序號參數(shù)性質(zhì)技術(shù)參數(shù)與性能指標(biāo)1一、技術(shù)要求1光譜范圍:至少覆蓋195~1000nm2光譜測試間隔:≤16nm3光斑尺寸:普通光斑直徑3mm~5mm,微光斑≤300μm。4可測量樣品尺寸:1mm×1mm~200mm×200mm5補償范圍:0°~360°,旋轉(zhuǎn)頻率≥18Hz6入射角:計算機控制45°~90°連續(xù)自動可變,最小步長≤001°7Z軸(樣品臺高度或橢偏儀入射與接收臂高度):計算機控制自動調(diào)節(jié),最大行程≥18mm8儀器直射光路對準(zhǔn):在接收端內(nèi)置位置探測器,用十字叉精確對準(zhǔn)光路(需提供證明材料,不限于產(chǎn)品彩頁、測試報告、官網(wǎng)或功能截圖等技術(shù)支持性文件資料)9樣品臺俯仰:支持俯仰調(diào)節(jié)。10樣品俯仰對準(zhǔn):使用接收端內(nèi)置位置探測器,用十字叉輔助精確對準(zhǔn)11單點測量時間:最短全光譜采集時間≤005秒(全光譜測試,測試光譜點≥450點)(需提供證明材料,不限于產(chǎn)品彩頁、測試報告、官網(wǎng)或功能截圖等技術(shù)支持性文件資料)12動態(tài)數(shù)據(jù)采集速率:1分鐘可采集數(shù)據(jù)≥1000個(全光譜測試,測試光譜點≥450點)(需提供證明材料,不限于產(chǎn)品彩頁、測試報告、官網(wǎng)或功能截圖等技術(shù)支持性文件資料)13直射測量正確度:振幅比角Ψ:45o±0075o;相位差角Δ:0o±005o(對空光束進(jìn)行全光譜測試,測量時間≤10秒,測試光譜點≥450點,所有測量波長點中的≥95%滿足上述指標(biāo))(需提供證明材料,不限于產(chǎn)品彩頁、測試報告、官網(wǎng)或功能截圖等技術(shù)支持性文件資料)14膜厚測量重復(fù)性≤0003nm(對SiO2/Si結(jié)構(gòu)樣品進(jìn)行多次測量提取標(biāo)準(zhǔn)偏差,樣品中SiO2的名義厚度為2~100nm,測量次數(shù)≥10次)(需提供證明材料,不限于產(chǎn)品彩頁、測試報告、官網(wǎng)或功能截圖等技術(shù)支持性文件資料)15數(shù)據(jù)采集及分析軟件:1)材料庫及色散式:材料庫≥350個、色散式≥10個。2)具有B-Spline色散式:包含色散式B-Spline及帶透明區(qū)域的B-Spline光譜擴(kuò)展分析方法。3)具有多數(shù)據(jù)擬合:包含多數(shù)據(jù)分析模型及不同基底色散層。4)具有張量色散式:包含張量分析色散式5)具有通用振子:可以將不同的色散式整合到通用振子色散式中。6)不同模型及唯一性檢測:數(shù)據(jù)分析軟件具有不同模型檢測(測試表面粗糙、梯度及各向異性等)及參數(shù)唯一性檢測功能。7)≥3個軟件許可,提供五年版本在線升級服務(wù)?;赪indows系統(tǒng)。16提供≥1套的備用燈。2二、其他要求1包裝:適合長途運輸?shù)陌b,內(nèi)置扎帶捆綁或充足的減震填充材料;2驗收標(biāo)準(zhǔn):參照技術(shù)附件驗收各項指標(biāo);3質(zhì)保服務(wù):自交貨驗收完畢之日算起,所有產(chǎn)品質(zhì)保1年,提供出廠測試報告和合格證4售后服務(wù)響應(yīng)時間:2小時效應(yīng);如有必要上門服務(wù),3個工作日內(nèi)到現(xiàn)場5現(xiàn)場培訓(xùn):提供不少于2天的現(xiàn)場硬件及軟件的使用培訓(xùn)6合同價款包含一次設(shè)備移機服務(wù)。3備注:以上參數(shù)為實質(zhì)性要求,供應(yīng)商任意一項負(fù)偏離,響應(yīng)文件按無效響應(yīng)處理。
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