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zycgr22011903電感耦合等離子體化學(xué)氣相沉積(ICPCVD)中標(biāo)公告分項(xiàng)報(bào)價(jià)表.pdf

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浦東新區(qū) 2025-11-27 337.85KB
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電感耦合等離子體化學(xué)氣相沉積(ICPCVD)包件號(hào)包件名稱(chēng)標(biāo)的名稱(chēng)數(shù)量預(yù)算（萬(wàn)元）交貨期交貨地點(diǎn)簡(jiǎn)要技術(shù)要求/項(xiàng)目基本概況/用途：是否允許進(jìn)口產(chǎn)品投標(biāo)1電感耦合等離子體化學(xué)氣相沉積(ICPCVD)電感耦合等離子體化學(xué)氣相沉積(ICPCVD)1臺(tái)1200合同簽訂后6個(gè)月內(nèi)具備發(fā)貨條件，在收到采購(gòu)人發(fā)貨通知后2個(gè)月內(nèi)送達(dá)采購(gòu)人指定地點(diǎn)。采購(gòu)人指定地點(diǎn)采購(gòu)1臺(tái)電感耦合等離子體化學(xué)氣相沉積(ICPCVD)，設(shè)備擁有兩個(gè)獨(dú)立的射頻電源。額外引入的電感耦合等離子體源射頻電源，是一個(gè)獨(dú)立的高密度等離子體源，可通過(guò)感應(yīng)耦合方式產(chǎn)生并維持極高密度的等離

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