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1采購需求一總體說明1總體說明11本章所提出的技術(shù)要求是對本次招標(biāo)貨物及伴隨服務(wù)的基本要求，并未涉及所有技術(shù)細節(jié)，也未充分引述有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范的全部條款。投標(biāo)人應(yīng)保證其提供的貨物及伴隨服務(wù)除了滿足本技術(shù)要求外，還應(yīng)符合中國國家、行業(yè)、地方或設(shè)備制造商所在國的有關(guān)強制性標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范。當(dāng)上述標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范的有關(guān)規(guī)定之間存在差異時，應(yīng)以要求高的為準(zhǔn)。12本章中提及的工藝、材料、設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)及品牌或型號（如有）僅起說明作用，并沒有強制性。投標(biāo)人在投標(biāo)中可以用替代工藝、材料、設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)及品牌或型號，但這種替代須實質(zhì)上滿足、等同或優(yōu)于本章技術(shù)要求，同時須提供相關(guān)證明材料，否則可能被評標(biāo)委員會認(rèn)定為負(fù)偏離。13除非有特別說明，本章中所列的具體參數(shù)或參數(shù)范圍，均理解為招標(biāo)人可接受的最低要求。2采購內(nèi)容序號標(biāo)的名稱單位數(shù)量備注1低溫鍍膜機套1/3技術(shù)要求31標(biāo)識符號標(biāo)識類型標(biāo)識符號標(biāo)識符號含義實質(zhì)性參數(shù)★負(fù)偏離或未響應(yīng)視為實質(zhì)性不響應(yīng)招標(biāo)文件要求重要參數(shù)●重要技術(shù)指標(biāo)，根據(jù)評分辦法中相關(guān)要求進行評審一般參數(shù)無標(biāo)識一般技術(shù)指標(biāo)，根據(jù)評分辦法中相關(guān)要求進行評審注：標(biāo)識條款中如包含多條子項技術(shù)參數(shù)或要求，則需滿足或優(yōu)于該標(biāo)識條款內(nèi)所有子項技術(shù)參數(shù)或要求方能得分。32技術(shù)要求21整套系統(tǒng)（由快速進樣室和鍍膜工藝腔體組成）技術(shù)要求：11★鍍膜工藝腔體極限真空度≤5×10-8Torr。12★快速進樣室極限真空度≤3×10-7Torr。13★8英寸樣品范圍內(nèi)批內(nèi)批間鍍膜厚度均勻性優(yōu)于±5%；4英寸樣品范圍內(nèi)批內(nèi)批間鍍膜厚度均勻性優(yōu)于±3%；鍍膜條件為：8英寸樣品表面鍍1000nm銦膜，測量襯底表面上下左右中5個點的厚度，均勻度≤±5%；4英寸樣品表面鍍1000nm銦膜，測量襯底表面上下左右中5個點的厚度，均勻度≤±3%；均勻性計算公式為：均勻度=(Tmax-Tmin)/(Tmax+Tmin)。2鍍膜工藝腔體技術(shù)要求：21腔體材質(zhì)采用304L或以上等級的不銹鋼，采用前開門式的腔體設(shè)計。22●腔體上面至少配備帶獨立擋板的4英寸觀察窗兩個，其中一個配有電磁屏蔽罩。投標(biāo)文件中需提供腔體實物圖予以證明。23●腔體內(nèi)部配備有全包圍可拆卸式內(nèi)襯板，防止鍍膜污染腔體內(nèi)壁。內(nèi)襯板可以拆卸以便清洗。投標(biāo)文件中需提供腔體實物圖予以證明。24●腔體外壁有水冷管道，冷卻腔體外壁防止溫度過高燙傷操作人員。投標(biāo)文件中需提供腔體實物圖予以證明。25●腔體前開門采用雙密封圈差分抽氣設(shè)計，投標(biāo)文件中需提供腔體實物圖予以證明。26●配備冷泵1臺，對水汽最高抽氣速度不低于6900L/s；極限壓力不高于10-7Pa；投標(biāo)文件中需提供冷泵彩頁予以證明。27●冷泵與工藝腔體之間配備氣動閘板閥1個，氦氣檢漏漏率小于2×10-9mbarL/s,最小壓力可達:1×10-9mbar；投標(biāo)文件中需提供閘板閥彩頁予以證明。28配備粗抽真空氣動閥1個，前級真空氣動閥1個，冷泵再生閥1個，自動泄氣氣動閥1個。29●配備全量程真空計1個，測壓范圍：1000mbar~1×10-9mbar；投標(biāo)文件中需提供全量程真空計彩頁予以證明。210配備冷泵前級真空計1個，測壓范圍：1000mbar~5×10-4mbar。211●配備大氣壓傳感器1個，和充氣閥具備安全互鎖功能，腔體達到大氣壓后會自動停止充氣，防止腔體過壓損壞設(shè)備。投標(biāo)文件中需提供設(shè)備上安裝大3氣壓傳感器的照片作為證明。