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中國海洋大學(xué)反應(yīng)離子刻蝕機(jī)、物聯(lián)網(wǎng)多網(wǎng)關(guān)采集測試平臺等設(shè)備采購項(xiàng)目采購需求一、商務(wù)條件1交貨期及交貨地點(diǎn)11簽訂合同后按采購人要求供貨，技術(shù)要求中有明確要求的執(zhí)行技術(shù)要求中的交貨期，投標(biāo)人可根據(jù)自身情況自報(bào)最快交貨時(shí)間。12采購人指定地點(diǎn)。2質(zhì)量保證期21質(zhì)量保證期：國產(chǎn)設(shè)備質(zhì)保3年，進(jìn)口設(shè)備質(zhì)保1年，技術(shù)要求中有明確要求的執(zhí)行技術(shù)要求中的質(zhì)保期。國家主管部門或者行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)對貨物本身有更高要求的，從其規(guī)定并在合同中約定，投標(biāo)人亦可提報(bào)更長的質(zhì)保期。22質(zhì)量保證期內(nèi)，如果證實(shí)貨物是有缺陷的，包括潛在的缺陷或者使用不符合要求的材料等，中標(biāo)人應(yīng)立即免費(fèi)維修或者更換有缺陷的貨物或者部件，保證達(dá)到合同規(guī)定的技術(shù)以及性能要求。如果中標(biāo)人在收到通知后5天內(nèi)沒有彌補(bǔ)缺陷，采購人可自行采取必要的補(bǔ)救措施，但風(fēng)險(xiǎn)和費(fèi)用由中標(biāo)人承擔(dān)，采購人同時(shí)保留通過法律途徑進(jìn)行索賠的權(quán)利。23質(zhì)保期外的服務(wù)：如設(shè)備在質(zhì)保期外發(fā)生故障，中標(biāo)人繼續(xù)以成本費(fèi)用為用戶提供技術(shù)服務(wù)。24如中標(biāo)人所提供產(chǎn)品經(jīng)檢驗(yàn)不符合招標(biāo)文件及合同約定的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，則視為中標(biāo)人根本違約。投標(biāo)人有權(quán)解除合同，并要求中標(biāo)人向投標(biāo)人支付相當(dāng)于該合同設(shè)備總價(jià)款300%的違約金，且該違約金的支付并不免除中標(biāo)人返還已收貨款及賠償需方其他損失的責(zé)任。3付款方式內(nèi)貿(mào)貨物：貨物驗(yàn)收合格后，合同金額在十萬人民幣及以上，乙方需按照合同額5%付給甲方質(zhì)保金，甲方100%支付給乙方設(shè)備款。質(zhì)保期滿后無質(zhì)量問題及其他爭議，經(jīng)乙方申請，甲方在扣除相關(guān)費(fèi)用后將質(zhì)保金無息返還乙方。合同金額在十萬人民幣以下的，甲方100%支付給乙方設(shè)備款。乙方于甲方付款之前須向甲方開具增值稅專用發(fā)票/增值稅普通發(fā)票，如為增值稅專用發(fā)票需向甲方提供抵扣聯(lián)。外貿(mào)貨物：貨物辦理完免稅手續(xù)后支付合同的80%，驗(yàn)收合格后支付20%。4安裝調(diào)試驗(yàn)收41中標(biāo)人須保證所提供的產(chǎn)品能滿足主管部門的驗(yàn)收要求，并保證通過驗(yàn)收。42采購人將對貨物數(shù)量、質(zhì)量、規(guī)格等進(jìn)行檢驗(yàn)。如發(fā)現(xiàn)貨物和規(guī)格或者兩者都與招標(biāo)文件、投標(biāo)文件、合同不符，采購人有權(quán)限根據(jù)檢驗(yàn)結(jié)果要求中標(biāo)人立即更換或者提出索賠要求。5售后服務(wù)51質(zhì)保期內(nèi)，如果證實(shí)設(shè)備是有缺陷的，包括潛在的缺陷或者使用不符合要求的材料等，中標(biāo)人應(yīng)立即免費(fèi)維修或者更換有缺陷的貨物或者部件，保證達(dá)到合同規(guī)定的技術(shù)以及性能要求。