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1采購(gòu)需求一總體說(shuō)明1總體說(shuō)明11本章所提出的技術(shù)要求是對(duì)本次招標(biāo)貨物及伴隨服務(wù)的基本要求，并未涉及所有技術(shù)細(xì)節(jié)，也未充分引述有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范的全部條款。投標(biāo)人應(yīng)保證其提供的貨物及伴隨服務(wù)除了滿足本技術(shù)要求外，還應(yīng)符合中國(guó)國(guó)家、行業(yè)、地方或設(shè)備制造商所在國(guó)的有關(guān)強(qiáng)制性標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范。當(dāng)上述標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范的有關(guān)規(guī)定之間存在差異時(shí)，應(yīng)以要求高的為準(zhǔn)。12本章中提及的工藝、材料、設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)及品牌或型號(hào)（如有）僅起說(shuō)明作用，并沒(méi)有強(qiáng)制性。投標(biāo)人在投標(biāo)中可以用替代工藝、材料、設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)及品牌或型號(hào)，但這種替代須實(shí)質(zhì)上滿足、等同或優(yōu)于本章技術(shù)要求，同時(shí)須提供相關(guān)證明材料，否則可能被評(píng)標(biāo)委員會(huì)認(rèn)定為負(fù)偏離。13除非有特別說(shuō)明，本章中所列的具體參數(shù)或參數(shù)范圍，均理解為招標(biāo)人可接受的最低要求。2采購(gòu)內(nèi)容序號(hào)標(biāo)的名稱單位數(shù)量備注1電感耦合等離子刻蝕機(jī)套1包括反應(yīng)室、電源、真空部分3技術(shù)要求31標(biāo)識(shí)符號(hào)標(biāo)識(shí)類型標(biāo)識(shí)符號(hào)標(biāo)識(shí)符號(hào)含義實(shí)質(zhì)性參數(shù)★負(fù)偏離或未響應(yīng)視為實(shí)質(zhì)性不響應(yīng)招標(biāo)文件要求重要參數(shù)●重要技術(shù)指標(biāo)，根據(jù)評(píng)分辦法中相關(guān)要求進(jìn)行評(píng)審一般參數(shù)無(wú)標(biāo)識(shí)一般技術(shù)指標(biāo)，根據(jù)評(píng)分辦法中相關(guān)要求進(jìn)行評(píng)審注：標(biāo)識(shí)條款中如包含多條子項(xiàng)技術(shù)參數(shù)或要求，則需滿足或優(yōu)于該標(biāo)識(shí)條款內(nèi)所有子項(xiàng)技術(shù)參數(shù)或要求方能得分。232技術(shù)要求貨物名稱技術(shù)性能參數(shù)電感耦合等離子刻蝕機(jī)整體要求11應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MicroLED顯示器、GaN功率器件等制造中的關(guān)鍵工藝的刻蝕，刻蝕材料包括GaN、AlGaN、AlN、SiO2、SiN、TiO2、TiN等。●12設(shè)備采用模塊化設(shè)計(jì)，后續(xù)可升級(jí)為Cluster平臺(tái)，搭載相同或不同制程腔室（投標(biāo)文件中需提供升級(jí)方案說(shuō)明）2硬件技術(shù)規(guī)格和指標(biāo)21反應(yīng)室構(gòu)造及真空211設(shè)備配備反應(yīng)腔和傳送腔，設(shè)置于設(shè)備整體的外框架內(nèi)，配有保護(hù)擋板并做排風(fēng)處理；具有良好的一體性和安全防護(hù)功能；212反應(yīng)腔和傳送腔具有真空機(jī)組及真空檢測(cè)和顯示系統(tǒng)，真空度自動(dòng)可控，帶真空互鎖；213腔體采用高質(zhì)量一體成型鋁制腔體，控制柜、氣體控制柜（GasBox）的一體化設(shè)計(jì)；腔體至少含有一個(gè)觀察窗口進(jìn)行等離子體啟輝的觀察和反應(yīng)監(jiān)測(cè)。