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1采購需求一總體說明1本章所提出的技術(shù)要求是對本次招標(biāo)貨物及伴隨服務(wù)的基本要求，并未涉及所有技術(shù)細(xì)節(jié)，也未充分引述有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范的全部條款。投標(biāo)人應(yīng)保證其提供的貨物及伴隨服務(wù)除了滿足本技術(shù)要求外，還應(yīng)符合中國國家、行業(yè)、地方或設(shè)備制造商所在國的有關(guān)強(qiáng)制性標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范。當(dāng)上述標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范的有關(guān)規(guī)定之間存在差異時，應(yīng)以要求高的為準(zhǔn)。2本章中提及的工藝、材料、設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)及品牌或型號（如有）僅起說明作用，并沒有強(qiáng)制性。投標(biāo)人在投標(biāo)中可以用替代工藝、材料、設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)及品牌或型號，但這種替代須實(shí)質(zhì)上滿足、等同或優(yōu)于本章技術(shù)要求，同時須提供相關(guān)證明材料，否則可能被評標(biāo)委員會認(rèn)定為負(fù)偏離。3除非有特別說明，本章中所列的具體參數(shù)或參數(shù)范圍，均理解為采購人可接受的最低要求。4“3技術(shù)要求”中未在“表3-3技術(shù)要求總表”中列出的其他要求，可以在工藝設(shè)計(jì)（或類似設(shè)計(jì)過程中）優(yōu)化調(diào)整，調(diào)整內(nèi)容須經(jīng)采購人同意。合同價格及履行期限不因優(yōu)化調(diào)整而變動。5中標(biāo)的核心產(chǎn)品的數(shù)量、單價、規(guī)格等將予以公布。二技術(shù)規(guī)格要求1項(xiàng)目簡介中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)國家同步輻射實(shí)驗(yàn)室的合肥光源（HefeiLightSource-HLS）擬對所屬部分線站進(jìn)行更新改造。其中催化與表面科學(xué)線站擬對光束線的單色器及后置鏡箱進(jìn)行更新改造，改造后的催化與表面科學(xué)光束線的光子能量將拓展至800eV，光通量將明顯提高。改造后光束線的系統(tǒng)布局圖如圖3-1所示。為了適配現(xiàn)有實(shí)驗(yàn)站中心高度，單色器中的平面鏡和光柵上下布置方式在工藝設(shè)計(jì)時可按需調(diào)整。圖3-1改造后光束線的系統(tǒng)布局圖（單色器平面鏡和光柵上下布置方式在工藝設(shè)計(jì)時按需調(diào)整）。22需求明細(xì)本項(xiàng)目招標(biāo)采購平面光柵單色器改造部件、后置超環(huán)面鏡箱改造部件及真空附件，并完成光束線部件整體集成。投標(biāo)人應(yīng)充分利用原有結(jié)構(gòu)，結(jié)合更新后的光學(xué)系統(tǒng)和新光學(xué)元件進(jìn)行改造。供應(yīng)商需交付的設(shè)備清單見表3-1，采購人提供的設(shè)備清單見表3-2。技術(shù)服務(wù)包括工藝設(shè)計(jì)、部件測試、整體集成、離線安裝調(diào)試、現(xiàn)場安裝準(zhǔn)直，并協(xié)助采購人進(jìn)行光束線同步光在線調(diào)試。