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采購需求一總體說明1本章所提出的技術(shù)要求是對本次招標貨物及伴隨服務(wù)的基本要求，并未涉及所有技術(shù)細節(jié)，也未充分引述有關(guān)標準、規(guī)范的全部條款。投標人應(yīng)保證其提供的貨物及伴隨服務(wù)除了滿足本技術(shù)要求外，還應(yīng)符合中國國家、行業(yè)、地方或設(shè)備制造商所在國的有關(guān)強制性標準、規(guī)范。當上述標準、規(guī)范的有關(guān)規(guī)定之間存在差異時，應(yīng)以要求高的為準。2本章中提及的工藝、材料、設(shè)備的標準及品牌或型號（如有）僅起說明作用，并沒有強制性。投標人在投標中可以用替代工藝、材料、設(shè)備的標準及品牌或型號，但這種替代須實質(zhì)上滿足、等同或優(yōu)于本章技術(shù)要求，同時須提供相關(guān)證明材料，否則可能被評標委員會認定為負偏離。3除“3技術(shù)要求”外，本章中所列內(nèi)容，均理解為采購人可接受的最低要求。4“3技術(shù)要求”的“表31技術(shù)要求總表”中標記“★”的技術(shù)指標為實質(zhì)性要求，不接受負偏離，如有負偏離視為無效投標；未標記技術(shù)指標根據(jù)評標辦法要求進行評審。5“3技術(shù)要求”中未在“表31技術(shù)要求總表”中列出的其他要求，可以在工藝設(shè)計（或類似設(shè)計過程中）優(yōu)化調(diào)整，調(diào)整內(nèi)容須經(jīng)采購人同意。合同價格及履行期限不因優(yōu)化調(diào)整而變動。6中標的核心產(chǎn)品的數(shù)量、單價、規(guī)格等將予以公布。二技術(shù)規(guī)格要求1項目簡介中國科學技術(shù)大學國家同步輻射實驗室的合肥先進光源（HefeiAdvancedLightFacility-HALF）裝置的定位是一臺國際先進的基于衍射極限儲存環(huán)的低能區(qū)第四代同步輻射光源。儲存環(huán)能量22GeV，束流水平自然發(fā)射度約86pm?rad，具有國際同類裝置領(lǐng)先水平。紫外電子態(tài)表征及光刻工藝光束線是一條能量在6eV-135eV范圍內(nèi)的譜學光束線。本次招標項目主要涉及光闌、狹縫等光束線非標設(shè)備以及光束線整體的在線集成與準直，項目最終目標是實現(xiàn)光束線的光束傳輸、偏轉(zhuǎn)、成像、雜散光處理以及光束診斷等核心功能，確保光束線的高效運行與精確控制。2需求明細本項目采購的核心產(chǎn)品為極紫外電子態(tài)表征及光刻工藝光束線光闌、狹縫等非標設(shè)備和非標集成，其中采購方提供的關(guān)鍵設(shè)備包括：光學元件、單色器、鏡箱、鉛屏蔽室、白光熒光靶、獨立單色熒光靶、PBPM以及真空相關(guān)設(shè)備（如真空泵、真空規(guī)、真空閥和真空計等）。除此之外，光束線所需的其他全部設(shè)備，例如光闌、單色光狹縫、光學濾波器、偏振檢測器和管道系統(tǒng)等，以及光束線的整體集成，均屬于本次招標范圍。具體包括光束線設(shè)備主體、配套服務(wù)、技術(shù)資料三部分。配套服務(wù)涵蓋以下具體內(nèi)容：（1）工藝設(shè)計及分析：包括各設(shè)備布局、結(jié)構(gòu)等的詳細設(shè)計圖紙；（2）部件出廠測試：確保設(shè)備性能符合技術(shù)要求;（3）光東線集成：現(xiàn)場安裝、準直，涵蓋真空系統(tǒng)、運動系統(tǒng)、位移平臺及支撐結(jié)構(gòu)等關(guān)鍵組件的集成、安裝與調(diào)試；（4）現(xiàn)場驗收測試及其他協(xié)助：包括各設(shè)備測試、同步光在線安裝調(diào)試過程中的必要協(xié)助。表21采購清單采購標的名稱數(shù)量單位備注白光光闌組件及支撐1套無單色光狹縫及支撐2套無光學濾波器1套無電離室及支架1套無反射式偏振檢測器及支架1套無光子光閘1套無單色光光闌組件及支撐1套無真空管道、泵站組件及支撐1套無侵入式熒光靶及光電二極管1套無光束線集成1項無3技術(shù)要求表31技術(shù)要求總表設(shè)備參數(shù)名稱參數(shù)要求白光光闌組件及支撐11光闌距光源點距離(m)2512光束線中心高度(mm)130013前端區(qū)引出張角mrad21?114光束線使用張角mrad2033?03315開口尺寸（mm2）水平方向(mm)0-15垂直方向(mm)0-15★16分辨率(μm)水平方向(μm)≤2垂直方向(μm)≤2★17重復精度(μm)水平方向(μm)≤10垂直方向(μm)≤1018定位精度(μm)水平方向(μm)≤10垂直方向(μm)≤1019刀口直線度(μm)≤5110刀口平行度(μm)≤50111最大熱負荷（W）≥400W112刀口材料無氧銅/彌散銅/鎢/碳化鎢113漏率≤5×10-10mbar·L/s114冷卻方式水冷單色光狹縫及支撐單色光水平狹縫單色光垂直狹縫21距光源點（m)364122光束線中心高度(mm)1338133823光斑大小(mm×mm)02?204?004刀口行程(mm)24水平0002-0525垂直0002-05刀口平行度(μm)26水平≤0427垂直≤04刀口直線度(μm）28水平≤0229垂直≤02分辨率(μm)★210水平≤02★211垂直≤02重復精度(μm)★212水平≤05★213垂直≤05214狹縫整體調(diào)節(jié)要求X、Y、Z三個方向可分別進行±10mm調(diào)節(jié)215穩(wěn)定性（RMS）穩(wěn)定性≤1μm（1-100Hz@20分鐘）