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上海交通大學(xué)化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)（cmp）更正公告一、項(xiàng)目基本情況原公告的采購(gòu)項(xiàng)目編號(hào)：招設(shè)2025A00049原公告的采購(gòu)項(xiàng)目名稱：上海交通大學(xué)化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)（cmp）首次公告日期：2025年9月29日　二、更正信息更正事項(xiàng)：采購(gòu)文件更正內(nèi)容：1招標(biāo)文件第一章采購(gòu)公告的采購(gòu)需求及招標(biāo)文件第三章技術(shù)規(guī)格與商務(wù)要求“一、貨物需求一覽表”中的簡(jiǎn)要技術(shù)要求調(diào)整為“8英寸化學(xué)機(jī)械拋光，實(shí)現(xiàn)晶圓干進(jìn)濕出，盤間自動(dòng)傳輸晶圓，配有研磨液供液機(jī)?！薄?招標(biāo)文件第三章技術(shù)規(guī)格與商務(wù)要求“二、設(shè)備要求及技術(shù)規(guī)格”中★項(xiàng)2和3調(diào)整為“2★實(shí)現(xiàn)晶圓的干進(jìn)濕出。3★配置研發(fā)型研磨液供液機(jī)SlurryDeliverySystem（SDS）1臺(tái)及以上數(shù)量。每臺(tái)SDS的研磨液儲(chǔ)量大于等于20升，流量可調(diào)節(jié)。”。3招標(biāo)文件第三章技術(shù)規(guī)格與商務(wù)要求“三、商務(wù)要求-7驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)”內(nèi)容調(diào)整為“驗(yàn)證所有設(shè)備技術(shù)規(guī)格。8寸TGV面銅最大去除量大于等于10微米；滿足銅去除速率：粗拋銅速率≥15微米每分鐘，一分鐘去除量片內(nèi)非均勻性≤7%（標(biāo)準(zhǔn)方差除以平均值，按片上任意測(cè)量5點(diǎn)計(jì)算）；精拋銅速率≥08微米每分鐘，一分鐘去除量片內(nèi)非均勻性≤5%（標(biāo)準(zhǔn)方差除以平均值，按片上任意測(cè)量5點(diǎn)計(jì)算）；碟形凹陷≤04微米；粗糙度≤05納米?！薄?投標(biāo)文件遞交截止及開(kāi)標(biāo)時(shí)間延期至2025年11月6日10:30:00。更正日期：2025年10月20日　三、其他補(bǔ)充事宜：/。四、凡對(duì)本次公告內(nèi)容提出詢問(wèn)，請(qǐng)按以下方式聯(lián)系。1、采購(gòu)人：上海交通大學(xué)地址：上海市閔行區(qū)東川路800號(hào)招采經(jīng)辦人：王老師電話：021-54747337技術(shù)聯(lián)系人：臧老師電話：021-342066872、采購(gòu)代理機(jī)構(gòu)：上海中世建設(shè)咨詢有限公司地址：上海市普陀區(qū)曹楊路528弄35號(hào)（中世辦公樓）郵編：200063聯(lián)系人：沈思駿陳沁雯李安琪電話：021-52555817郵箱：shensijun@cwccnetcn、chenqinwen@cwccnetcn、lianqi@cwccnetcn