●214反應(yīng)腔配置渦輪分子泵（帶表面防腐涂層），分子泵抽速不低于2650L/s，分子泵位于腔室正下方，采用整下抽真空排氣方式；●215采用干泵加分子泵實(shí)現(xiàn)真空，極限真空≤001mTorr；216腔體漏率≤10mTorr·L/min；★217低損傷刻蝕腔兼容ICP與ALE兩種模式（投標(biāo)文件中提供切換方式說(shuō)明）；●218反應(yīng)腔和傳送腔各一臺(tái)干泵，其中反應(yīng)腔干泵抽速≥600m3/h；傳送腔干泵抽速≥160m3/h；●219終點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)：具備OES終點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)，用于刻蝕工藝終點(diǎn)的判斷,光譜范圍200-800nm；22樣品臺(tái)●221刻蝕樣品臺(tái)采用8英寸靜電吸附卡盤，需對(duì)樣品進(jìn)行有效冷卻；●222樣品臺(tái)具有氦背冷和制冷機(jī)冷卻功能。氦背冷具備雙區(qū)控溫功能，即樣品臺(tái)內(nèi)外圈可設(shè)置不同氦冷壓力。制冷機(jī)溫度范圍至少-20℃至90℃可調(diào)；射頻關(guān)閉狀態(tài)下，下電極控溫精度≤1℃；3●223兼容樣品尺寸：8吋、6吋、4吋、2吋及以下尺寸的整片及不規(guī)則小片。23電源系統(tǒng)231具有感應(yīng)耦合等離子體源；電源數(shù)目≥2個(gè)；●232上電極采用ICP形式，通過(guò)電感耦合產(chǎn)生高密度等離子體，頻率1356MHz,射頻源最大功率≥1500W，功率范圍覆蓋15-1200W；射頻線圈采用立體雙區(qū)螺旋線圈，內(nèi)外圈電流比例可調(diào)?！?33下電極頻率1356MHz,射頻源功率范圍覆蓋1-250W，最大功率≤300W；234上下射頻全部具備自動(dòng)匹配功能，匹配穩(wěn)定時(shí)間≤3s；235上射頻電源功率精度≤±1%或±1W，下射頻電源功率精度≤±1%或±03W24具備原子層刻蝕（ALE）控制功能：★241配備原子層刻蝕（ALE）快速切換閥，響應(yīng)時(shí)間≤300ms。25氣體251氣體種類至少包括Ar,O2,CHF3，N2，CF4，Cl2,BCl3，SF6等8路；●252每路氣體入口配有截止閥，全部氣體集成在獨(dú)立氣柜內(nèi)，氣柜漏氣率≤05mTorr·L/min；●253每路氣體獨(dú)立配置氣體流量調(diào)控器（MFC），MFC控制精度±1%SP(≥35%FS)，±035%SP(≤35%FS)26軟件控制模塊261系統(tǒng)配備液晶屏，鼠標(biāo)，鍵盤，軟件基于Windows操作系統(tǒng)。262自主編寫的控制軟件且符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)，可視化圖形操作界面，操作按鈕的功能指示應(yīng)當(dāng)清晰，方便識(shí)別。263軟件功能提供權(quán)限管理員、工藝工程師、設(shè)備工程師、操作員四種用戶權(quán)限，并且可以根據(jù)用戶要求調(diào)整權(quán)限。用戶可以方便的對(duì)工藝配方進(jìn)行創(chuàng)建、刪除、修改等操作。系統(tǒng)自動(dòng)記錄工藝過(guò)程中的重要參數(shù)，并且可以生成csv文件，方便用戶查詢。提供給用戶重要參數(shù)的實(shí)時(shí)變化，并且以曲線的形式顯示，輔助用戶分析和監(jiān)測(cè)。提供重要部件的生命周期管理，當(dāng)達(dá)到使用壽命時(shí)報(bào)警提示。