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HW2025101302復(fù)旦大學(xué)MBE原位輸運(yùn)測量系統(tǒng)采購招標(biāo)文件招標(biāo)編號：YX-FDCG-2025-068項(xiàng)目名稱：復(fù)旦大學(xué)MBE原位輸運(yùn)測量系統(tǒng)采購招標(biāo)人：復(fù)旦大學(xué)招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)：上海銀鑫建設(shè)咨詢有限公司2025年11月總目錄投標(biāo)邀請書2第一章投標(biāo)人須知及前附表6第二章采購需求一覽表27第三章采購需求30第四章合同條款39第五章各種格式48第六章資格證明文件格式68第七章評標(biāo)辦法80第1頁共86頁招標(biāo)文件項(xiàng)目編號：HW2025101302招標(biāo)編號：YX-FDCG-2025-068投標(biāo)邀請書復(fù)旦大學(xué)MBE原位輸運(yùn)測量系統(tǒng)采購招標(biāo)文件第2頁共86頁投標(biāo)邀請書本項(xiàng)目依據(jù)《中華人民共和國政府采購法》及其相關(guān)法律法規(guī)進(jìn)行公開招標(biāo)，復(fù)旦大學(xué)（以下簡稱招標(biāo)人）和上海銀鑫建設(shè)咨詢有限公司（以下簡稱招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)）茲邀請合格投標(biāo)人就本項(xiàng)目提交投標(biāo)文件。一、項(xiàng)目基本情況：1、項(xiàng)目名稱：復(fù)旦大學(xué)MBE原位輸運(yùn)測量系統(tǒng)采購2、項(xiàng)目編號：HW2025101302（招標(biāo)編號：YX-FDCG-2025-068）3、采購需求：包件號1名稱MBE原位輸運(yùn)測量系統(tǒng)數(shù)量1）原位輸運(yùn)測量系統(tǒng)：1套（至少包括：超高真空腔體：1套、超高真空抽氣模塊：1套、超高真空測量模塊：1套、超高真空氣動閘板閥：1套、樣品臺主體：1套、低溫模塊：1套、溫控系統(tǒng)：1套、磁鐵系統(tǒng)：1套、傳樣桿：1件、可調(diào)法蘭連接件：1件、超高真空視窗和法蘭：1套、電學(xué)測量模塊：1套、離子槍：1套）2）系統(tǒng)集成控制與安全保護(hù)：1套（至少包括：支撐框架：1套、標(biāo)準(zhǔn)控制機(jī)柜：1套、真空控制及安全保護(hù)系統(tǒng)（PLC）：1套、烘烤系統(tǒng)（包含溫度控制及電源）：1套、真空腔體照明系統(tǒng)：1套）用途和主要規(guī)格參數(shù)原位輸運(yùn)測量系統(tǒng)需能實(shí)現(xiàn)超高真空環(huán)境下的樣品傳遞及測量，兼容旗狀樣品托，避免暴露大氣對薄膜等樣品的破壞，需采用無液氦制冷機(jī)和機(jī)械進(jìn)針機(jī)制，需能用于薄膜樣品的測試，需能與MBE/PLD/SPUTTER等設(shè)備真空互聯(lián)，對樣品進(jìn)行電阻、霍爾效應(yīng)等的測量，需能用于凝聚態(tài)實(shí)驗(yàn)物理、材料、化學(xué)等學(xué)科的研究。主要參數(shù)要求：1）原位輸運(yùn)測量系統(tǒng)：腔體充分烘烤后，真空度≤1E-10Torr，真空漏率≤5E-10Pa*m3/s；2）原位輸運(yùn)測量系統(tǒng)：超高真空低溫樣品臺：需至少能兼容4inch晶圓，需配置GM制冷機(jī)并產(chǎn)生低溫，樣品臺工作溫度要求在77K-300K或更寬范圍，需具備PID連續(xù)控溫功能，控溫精度要求±01K或更優(yōu)；3）原位輸運(yùn)測量系統(tǒng)：超高真空3軸探針臺：需至少