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蘇州大學關于微納加工系統(tǒng)招標公告文件.pdf

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蘇州市 2025-11-21 331.31KB 業(yè)主:蘇州大學
內容簡介

蘇州大學關于微納加工系統(tǒng)招標公告(招標編號:S2025124)項目所在地區(qū):江蘇省/蘇州市一、招標條件本微納加工系統(tǒng)已由項目審批/核準/備案機關批準,項目資金來源為其他資金:60200000000萬元,招標人為蘇州大學。本項目已具備招標條件,現招標方式為公開招標。二、項目概況與招標范圍規(guī)模:本項目共分4標段,所有標段可兼投兼中。供應商可選擇參與其中一個或多個標段投標,也可參與全部標段投標。標段1:紫外納米壓印機(預算金額為92萬元)標段2:磁流變拋光機(預算金額為300萬元)標段3:機械臂拋光設備(預算金額為120萬元)標段4:光學定心車床(預算金額為90萬元)。范圍:本招標項目劃分為4個標段,本次招標為其中的:第一標段:紫外納米壓印機、第二標段:磁流變拋光機1臺、第三標段:機械臂拋光設備1臺、第四標段:光學定心車床1臺三、投標人資格要求第一標段:紫外納米壓印機:(一)具有獨立承擔民事責任的能力;(二)具有良好的商業(yè)信譽和健全的財務會計制度;(三)具有履行合同所必需的設備和專業(yè)技術能力;(四)有依法繳納稅收和社會保障資金的良好記錄;(五)近三年內,在經營活動中沒有重大違法記錄;(六)本項目不接受聯合體投標。第二標段:磁流變拋光機1臺:(一)具有獨立承擔民事責任的能力;(二)具有良好的商業(yè)信譽和健全的財務會計制度;(三)具有履行合同所必需的設備和專業(yè)技術能力;(四)有依法繳納稅收和社會保障資金的良好記錄;(五)近三年內,在經營活動中沒有重大違法記錄;(六)本項目不接受聯合體投標。第三標段:機械臂拋光設備1臺:(一)具有獨立承擔民事責任的能力;(二)具有良好的商業(yè)信譽和健全的財務會計制度;(三)具有履行合同所必需的設備和專業(yè)技術能力;(四)有依法繳納稅收和社會保障資金的良好記錄;(五)近三年內,在經營活動中沒有重大違法記錄;(六)本項目不接受聯合體投標。第四標段:光學定心車床1臺:(一)具有獨立承擔民事責任的能力;(二)具有良好的商業(yè)信譽和健全的財務會計制度;(三)具有履行合同所必需的設備和專業(yè)技術能力;(四)有依法繳納稅收和社會保障資金的良好記錄;(五)近三年內,在經營活動中沒有重大違法記錄;(六)本項目不接受聯合體投標。本項目不允許聯合體投標。四、招標文件的獲取獲取時間:2025年11月21日12時00分到2025年12月08日12時00分獲取方式:網上自行下載:https://zbzxsudaeducn/6a/a6/c9291a682662/pagehtm五、投標文件的遞交遞交截止時間:2025年12月12日14時00分遞交方式:順豐快遞(建議優(yōu)先采用)六、開標時間及地點開標時間:2025年12月12日14時00分開標地點:江蘇省蘇州市東環(huán)路50號凌云樓0903室七、其他一、項目名稱:微納加工系統(tǒng)二、招標編號:S2025124三、招標人:蘇州大學采購與招投標管理中心地址:江蘇省蘇州市東環(huán)路50號凌云樓0904室郵編:215021傳真:0512-67165076聯系人:羅老師電話:0512-67504198,67504359電子郵箱:lrb998@sudaeducn技術聯系人:王老師電話:*電子郵箱:kxwang@sudaeducn四、招標貨物品名、數量、主要性能參數基本要求本項目共分4標段,所有標段可兼投兼中。供應商可選擇參與其中一個或多個標段投標,也可參與全部標段投標。標段1:紫外納米壓印機(預算金額為92萬元)標段2:磁流變拋光機(預算金額為300萬元)標段3:機械臂拋光設備(預算金額為120萬元)標段4:光學定心車床(預算金額為90萬元)第一標段:紫外納米壓印機1臺(一)設備性能指標1應用范圍:廣泛應用于各類PSS圖形、微柱、微球(MLA)、微孔圖形、高深寬比結構、光柵、微柱、斜齒光柵、WGP、DOE等,適合于對于后續(xù)進行刻蝕的圖案壓印,具有高均勻性,高工藝兼容性。2壓印方式:復合PET模板滾壓以及氣動軟模壓印。2壓印基片面型:平面、球面、非球面、柱面等。3適用母版材質:硅片、金屬、石英、玻璃等。4適用基片材質:硅片、金屬、石英、玻璃等。5壓印尺寸:8inch及以下兼容。6腔體高度:20mm及以上。7壓印線寬范圍:30nm~1000um。8重復精度:10nm。9轉印誤差<±5%。10能實現的深寬比≥5:1@50nm。11壓印過程可實現全自動,并支持手動操作。(二)配置要求1壓印單元11壓印壓力:可調,最大壓力5公斤。12壓印速度:可調,最慢速度為1mm/s左右。13脫膜方式:自動脫模并兼容手動。2光源21類型:365nm,LED光源。22功率可調,最大額定功率500mw/cm2左右。23冷卻:自然冷卻。3熱板模塊31最高溫度100℃左右。32加熱均勻度±1℃。