如果中標(biāo)人在收到通知后5天內(nèi)沒有彌補(bǔ)缺陷，采購人可自行采取必要的補(bǔ)救措施，但風(fēng)險(xiǎn)和費(fèi)用由中標(biāo)人承擔(dān)，采購人同時(shí)保留通過法律途徑進(jìn)行索賠的權(quán)利。52質(zhì)保期內(nèi)中標(biāo)人應(yīng)提供及時(shí)周到的售后服務(wù)，在接到采購人通知2小時(shí)內(nèi)做出響應(yīng)并到達(dá)現(xiàn)場，24小時(shí)內(nèi)維修完畢，不能在規(guī)定時(shí)間內(nèi)修好的要免費(fèi)提供備品（機(jī)）備件。53質(zhì)保期內(nèi)，中標(biāo)人應(yīng)按照采購人要求無償協(xié)助采購人開展設(shè)備調(diào)試，直至可實(shí)現(xiàn)設(shè)備的正常使用。6培訓(xùn)要求中標(biāo)人免費(fèi)為采購人提供中文操作手冊并培訓(xùn)操作人員，其中包括講解產(chǎn)品的結(jié)構(gòu)以及原理、產(chǎn)品的使用以及維護(hù)保養(yǎng)，直至操作人員能夠獨(dú)立的操作使用。二、采購內(nèi)容第一包序號設(shè)備名稱技術(shù)需求數(shù)量單價(jià)限價(jià)（萬元）1反應(yīng)離子刻蝕機(jī)1設(shè)備用途可刻蝕的材料包括半導(dǎo)體材料Si、Ge等；介質(zhì)化合物GaAs、LiNbO3、SiC、SiO2、SixNx、TaN、TiO2、等；有機(jī)材料PR、PI等。2性能指標(biāo)21樣片尺寸：支持Φ8英寸晶圓及向下兼容樣品刻蝕；22樣片數(shù)量：1片；23感性耦合電極功率：0～1000W；24容性耦合電極功率：0～600W；25下電極（容性）尺寸：≥Φ250mm；26刻蝕室極限真空：≤20E-4Pa；Loadlock室：≤10Pa；27設(shè)備升壓率：≤35Pa/12h；28抽速：刻蝕室：抽至50E-30Pa≤2min（Loadlock送完樣）；29Loadlock室：抽至50Pa≤5min（充干燥氮?dú)馄普婵眨?10配置氣體：C4F8、SF6、CF4、CHF3、O2、Ar、He；211刻蝕速率：Si50~1200um/min；SiO250~300nm/min；212壓力控制范圍：05Pa～50Pa，精度±001Pa；213刻蝕不均勻性：Φ8英寸≤±5%，去除邊緣效應(yīng)5mm；214深寬比：≥4：1（Si基底為準(zhǔn)）；1套114100215下電極冷卻：水冷+He冷背吹；216支持Bosch工藝；217電極控溫范圍：0～30℃室溫。3設(shè)備主要配置31刻蝕腔：鋁合金材質(zhì)，1套；32Loadlock腔：鋁合金材質(zhì)，1套；33傳輸閥（真空鎖）：≥H250mm*50mm，1個；34粗抽泵：渦旋干泵，峰值抽速≥21cfm；極限真空度≤0008Torr，噪聲≤57db，2臺；35高真空磁懸浮分子泵：抽速600L/S，1臺；36高真空電動插板閥：Φ150mm，1臺；37全量程復(fù)合真空計(jì)：大氣～10E+5Pa，1套；38前級管道壓力計(jì)，1套；39工藝規(guī)：01Torr，1個；310氦冷背吹系統(tǒng)，1套；311感性耦合電極，1套；312電容耦合電極，1套；3131000W感性耦合射頻電源及配套匹配器，1套，射頻脈沖占空比1%到99%；射頻脈沖頻率：1Hz~30KHz；314600W電容耦合射頻電源及配套匹配器，1套，射頻脈沖占空比1%到99%；射頻脈沖頻率：1Hz~30KHz；315質(zhì)量流量控制器：C4F8、SF6、CHF3、CF4、O2、Ar、He，各1套；316電極低溫冷卻系統(tǒng)，1套；317電氣控制系統(tǒng)，1套；318配套控制軟件，1套；319刻蝕臺冷卻水機(jī)，1臺；