表3-1供應(yīng)商需交付的設(shè)備清單序號設(shè)備名稱部件數(shù)量備注1平面光柵單色器改造部件平面鏡調(diào)節(jié)鏡架1套提供全新產(chǎn)品光柵調(diào)節(jié)鏡架2套提供全新產(chǎn)品循環(huán)水冷機(jī)構(gòu)3套利用原結(jié)構(gòu)進(jìn)行改造真空腔體1套提供全新產(chǎn)品支撐調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)1套利用原結(jié)構(gòu)進(jìn)行改造2后置超環(huán)面鏡箱改造部件調(diào)節(jié)鏡架1套提供全新產(chǎn)品真空腔體1套提供全新產(chǎn)品支撐調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)1套利用原結(jié)構(gòu)進(jìn)行改造3真空附件真空管道、波紋管、法蘭、觀察窗等1批提供全新產(chǎn)品表3-2采購人提供的光束線設(shè)備清單序號設(shè)備名稱部件數(shù)量備注1光學(xué)元件平面反射鏡M11件具體參數(shù)見本章附件表3-12光柵G11件光柵G21件超環(huán)面反射鏡M21件2光束線其他部件單色器精密轉(zhuǎn)軸系統(tǒng)1套出射狹縫組件1套氣體電離室1套可調(diào)光闌組件2套管道支撐5套離子泵站6套光束位置探測器1套3控制及工藝光束線整體控制1套工藝水電氣及布線1套步進(jìn)電機(jī)運(yùn)動控制系統(tǒng)（含電機(jī)、工控機(jī)、線纜、接口等，配備電氣控制箱）2套單色器及后置鏡箱分別包含1套，滿足光束線的運(yùn)動控制4真空部件（分子泵、干泵、真空規(guī)和真空閥）1批3技術(shù)要求31技術(shù)要求總表本次采購設(shè)備的技術(shù)要求見表3-33表3-3技術(shù)要求總表序號設(shè)備名稱技術(shù)指標(biāo)1平面光柵單色器改造部件1靜態(tài)真空度≤6×10-8Pa，2平面鏡轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)角分辨率（RMS）≤014″，3光柵轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)角分辨率（RMS）≤02″，4雙軸平行性≤10″2后置超環(huán)面鏡箱改造部件靜態(tài)真空度≤6×10-8Pa3真空附件光束線漏率≤1×10-8Pa?L/s4其他需求1供應(yīng)商完成對系統(tǒng)關(guān)鍵部件的測試，并提供測試報告，包含但不限于如下內(nèi)容：光柵切換的平移行程、分辨率、重復(fù)性（平移+姿態(tài)），光柵轉(zhuǎn)角相關(guān)參數(shù)（包括姿態(tài)行程、分辨率、重復(fù)性、穩(wěn)定性和光學(xué)元件平行性），平面鏡和光柵各維度調(diào)節(jié)范圍及精度，超環(huán)面鏡的調(diào)節(jié)范圍、分辨率、重復(fù)精度、穩(wěn)定性，單色器和鏡箱的真空度及漏率等；2協(xié)助進(jìn)行光束線同步光在線調(diào)試。32平面光柵單色器改造根據(jù)采購人提供的設(shè)計(jì)要求，中標(biāo)供應(yīng)商首先進(jìn)行工藝圖設(shè)計(jì)，然后進(jìn)行工藝設(shè)計(jì)評審，評審?fù)ㄟ^后方可進(jìn)行單色器部件的加工制造。本項(xiàng)目采購的平面光柵單色器各部件需根據(jù)以下要求進(jìn)行設(shè)計(jì)加工：（1）平面鏡調(diào)節(jié)鏡架：根據(jù)新的平面反射鏡尺寸及外觀（詳見本章附件表3-12）進(jìn)行設(shè)計(jì)，保證平面鏡的安裝固定與離線姿態(tài)調(diào)節(jié)，可以實(shí)現(xiàn)平面反射鏡的六自由度調(diào)節(jié)，包含邊冷方式的水冷管道和接口。（2）光柵調(diào)節(jié)鏡架：根據(jù)新的平面光柵尺寸及外觀（詳見本章附件表3-12）進(jìn)行設(shè)計(jì)，保證光柵的安裝固定與離線姿態(tài)調(diào)節(jié)，可以實(shí)現(xiàn)光柵的六自由度調(diào)節(jié)，包含邊冷方式的水冷管道和接口。