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-1-第五部分：采購(gòu)需求貨物需求一覽表包號(hào)貨物名稱數(shù)量交貨期項(xiàng)目現(xiàn)場(chǎng)（交貨地點(diǎn)）1氣體質(zhì)譜分析系統(tǒng)1套合同簽訂后6個(gè)月內(nèi)交貨中國(guó)科學(xué)院近代物理研究所廣東惠州黃埠園區(qū)或甲方指定地點(diǎn)。注：交貨期從合同生效之日起計(jì)算。-2-技術(shù)規(guī)格一、采購(gòu)項(xiàng)目用途說(shuō)明：1工作條件：11本次采購(gòu)的氣體質(zhì)譜分析系統(tǒng)為器靶耦合傳輸段真空系統(tǒng)的殘余氣體成分分析系統(tǒng)，用于在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)氣體成分，診斷系統(tǒng)工況。2規(guī)格、技術(shù)要求及參數(shù)：21采購(gòu)項(xiàng)目?jī)?nèi)容及數(shù)量氣體質(zhì)譜分析系統(tǒng)：1套，包含四極質(zhì)譜、質(zhì)譜分析室、超高真空差分機(jī)組、真空測(cè)量系統(tǒng)、高溫取樣系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、移動(dòng)機(jī)架等。22總體要求氣體質(zhì)譜分析系統(tǒng)應(yīng)具有類似于圖1的結(jié)構(gòu)，由高溫取樣管路、進(jìn)樣系統(tǒng)、分析室、四極質(zhì)譜、真空泵組、控制系統(tǒng)等組成。質(zhì)譜室內(nèi)容納離子源、四極桿、法拉第/電子倍增檢測(cè)器、真空規(guī)等，實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體樣品分子的電離和質(zhì)譜分析。進(jìn)樣系統(tǒng)由管道、閥門、真空規(guī)等組成，作用是將樣品氣的壓力調(diào)控至適當(dāng)范圍后送入質(zhì)譜。泵組由分子泵及前級(jí)泵組成，作用是維持質(zhì)譜室的真空，以及對(duì)進(jìn)樣系統(tǒng)進(jìn)行抽空除氣，四極質(zhì)譜與進(jìn)樣管路系統(tǒng)的泵組應(yīng)獨(dú)立配置。設(shè)備應(yīng)集成安裝在一個(gè)緊固、耐用、可移動(dòng)、帶外殼的帶輪小車上，并將閥門、真空規(guī)等部組件隱藏在小車內(nèi)部，外部?jī)H留對(duì)接和顯控組件。圖1氣體質(zhì)譜分析系統(tǒng)組成示意圖23技術(shù)要求-3-表1氣體質(zhì)譜分析系統(tǒng)技術(shù)要求級(jí)別序號(hào)名稱技術(shù)指標(biāo)總體指標(biāo)1系統(tǒng)組成能夠獨(dú)立運(yùn)作，自帶真空系統(tǒng)和進(jìn)樣系統(tǒng)#2質(zhì)量范圍不小于（1～300）amu#3進(jìn)樣壓力進(jìn)樣壓力范圍：1×10-5～1×105Pa#4整體漏率≤1×10-9Pa?m3/s#5氣體類型充分考慮Hg、Pb、Bi等金屬蒸汽的檢測(cè)及相應(yīng)系統(tǒng)保護(hù)，盡量避免沉積吸附四極質(zhì)譜6離子源開放式離子源#7分辨率≤1amu8最高測(cè)量速度≤2ms/amu9檢測(cè)器配備法拉第杯和電子倍增器兩種檢測(cè)器#10檢出限≤10ppm11峰位穩(wěn)定性≤±1/10amu/8h12峰高穩(wěn)定性≤1%/8h質(zhì)譜室#13烘烤可實(shí)現(xiàn)對(duì)質(zhì)譜室進(jìn)行加熱烘烤，烘烤溫度≥100℃，至少具有2路溫度傳感器14真空測(cè)量配備真空規(guī)，測(cè)量質(zhì)譜室真空度，測(cè)量范圍1E-7~1E5Pa#15表面處理質(zhì)譜室內(nèi)壁需經(jīng)特殊涂層處理，盡量避免金屬蒸汽的沉積吸附進(jìn)樣系統(tǒng)16氣路與甲方待測(cè)主管道連通并經(jīng)由加熱保溫管路（≥200℃）引入質(zhì)譜室#17進(jìn)樣方式可根據(jù)樣品氣壓力范圍自動(dòng)選擇進(jìn)樣路徑以保證四極質(zhì)譜的正常工作18壓力傳感器測(cè)量范圍5E-7~1E5Pa19管路規(guī)格采用內(nèi)拋光316L不銹鋼管道（內(nèi)壁經(jīng)特殊涂層處理，盡量避免金屬蒸汽的沉積吸附），管道活連接采用VCR接頭20閥門采用波紋管密封閥，耐壓≥1MPa；閥門外漏率≤5×10-11Pa?m3/s；內(nèi)漏率≤5×10-8Pa?m3/s，采用面密封結(jié)構(gòu)真空系統(tǒng)21組成泵組由分子泵及其前級(jí)干泵組成22極限真空質(zhì)譜室極限真空≤50×10-7Pa23分子泵分子泵對(duì)N2抽速≥260L/S，對(duì)H2抽速≥220L/s-4-24前級(jí)泵前級(jí)泵采用無(wú)油干泵，抽速≥12m3/h，漏率≤1×10-5Pa?m3/s25狀態(tài)監(jiān)測(cè)具有機(jī)械泵溫度和轉(zhuǎn)速監(jiān)測(cè)功能，具備分子泵轉(zhuǎn)速監(jiān)測(cè)和故障指示功能測(cè)控系統(tǒng)及軟件26運(yùn)行模式設(shè)備應(yīng)自帶工控機(jī)并安裝控制程序，且分為手動(dòng)控制模式和自動(dòng)控制模式。手動(dòng)控制模式下，可單獨(dú)控制所有的閥門、泵組及質(zhì)譜啟停等；自動(dòng)控制模式下，基于需求方提供的工藝流程，具備工藝自動(dòng)化控制運(yùn)行能力27顯示界面顯示界面應(yīng)采用菜單形式；主界面顯示管路圖及對(duì)應(yīng)的狀態(tài)信息、質(zhì)譜測(cè)量結(jié)果；其他菜單界面應(yīng)支持錄入樣品編號(hào)、樣品描述、故障代碼及描述；顯示界面有菜單顯示機(jī)械泵、分子泵工作狀態(tài)等信息。28數(shù)據(jù)記錄與存儲(chǔ)調(diào)用數(shù)據(jù)記錄及存儲(chǔ)。溫度、泵運(yùn)行狀態(tài)、壓力傳感器、真空規(guī)和質(zhì)譜信號(hào)等的采集記錄；數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)應(yīng)存儲(chǔ)在工控機(jī)自帶的離線數(shù)據(jù)庫(kù)中并含時(shí)間戳；數(shù)據(jù)存儲(chǔ)時(shí)間間隔應(yīng)不大于1s，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)應(yīng)支持至少存儲(chǔ)6個(gè)月工作數(shù)據(jù)，且具備自動(dòng)循環(huán)覆蓋功能。3技術(shù)服務(wù)條款：31乙方長(zhǎng)期提供技術(shù)支持，并免費(fèi)提供所有公開發(fā)表的應(yīng)用文獻(xiàn)和最新儀器有關(guān)資料、通訊和用戶論文集等。32到貨安裝調(diào)試完成后，有專業(yè)工程師現(xiàn)場(chǎng)提供一次系統(tǒng)的使用培訓(xùn)服務(wù)，直至采購(gòu)人相關(guān)人員熟練掌握為止。二、采購(gòu)標(biāo)的需執(zhí)行的國(guó)家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、地方標(biāo)準(zhǔn)或者其他標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范：本次競(jìng)爭(zhēng)性磋商項(xiàng)目無(wú)特殊說(shuō)明，加工及安裝均遵循國(guó)家/行業(yè)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。三、售后服務(wù)要求：31供貨方保證提供產(chǎn)品必須為原裝、全新貨物；32質(zhì)保期要求在1年以上。質(zhì)保期內(nèi)，任何由制造商選材和制造不當(dāng)引起的質(zhì)量問題，廠商負(fù)責(zé)免費(fèi)維修或更換。質(zhì)保期自驗(yàn)收完成后簽字之日起計(jì)算。33廠家必須有應(yīng)用技術(shù)工程師，專門為用戶解決在實(shí)際應(yīng)用中所碰到的各類問題，并且，應(yīng)用技術(shù)工程師遠(yuǎn)程技術(shù)服務(wù)終生免費(fèi)，質(zhì)保期內(nèi)提供免費(fèi)到甲方現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)，不收取任何服務(wù)費(fèi)。