù)●重要技術(shù)指標(biāo)，根據(jù)評分辦法中相關(guān)要求進行評審一般參數(shù)無標(biāo)識一般技術(shù)指標(biāo)，根據(jù)評分辦法中相關(guān)要求進行評審注：標(biāo)識條款中如包含多條子項技術(shù)參數(shù)或要求，則需滿足或優(yōu)于該標(biāo)識條款內(nèi)所有子項技術(shù)參數(shù)或要求方能得分。32技術(shù)要求整機★1鍍膜均勻性：≤±5%；●2鍍膜重復(fù)性：≤±1%（投標(biāo)文件中需要提供膜厚測試數(shù)據(jù)）；●3膜層致密度：可以鍍制高致密薄膜，膜層致密無溫飄，水煮1小時后使用分光光度計或橢偏儀測量單層膜峰值波長漂移≤02%；高溫?zé)嵬斜P烘烤后不炸膜（投標(biāo)文件中需提供反射譜或橢偏儀測試數(shù)據(jù)，以及烘烤前后的照片）；●4鍍膜表面粗糙度：氧化硅厚度≥500nm的情況下，表面粗糙度（Rq）≤015nm（投標(biāo)文件中需提供原子力顯微鏡數(shù)據(jù)，掃描范圍為5×5平方微米，并附上計算后的Rq數(shù)值）；●5高反膜反射率：在氧化硅/氧化鉭膜系的高反膜，實現(xiàn)反射率≥99999%@1397nm（投標(biāo)文件中需提供光腔衰蕩測試數(shù)據(jù)、擬合結(jié)果、計算公式等）。濺射主腔1濺射主腔由304不銹鋼材質(zhì)組成，方形腔室尺寸不小于650mm；前開門，工藝腔室門上需帶有至少一個觀察窗以無障礙觀察所有濺射源和工件盤；真空腔尺寸需滿足可同時容納至少3個直徑不小于4英寸的圓形靶槍及1個不小于8英寸的襯底工件臺；2至少配備2組分子泵，每組氮氣抽速≥1300L/s；3至少配備1組低溫泵，氮氣抽速≥5500L/s，水汽抽速≥16000L/s；4至少配備1組干式機械泵組（干泵+羅茨泵），總抽速≥120m3/h；★5實現(xiàn)工藝腔室極限真空度≤1×10-7Torr；6真空抽速：工藝腔室從大氣抽到5×10-6Torr的時間≤30分鐘；7真空室漏率≤5×10-5Torr·L/s；8具有加熱絲烘烤除氣功能，最高升溫范圍≥150℃。濺射電源★1DC脈沖電源：至少配置兩個直流脈沖電源，功率≥15KW，占空比可調(diào)，全部輸出到自動切換器，支持所有靶槍；★2射頻電源：至少配置兩個射頻電源，功率≥1000W，自動匹配，匹配時間≤3s；連續(xù)濺射半個小時，輸出功率波動≤3W；其中1個電源輸出到自3動切換器,可支持至少1個以上靶槍實現(xiàn)射頻濺射，另一個電源支持工件臺實現(xiàn)射頻偏壓預(yù)清洗功能。磁控濺射靶槍★1配備直徑4英寸的圓形濺射靶槍≥3個；2可手動調(diào)節(jié)入射角度及其與工件盤的距離；帶有獨立電控氣動擋板和防交叉污染設(shè)計；3背板散熱效果好，確保靶材不變形；帶有靶材使用壽命檢測報警、擋板打開到位檢測報警、靶槍冷卻水互鎖保護功能等。工件臺●1工件盤直徑(樣品托盤)≥8英寸，控溫范圍10-120℃,控溫精度≤±3℃;★2工件盤轉(zhuǎn)速5~40RPM可調(diào)可控；可實現(xiàn)射頻偏壓預(yù)清洗功能。真空檢測模塊1工藝室、進樣室和低溫泵各自配有1個用于檢測真空程度的全量程真空計，真空度測量范圍至少覆蓋1大氣壓到3×10-9Torr。氣體流量控制模塊1獨立控制氣體通道≥8個，流量計控制精度值優(yōu)于最大量程的±1%膜厚監(jiān)控模塊1采用時間控制+石英晶體膜厚控制；★2一組六點旋轉(zhuǎn)式探頭，用于膜厚監(jiān)控；傳感頭的換位、接觸、冷卻均穩(wěn)定可靠；3設(shè)計安裝時考慮有效可避免靶槍磁場對膜厚監(jiān)控的干擾影響；4集成到主控制系統(tǒng)，程序內(nèi)置邏輯使時間控制和晶控控制協(xié)同工作；進樣腔及自動傳樣模塊1單片進樣腔，裝載量為1個工件盤；兼容8英寸及以下基片；●2全自動程序控制，機械手送片、取片，機械手最大承重量≥5公斤；傳送可靠性驗證方式，連續(xù)傳送100次不出現(xiàn)故障。