（3）循環(huán)水冷機(jī)構(gòu)：利用原有的循環(huán)水冷結(jié)構(gòu)進(jìn)行改造，要求管路耐壓應(yīng)≥200Psi，漏率≤1×10-10mbar?L/s，且所有的冷卻水管需要能長時間在低強(qiáng)度輻照下工作，水管管路設(shè)置應(yīng)避開水平光平面。（4）真空腔體：靜態(tài)極限真空≤6×10-8Pa，漏率≤1×10-8Pa?L/s，根據(jù)掃描切換機(jī)構(gòu)、內(nèi)部結(jié)構(gòu)、信號傳輸、真空獲得和測量等要求預(yù)留觀察窗和標(biāo)準(zhǔn)法蘭接口，觀察窗應(yīng)采用鉛玻璃，留出原位氧清洗系統(tǒng)（輝光放電清洗系統(tǒng)）接口，光學(xué)元件上需要有測量溫度的熱電偶，單色器需預(yù)留準(zhǔn)直用的靶標(biāo)安裝位置。法蘭需求匯總?cè)缦卤?-4所示（數(shù)量及尺寸在工藝設(shè)計(jì)評審環(huán)節(jié)確認(rèn)）：表3-4單色器腔體法蘭匯總法蘭型號數(shù)量用途CF1503入光口，出光口，離子泵接口?1CF1004觀察窗?44CF632光柵切換機(jī)構(gòu)接入法蘭口?1，預(yù)留?1CF355氣體分析器接口?1，角閥?1，真空規(guī)接口?1，微漏閥?1，原位氧清洗系統(tǒng)?1（5）支撐調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)：要求利用原有的支撐調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)并結(jié)合最新光柵單色器主體進(jìn)行改造，支撐結(jié)構(gòu)要求能夠?qū)︾R箱的姿態(tài)進(jìn)行微調(diào)，所有調(diào)節(jié)均要求帶有鎖止機(jī)構(gòu)，支撐需要預(yù)留地腳接口。單色器支撐的調(diào)整范圍及分辨率如表3-5所示。表3-5單色器支撐調(diào)整設(shè)計(jì)參數(shù)調(diào)整范圍分辨率X?5mm002mmY?5mm002mmZ?5mm002mm滾角(Rol)?15?02?擺角(Yaw)?15?02?俯仰角(Pitch)?1?02?中標(biāo)供應(yīng)商應(yīng)對以上單色器部件進(jìn)行重新加工/改造，結(jié)合原單色器的其它部件包括精密轉(zhuǎn)軸系統(tǒng)、運(yùn)動控制系統(tǒng)等，整體對光柵單色器系統(tǒng)進(jìn)行改造，并重新安裝調(diào)試，其設(shè)計(jì)參數(shù)如下表3-6所示。表3-6光柵單色器設(shè)計(jì)參數(shù)基本參數(shù)入射光高度1400mm出射光高度1369mm平面鏡位數(shù)1光柵位數(shù)2靜態(tài)真空度≤6×10-8Pa平面鏡轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)（電動）轉(zhuǎn)動范圍0~15?轉(zhuǎn)角重復(fù)定位精度（RMS）≤1″轉(zhuǎn)角分辨率（RMS）≤014″光柵轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)（電動）轉(zhuǎn)動范圍0~15?轉(zhuǎn)角重復(fù)定位精度（RMS）≤1″轉(zhuǎn)角分辨率（RMS）≤02″雙軸平行性雙軸平行性≤10″光柵切換機(jī)構(gòu)（電動）光柵切換行程≥100mm分辨率≤01mm光柵切換機(jī)構(gòu)重復(fù)性滾角(Roll)：≤10″擺角(Yaw)：≤5″俯仰角(Pitch)：≤2″33后置超環(huán)面鏡箱改造根據(jù)采購人提供的設(shè)計(jì)要求，中標(biāo)供應(yīng)商首先進(jìn)行工藝圖設(shè)計(jì)，然后進(jìn)行工藝設(shè)計(jì)評審，評審?fù)ㄟ^后方可進(jìn)行單色器部件的加工制造。本項(xiàng)目采購的后置超環(huán)面鏡箱各部件需根據(jù)以下要求進(jìn)行設(shè)計(jì)加工：（1）調(diào)節(jié)鏡架：根據(jù)新的超環(huán)面反射鏡的尺寸及外觀（詳見本章附件）進(jìn)行設(shè)計(jì)，保