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—1—2025年度金華市中心醫(yī)院神經(jīng)外科雙靶磁控濺射儀項目需求編制項目負(fù)責(zé)人（分管工程師）：醫(yī)學(xué)工程部陳麗雯一、項目概況雙靶磁控濺射儀，可用于制備納米級功能薄膜（如金屬膜、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜等），具有低溫、高速、高純度等特點，適用于材料科學(xué)領(lǐng)域的研發(fā)。雙靶結(jié)構(gòu)允許同時使用兩種不同材料，這樣在制備多層膜或者復(fù)合薄膜時更方便，不需要更換靶材，節(jié)省時間。開展該項目能滿足神經(jīng)疾病監(jiān)測中對多模態(tài)、多參數(shù)的高精度要求，助力神經(jīng)疾病機(jī)制研究和新型診療技術(shù)的開發(fā)。現(xiàn)院內(nèi)無該類設(shè)備。雙靶磁控濺射儀適用于材料科學(xué)領(lǐng)域的研發(fā)。例如：1、導(dǎo)電薄膜制備：在掃描電鏡（SEM）樣品表面鍍金或鉑薄膜，減少荷電效應(yīng)，提升成像質(zhì)量。2、生物相容性涂層：可開發(fā)用于醫(yī)療植入物表面的抗腐蝕或?qū)щ娡繉?，如神?jīng)電極或植入式傳感器。3、高分辨率顯微成像的樣品處理。4、神經(jīng)外科研究中常需觀察神經(jīng)組織的微觀結(jié)構(gòu)，而磁控濺射儀可通過鍍膜技術(shù)優(yōu)化SEM樣品制備，減少熱損傷和荷電效應(yīng)，提升成像分辨率。5、低電壓濺射技術(shù)：減少對溫度敏感的生物樣品（如神經(jīng)細(xì)胞）的熱損傷，適合高分辨率顯微表征。6、生物材料與器械開發(fā)。7、神經(jīng)電極涂層：通過雙靶共濺射技術(shù)制備復(fù)合金屬薄膜（如金/鉑），提高電極的導(dǎo)電性和生物相容性，可能用于深部腦刺激（DBS）或神經(jīng)信號記錄設(shè)備。8、智能材料的表面改性：例如，在神經(jīng)修復(fù)材料表面沉積功能性薄膜，增強(qiáng)其與神經(jīng)組織的界面結(jié)合能力。利用磁控濺射制備磁性納米顆粒涂層，用于靶向藥物遞送或磁熱療，輔助神經(jīng)修復(fù)。二、產(chǎn)品主要技術(shù)要求及功能（不能有排他性）雙靶協(xié)同濺射：支持同時或交替濺射兩種不同材料，便于制備多層膜、梯度膜、合金膜或納米復(fù)合薄膜，突破單靶設(shè)備在材料組合上的局限性。工藝參數(shù)獨立調(diào)控：可分別控制兩靶的功率、氣體氛圍等參數(shù)，實現(xiàn)更精準(zhǔn)的膜層成分與結(jié)構(gòu)設(shè)計，滿足復(fù)雜功能薄膜（如高熵合金、異質(zhì)結(jié)器件）的研發(fā)需求。減少界面污染：多層膜制備時無需開腔換靶，避免大氣暴露導(dǎo)致的界面氧化或污染問題，提升薄膜質(zhì)量?！?—1、電源電壓：220V50Hz2、功率：900W3、腔體內(nèi)徑：?300mm4、極限真空度：90×10-4Pa5、樣品臺加熱溫度：RT-500℃，精度±1℃（可根據(jù)實際需要提升溫度）6、靶槍數(shù)量：2個（可選配其他數(shù)量）7、靶槍冷卻方式：水冷8、靶材尺寸：?2″，厚度01-5mm（因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同）9、直流濺射功率：500W；射頻濺射功率：300W。（靶電源種類可選，可選擇兩個直流電源，也可選擇兩個射電源，或選則一個直流一個射頻電源）10、載樣臺：?140mm，可根據(jù)客戶需求選配加裝偏壓功能，以實現(xiàn)更高質(zhì)量的鍍膜。11、載樣臺轉(zhuǎn)速：1rpm-20rpm內(nèi)可調(diào)12、工作氣體：Ar等惰性氣體13、進(jìn)氣氣路：質(zhì)量流量計控制2路進(jìn)氣，一路為100SCCM，另一路為200SCCM。三、產(chǎn)品配置要求配置內(nèi)容參數(shù)備注1直流電源控制系統(tǒng)1套-2射頻電源控制系統(tǒng)1套-3膜厚監(jiān)測儀系統(tǒng)1套-4分子泵1臺（德國進(jìn)口或者國產(chǎn)更大抽速）5冷水機(jī)1臺-6聚酯PU管（?6mm）4m-—3—四、設(shè)備是否需要聯(lián)網(wǎng)、設(shè)備是否需要首次第三方檢測（檢測費的支付）、安裝環(huán)境要求無特殊需求五、售后服務(wù)（一）質(zhì)保期要求、質(zhì)保范圍：整機(jī)維保2年。（二）培訓(xùn)要求：在產(chǎn)品正式使用前對臨床使用人員、醫(yī)院維護(hù)人員提供使用培訓(xùn)、技術(shù)培訓(xùn)。六、設(shè)備配套附件、易耗品清單：序號名稱品牌配置單位數(shù)量1金、銦、銀、白金等各種靶材2可選配強(qiáng)磁靶用于鐵磁性材料的濺射鍍膜3雙層旋轉(zhuǎn)鍍膜夾具以上內(nèi)容，需科室負(fù)責(zé)人簽字確認(rèn)：