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電感耦合等離子體化學(xué)氣相沉積 (ICPCVD) 包件號 包件名稱 標(biāo)的名稱 數(shù)量 預(yù)算（萬元） 交貨期 交貨地點 簡要技術(shù)要求/項目基本概況/用途： 是否允許進口產(chǎn)品投標(biāo) 1 電感耦合等離子體化學(xué)氣相沉積(ICPCVD) 電感耦合等離子體化學(xué)氣相沉積(ICPCVD) 1臺 1200 合同簽訂后6個月內(nèi)具備發(fā)貨條件，在收到采購人發(fā)貨通知后2個月內(nèi)送達(dá)采購人指定地點。 采購人指定地點 采購1臺電感耦合等離子體化學(xué)氣相沉積(ICPCVD)，設(shè)備擁有兩個獨立的射頻電源。額外引入的電感耦合等離子體源射頻電源，是一個獨立的高密度等離子體源，可通過感應(yīng)耦合方式產(chǎn)生并維持極高密度的等離
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