27安全性能271系統(tǒng)提供完備的報(bào)警和安全互鎖功能；當(dāng)互鎖被觸發(fā)時(shí)，系統(tǒng)會(huì)處于報(bào)警狀態(tài)，操作屏上會(huì)提示報(bào)警信息，并有聲音提示。在安全級(jí)別較高的互鎖條件或自動(dòng)模式下觸發(fā)互鎖后，工藝會(huì)被終止，這時(shí)需要操作員排除問(wèn)題并清除報(bào)警，之后重新初始化系統(tǒng)?；ユi功能在手動(dòng)模式下依然有效。系統(tǒng)自動(dòng)記錄全部報(bào)警4和錯(cuò)誤日志，可以在日志系統(tǒng)中查找歷史記錄。272工藝異常后會(huì)立即終止工藝，關(guān)閉射頻電源，關(guān)閉全部氣路閥門，隔離腔室。273緊急情況發(fā)生時(shí)，可以通過(guò)EMO回路緊急停止設(shè)備，減少人員設(shè)備傷害。274標(biāo)識(shí)：射頻、高溫、高壓部分都貼有危險(xiǎn)標(biāo)記以提醒注意；可活動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng)的機(jī)械部分都貼有危險(xiǎn)標(biāo)記以提醒注意。275報(bào)警接口：系統(tǒng)提供連接特氣泄漏檢測(cè)報(bào)警裝置的接口?！?8TiN刻蝕工藝指標(biāo)：8吋片下，刻蝕深度50-100nm時(shí)，刻蝕速率≤15nm/min；片內(nèi)均勻性≤±3%，片間均勻性≤±3%。4吋片下，片內(nèi)片間均勻性<±2%。4驗(yàn)收41本項(xiàng)目驗(yàn)收分為【初步驗(yàn)收】和【最終驗(yàn)收】?jī)蓚€(gè)階段。（1）初步驗(yàn)收(a)貨物合格(b)安裝并調(diào)試完成后，確保所有子系統(tǒng)運(yùn)行正常。(c)乙方應(yīng)按照技術(shù)協(xié)議相關(guān)條款對(duì)各項(xiàng)性能指標(biāo)進(jìn)行測(cè)試。測(cè)試應(yīng)在甲乙雙方技術(shù)人員共同見(jiàn)證下進(jìn)行。(d)性能測(cè)試的所有技術(shù)性能參數(shù)必須全部合格，方可視為通過(guò)初步驗(yàn)收。供應(yīng)商出具初步驗(yàn)收?qǐng)?bào)告，采購(gòu)人確認(rèn)。（2）最終驗(yàn)收(a)初步驗(yàn)收通過(guò)后，設(shè)備進(jìn)入為期1個(gè)月的試運(yùn)行期。(b)試運(yùn)行期屆滿且滿足技術(shù)協(xié)議所有條件后，視為設(shè)備通過(guò)最終驗(yàn)收，雙方簽署《最終驗(yàn)收?qǐng)?bào)告》。52其他驗(yàn)收要求（1）采購(gòu)人負(fù)責(zé)保障合同設(shè)備驗(yàn)收期間所需的工藝條件，并及時(shí)配合供應(yīng)商進(jìn)行合同設(shè)備現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)收。供應(yīng)商應(yīng)在確認(rèn)設(shè)備發(fā)貨日期前30日到采購(gòu)人設(shè)備安裝地點(diǎn)確認(rèn)設(shè)備所需場(chǎng)地和設(shè)備所需工藝條件。在確保設(shè)備場(chǎng)地和工藝條件符合設(shè)備要求的前提下，再確定發(fā)貨日期進(jìn)行發(fā)貨。采購(gòu)人提出因場(chǎng)地受限無(wú)法接收貨物的，從供應(yīng)商發(fā)出交貨通知至采購(gòu)人場(chǎng)地受限解除的時(shí)間不計(jì)算入交貨期內(nèi)；（2）在安裝及調(diào)試過(guò)程中，采購(gòu)人員僅負(fù)責(zé)廠務(wù)條件的配合，未經(jīng)培訓(xùn)并簽署驗(yàn)收單之前，采購(gòu)人的所有操作均應(yīng)在供應(yīng)商指導(dǎo)下完成，不得擅自操作，因供應(yīng)商技術(shù)指導(dǎo)錯(cuò)誤導(dǎo)