212★配備帶有冷卻功能的樣品臺，最大可以放置8英寸的樣品，并且兼容各種不規(guī)則形狀的小尺寸樣品。213★樣品可以旋轉(zhuǎn)，最高轉(zhuǎn)速不低于20rpm，并且5～20rpm連續(xù)可調(diào)。樣品臺配備氣動擋板。214●樣品臺具備變溫功能，配套一個超低溫恒溫水槽用于樣品臺的變溫功能，可實現(xiàn)-60℃～40℃的溫度調(diào)節(jié)，同時可以旋轉(zhuǎn)。投標(biāo)文件中需提供樣品臺的設(shè)計圖紙及實物照片，以證明樣品臺可以實現(xiàn)所需功能。215●樣品臺具備鍍膜距離調(diào)節(jié)功能，調(diào)節(jié)距離不小于100mm。216●配備1套高精度大容量熱蒸發(fā)源，采用雙加熱絲類型，集成有水冷罩。PBN坩堝容量不小于160ml。最高工作溫度不低于1300℃，控溫溫度波動≤±02℃。包括配套的加熱電源、PID溫控儀和擋板。投標(biāo)文件中需提供該類型蒸發(fā)源的產(chǎn)品彩頁予以證明。217●配備石英晶振探頭，每組探頭包括10個石英晶振片，當(dāng)晶振片壽命到達設(shè)定時會自動切換到下一個晶振片繼續(xù)探測。晶振探頭前有屏蔽設(shè)計(Chopper)，以延長晶振片使用壽命。投標(biāo)文件中需提供該類型晶振探頭設(shè)計圖及實物圖予以證明。218●石英晶振控制器1臺；控制器通道數(shù)不少于2個，工作頻率從65MHz到1MHz可調(diào)節(jié)，在6MHz時的頻率精度≤±0012Hz；鍍膜速率測量精度≤±0015?，顯示精度可達001?/s。投標(biāo)文件中需提供石英晶振控制器彩頁予以證明。3快速進樣室技術(shù)要求：31腔體材質(zhì)采用304L或以上等級的不銹鋼，采用前開門式的腔體設(shè)計。32腔體上面至少配備4英寸觀察窗1個。33●腔體配備磁力耦合傳樣桿，可向工藝腔體自動傳送8英寸樣品托。34●配備前級干泵，抽氣速度不低于600l/min，極限真空可達1Pa；投標(biāo)文件中需提供干泵參數(shù)彩頁予以證明。35●配備分子泵1臺，對氮氣最高抽氣速度不低于1250L/s；對氮氣壓縮比＞1×108。投標(biāo)文件中需提供分子泵參數(shù)彩頁予以證明。36●分子泵與工藝腔體之間配備氣動閘板閥1個；氦氣檢漏漏率≤2×10-9mbarL/s,最小壓力可達:1×10-9mbar；投標(biāo)文件中需提供閘板閥彩頁予以證明。437●配備全量程真空計1個，測壓范圍：1000mbar~1×10-9mbar；投標(biāo)文件中需提供全量程真空計彩頁予以證明。38配備冷泵前級真空計1個，測壓范圍：1000mbar~5×10-4mbar。39●配備考夫曼式離子源1套，用于樣品表面清洗。離子源采用雙燈絲陰極設(shè)計，放電功率≥300W，最大束流≥450mA。柵極離子束最大直徑≥12cm；離子束形狀模式可選：準(zhǔn)直、聚焦和發(fā)散三種模式?？杉嫒荻栊院头磻?yīng)氣體。投標(biāo)文件中需提供所配考夫曼離子源官方彩頁予以證明。310●包括配套的考夫曼離子源電源控制器，電源最大輸出功率≥2500W，最大輸出束流≥1200V,1200mA。投標(biāo)文件中需提供所配考夫曼離子源電源控制器官方彩頁予以證明。311配有Ar和O2氣路，包括MFC流量計，最大流量≥200sccm，氣路配有氣動和手動進氣閥。工藝氣壓可通過抽氣旁路調(diào)節(jié)。4控制系統(tǒng)和軟件技術(shù)要求41配備PLC控制系統(tǒng)；42配備PC+觸屏顯示器；43控制軟件具備自動抽氣、自動泄氣、自動測漏、循環(huán)抽氣程序設(shè)定等功能；44軟件界面可設(shè)定真空度及襯底溫度；45軟件界面可顯示并記錄真空度及基板溫度；軟件界面可顯示并記錄真空度及加熱溫度曲線圖，并可設(shè)定曲線取樣頻率及范圍；46軟件功能具備打印真空度及基板溫度曲線圖，數(shù)據(jù)并可輸出為電腦文件；47軟件可查詢整年度歷史資料(包含真空度及基板溫度曲線圖、數(shù)據(jù)等)；48可由電腦顯示并記錄機臺所有異常資料(包括異常內(nèi)容及異常時間)；49可由電腦設(shè)定使用者權(quán)限管理(包含：TE、EE、PE、ME)；410所有參數(shù)設(shè)定可自行設(shè)定誤差值誤差時間并提供警報；411●可編程實現(xiàn)自動鍍膜工藝，可以實現(xiàn)鍍率控制的鍍膜工藝。4售后服務(wù)要求（1）供應(yīng)商應(yīng)具備完善的售后服務(wù)體系，有固定的維護人員并有能力及時處理所有可能發(fā)生的故障。（2）售后響應(yīng)時間：必須保證快速的服務(wù)響應(yīng)。收到服務(wù)請求后，供應(yīng)商應(yīng)在4小時內(nèi)對用戶的服務(wù)要求作出響應(yīng)，如有必要，在48小時內(nèi)派工程師到達現(xiàn)場、檢查和排除故障。