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1采購(gòu)需求一總體說明1本章所提出的技術(shù)要求是對(duì)本次招標(biāo)貨物及伴隨服務(wù)的基本要求，并未涉及所有技術(shù)細(xì)節(jié)，也未充分引述有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范的全部條款。投標(biāo)人應(yīng)保證其提供的貨物及伴隨服務(wù)除了滿足本技術(shù)要求外，還應(yīng)符合中國(guó)國(guó)家、行業(yè)、地方或設(shè)備制造商所在國(guó)的有關(guān)強(qiáng)制性標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范。當(dāng)上述標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范的有關(guān)規(guī)定之間存在差異時(shí)，應(yīng)以要求高的為準(zhǔn)。2本章中提及的工藝、材料、設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)及品牌或型號(hào)（如有）僅起說明作用，并沒有強(qiáng)制性。投標(biāo)人在投標(biāo)中可以用替代工藝、材料、設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)及品牌或型號(hào)，但這種替代須實(shí)質(zhì)上滿足、等同或優(yōu)于本章技術(shù)要求，同時(shí)須提供相關(guān)證明材料，否則可能被評(píng)標(biāo)委員會(huì)認(rèn)定為負(fù)偏離。3除“3技術(shù)要求”外，本章中所列內(nèi)容，均理解為采購(gòu)人可接受的最低要求。4“3技術(shù)要求”的“表3-1技術(shù)要求總表”中標(biāo)記“★”的技術(shù)指標(biāo)為實(shí)質(zhì)性要求，不接受負(fù)偏離，如有負(fù)偏離視為無效投標(biāo)；未標(biāo)記技術(shù)指標(biāo)根據(jù)評(píng)標(biāo)辦法要求進(jìn)行評(píng)審。5“3技術(shù)要求”中未在“表3-1技術(shù)要求總表”中列出的其他要求，可以在工藝設(shè)計(jì)（或類似設(shè)計(jì)過程中）優(yōu)化調(diào)整，調(diào)整內(nèi)容須經(jīng)采購(gòu)人同意。合同價(jià)格及履行期限不因優(yōu)化調(diào)整而變動(dòng)。6中標(biāo)的核心產(chǎn)品的數(shù)量、單價(jià)、規(guī)格等將予以公布。二技術(shù)規(guī)格要求1項(xiàng)目簡(jiǎn)介中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)國(guó)家同步輻射實(shí)驗(yàn)室的合肥先進(jìn)光源（HefeiAdvancedLightFacility-HALF）裝置的定位是一臺(tái)國(guó)際先進(jìn)的基于衍射極限儲(chǔ)存環(huán)的低能區(qū)第四代同步輻射光源。儲(chǔ)存環(huán)能量22GeV，束流水平自然發(fā)射度約86pm?rad，具有國(guó)際同類裝置領(lǐng)先水平。高通量原位工況中能譜學(xué)線站（BL08系統(tǒng)）是合肥先進(jìn)光源中的一條線站，將發(fā)展基于同步輻射光源的X射線譜學(xué)技術(shù)，線站將集成中能X射線光電子能譜、近常壓X射線光電子能譜及中能X射線吸收和發(fā)射譜等譜學(xué)技術(shù)，模擬多種原位/工況環(huán)境，滿足不同研究領(lǐng)域的用戶對(duì)功能材料化學(xué)環(huán)境、電子結(jié)構(gòu)、局域結(jié)構(gòu)以及器件在工作條件下界面結(jié)構(gòu)變化的研究需求。高通量工況中能X射線光電子能譜（HOPE）實(shí)驗(yàn)站是BL08光束線系統(tǒng)中串聯(lián)排布在最靠近光源的第一個(gè)實(shí)驗(yàn)站，其主要功能是開展高通量工況中能X射線光電子能譜的測(cè)試。2光電子能譜（PES）技術(shù)是一種具有元素分辨能力、并對(duì)電子態(tài)、化學(xué)態(tài)和表界面態(tài)敏感的重要分析手段，在物理、化學(xué)、生物、信息、材料、環(huán)境以及能源等領(lǐng)域有著其他研究手段不可替代的作用。HOPE實(shí)驗(yàn)站是一個(gè)超高真空實(shí)驗(yàn)站系統(tǒng)。主要由電子能量分析器、超高真空系統(tǒng)和樣品架幾個(gè)部分組成。擬購(gòu)置的真空系統(tǒng)和樣品架是HOPE實(shí)驗(yàn)站的兩個(gè)關(guān)鍵組成部分。真空系統(tǒng)包括：分析室腔體、預(yù)處理室腔體、UFO腔體、快速進(jìn)樣室和樣品儲(chǔ)存室，整個(gè)系統(tǒng)通過帶有樣品傳遞系統(tǒng)的UFO腔體連接在一起，實(shí)現(xiàn)在不同腔體間樣品的轉(zhuǎn)移、處理和測(cè)試等。樣品架包括分析室高精度樣品架和預(yù)處理室四維樣品架。