3配帶觀察窗口觀察機械手運動情況；配備獨立真空系統(tǒng)，抽速≥1300L/s的分子泵以及總抽速≥120m3/h的干式泵組；★4具備烘烤功能，且最高烘烤溫度≥150℃；離子源輔助功能1配備至少一個RF離子源；2輸出功率≥600W，孔徑≥100mm；3工藝氣體包含氧氣、氬氣、氮氣、或上述混合氣體。系統(tǒng)自動控制及操作軟件1全自動程序控制，實現(xiàn)“一鍵式”程序完成，過程全自動操作；PC+PLC控制模式，中文圖形化監(jiān)控界面，根據(jù)用戶權(quán)限分級管理，具備多種操作模式；2具備互鎖保護功能，包括但不限于：靶槍冷卻水與電源、真空計與靶槍電源，并且設(shè)備突然斷電時，所有閥門能夠自動關(guān)閉；3操作軟件具備日志功能，自動存儲主要工藝參數(shù)備查；操作軟件具備工藝參數(shù)實時圖形顯示功能和歷史數(shù)據(jù)圖形分析功能；4設(shè)備控制配有完整的互鎖功能和報警功能，至少包括：靶槍水流和水溫監(jiān)測及報警，靶槍真空度監(jiān)測及報警，靶材壽命監(jiān)測及報警，工件盤轉(zhuǎn)速監(jiān)測及報警；并滿足手動、自動、維護多種控制模式；5鍍膜中斷后，具有一鍵自動續(xù)鍍功能。4售后服務(wù)要求（1）供應(yīng)商應(yīng)具備完善的售后服務(wù)體系，有固定的維護人員并有能力及時處理所有可能發(fā)生的故障。（2）售后響應(yīng)時間：必須保證快速的服務(wù)響應(yīng)。收到服務(wù)請求后，須在24小時內(nèi)對采購人的服務(wù)要求作出響應(yīng)，一般問題須在48小時內(nèi)解決，如確認(rèn)有必要到達(dá)現(xiàn)場，則應(yīng)在24個工作日內(nèi)派出工程師到達(dá)用戶現(xiàn)場進行維修。重大問題或其他無法迅速解決的問題應(yīng)在一周內(nèi)解決或提出明確解決方案，否則中標(biāo)人應(yīng)賠償相應(yīng)損失。（3）產(chǎn)品在出廠前，進行全面的系統(tǒng)測試及出具產(chǎn)品檢驗報告、測試報告和操作手冊。在免費保修期內(nèi)，中標(biāo)人應(yīng)保證貨物及服務(wù)的質(zhì)量，針對損壞的產(chǎn)品，提供免費上門維修和更換服務(wù)，所有人工和部件維修、更換費用均由中標(biāo)人承擔(dān)（人為不當(dāng)操作或故意損毀或不可抗力因素導(dǎo)致的損壞除外）。（4）在免費保修期之外，中標(biāo)人應(yīng)提供技術(shù)支持，并有償提供維修服務(wù)及所需更換備件。中標(biāo)人在國內(nèi)設(shè)有常用備品備件庫，方便即時解決問題。（5）如產(chǎn)品發(fā)生質(zhì)量問題，中標(biāo)人還應(yīng)承擔(dān)由此導(dǎo)致的其他經(jīng)濟損失。5其他特殊要求51中標(biāo)人負(fù)責(zé)包裝和運輸。中標(biāo)人交付的產(chǎn)品應(yīng)符合相關(guān)包裝儲運的國家標(biāo)準(zhǔn)，能承受水平受力、垂直受力、適合長途運輸，防潮、防濕、防震、防銹、耐粗暴搬運。由于采用不充分或不妥善的防護措施而造成的任何銹損，投標(biāo)人應(yīng)負(fù)擔(dān)由此而產(chǎn)生的一切費用和/或損失。投標(biāo)人應(yīng)在每件包裝上，用不褪色油墨清楚地標(biāo)刷件號、目的地、尺碼、毛重、凈重、“此端向上”，“小心輕放”，“切勿受潮”等字樣。52驗收要求：1）設(shè)備發(fā)貨前提供廠內(nèi)測試報告，經(jīng)采購人允許后方可發(fā)貨；2）驗收時，由采購人成立三人以上（由采購人、供應(yīng)商、技術(shù)人員等相關(guān)人員組成）驗收小組，明確責(zé)任，嚴(yán)格按照采購人相關(guān)驗收規(guī)范進行核對、驗收，形成驗收結(jié)論，并出具書面驗收文件；3）驗收時，如因供應(yīng)商原因?qū)е买炇詹煌ㄟ^，供應(yīng)商須無條件立即整改直到驗收通過為止。53技術(shù)培訓(xùn)：在采購人所在地對采購人進行免費培訓(xùn)。培訓(xùn)內(nèi)容包括儀器的技術(shù)原理、操作、數(shù)據(jù)處理、基本維護等。