為了實(shí)現(xiàn)包括X射線光電子能譜、X射線吸收譜，特別是微區(qū)光電子能譜，并且基于跨能區(qū)同步輻射光子能量調(diào)節(jié)范圍從而實(shí)現(xiàn)一些特殊樣品的具有深度剖析的三維譜學(xué)mapping，在分析室設(shè)計(jì)了四維的高精度樣品架。為了實(shí)現(xiàn)在預(yù)處理室對(duì)樣品的制備和處理以及一些結(jié)構(gòu)的表征，在預(yù)處理室設(shè)計(jì)了可變溫四自由度樣品架。具體的技術(shù)要求見下章節(jié)。2需求明細(xì)本項(xiàng)目招標(biāo)采購(gòu)真空系統(tǒng)和樣品架，以及配套的控制系統(tǒng)。（1）真空系統(tǒng)采購(gòu)清單組成明細(xì)如下：標(biāo)的名稱數(shù)量單位分析室腔體1個(gè)預(yù)處理室腔體1個(gè)UFO中轉(zhuǎn)腔體1個(gè)樣品儲(chǔ)存腔體1個(gè)快速進(jìn)樣腔體1個(gè)腔體烘烤裝置1套支撐所有腔體的鋼架結(jié)構(gòu)1套（2）樣品架采購(gòu)清單組成明細(xì)如下：標(biāo)的名稱數(shù)量單位分析室可變溫高精度樣品架1件預(yù)處理室樣品架2件（3）控制系統(tǒng)標(biāo)的名稱數(shù)量單位3控制系統(tǒng)1套3技術(shù)要求表3-1技術(shù)要求總表設(shè)備參數(shù)名稱參數(shù)要求分析室腔體★1）材質(zhì)材質(zhì)為磁屏蔽金屬(μ-metal)，腔體內(nèi)剩磁≤5mGauss?！?）腔體真空度本底真空≤9×10-11mbar?！?）腔體支撐腔體下配有減震大理石支撐，保障樣品點(diǎn)處振動(dòng)小于05μm(RMS)（地面振動(dòng)、泵組振動(dòng)等影響都考慮進(jìn)去后；驗(yàn)收方法是使用激光干涉儀）。預(yù)處理室腔體1）材質(zhì)304不銹鋼?！?）腔體真空度本底真空≤5×10-10mbar。UFO中轉(zhuǎn)腔體1）材質(zhì)材質(zhì)為304不銹鋼。★2）腔體真空度本底真空≤5×10-10mbar。★3）樣品傳遞角度、長(zhǎng)度和精度中轉(zhuǎn)室的樣品旋轉(zhuǎn)臺(tái)能夠?qū)崿F(xiàn)360°旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)精度≤01°；傳遞桿伸出臂長(zhǎng)≥1000mm，線性伸縮精度≤05mm。樣品儲(chǔ)存腔體1）材質(zhì)材質(zhì)為304不銹鋼。2）內(nèi)部結(jié)構(gòu)及功能內(nèi)部含有樣品儲(chǔ)存架結(jié)構(gòu)，可存放不少于8塊樣品托。★3）腔體真空度本底真空≤5×10-10mbar?？焖龠M(jìn)樣腔體1）材質(zhì)材質(zhì)為304不銹鋼。2）腔體真空度本底真空≤5×10-8mbar。3）存放樣品數(shù)量設(shè)置至少可存放2個(gè)樣品托的儲(chǔ)存臺(tái)。腔體烘烤裝置1）最高烘烤溫度≥200℃支撐所有腔體的鋼架結(jié)構(gòu)1）穩(wěn)定性裝配平臺(tái)設(shè)計(jì)能有效避免外部電磁場(chǎng)對(duì)真空系統(tǒng)電子學(xué)的干擾。固定支撐結(jié)構(gòu)在設(shè)備定位后將系統(tǒng)支撐，防止晃動(dòng)。4分析室可變溫高精度樣品架1）自由度四維自由度分別為X、Y、Z和R1，實(shí)現(xiàn)四個(gè)自由度均通過伺服電機(jī)及光柵尺反饋實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制?！?）移動(dòng)范圍和精度X、Y方向的移動(dòng)范圍≥38mm，垂直Z方向移動(dòng)范圍為0-100mm，X、Y和Z移動(dòng)步長(zhǎng)≤1μm（配合光柵尺，光柵尺分辨率02μm），R1軸向旋轉(zhuǎn)范圍≥±175°；旋轉(zhuǎn)精度≤0005°（配合光柵尺）?！?）工作溫度范圍樣品架工作溫度范圍120-1200K（兼容液氮制冷、激光加熱）。4）定制樣品臺(tái)結(jié)構(gòu)定制樣品臺(tái)上保留不少于7個(gè)電極接口，其中2個(gè)熱偶接口，2個(gè)加熱絲接口，2個(gè)偏壓接口，1個(gè)獨(dú)立接口。5）控溫精度溫度控制模塊采用常規(guī)K型溫控組合電源，PID控制，120-800K溫度范圍內(nèi)控溫精度≤±01K。6）溫控軟件采用PC端控制升降溫，手動(dòng)/自動(dòng)模式自由切換，寫入/讀取PID、SP/OPLimits、UP/downRate，實(shí)時(shí)顯示可視化溫度曲線，自動(dòng)采集并保存溫度數(shù)據(jù)，可同時(shí)監(jiān)控并保存程控電源電流、電壓值。7）馬達(dá)控制軟件LAN通訊運(yùn)動(dòng)控制，前面板驅(qū)動(dòng)器狀態(tài)液晶顯示，提供基于PC的馬達(dá)控制軟件。預(yù)處理室樣品架1）自由度四維自由度分別為X、Y、Z和R1。★2）移動(dòng)范圍和精度水平X、Y方向的移動(dòng)范圍≥38mm，Z方向行程為≥200mm；X、Y和Z移動(dòng)步長(zhǎng)≤10μm，R1的轉(zhuǎn)動(dòng)范圍≥±175°，旋轉(zhuǎn)精度≤01°。