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中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所等離子體裝置TS湯姆遜散射分析系統(tǒng)采購項目第52頁/共73頁第六章招標(biāo)項目技術(shù)、服務(wù)、政府采購合同內(nèi)容條款及其他商務(wù)要求一、技術(shù)要求：1、功能要求與配置要求：★11等離子體裝置TS湯姆遜散射分析系統(tǒng)在真空環(huán)境下開展激光與物質(zhì)相互作用等離子體特征光譜測試，可穩(wěn)定實現(xiàn)各設(shè)備時序協(xié)同控制下的光譜測量，完成鋁等材料的等離子體特征光譜探測，且需具備良好的光譜探測峰位與強度重復(fù)性。12系統(tǒng)指標(biāo)要求：★121光譜測量范圍：200nm~1000nm?！?22采集分辨率：3ns?！?23延時分辨率：<1ns?！?24激光器：單脈沖能量≥850mJ@1064nm，脈寬5ns~10ns，近場高斯擬合度≥85%，遠(yuǎn)場高斯擬合度≥90%。★125系統(tǒng)光譜分辨率：≤004nm@1200g/mm。（投標(biāo)人需提供波長300~1000nm光譜分辨率的證明材料。）★126單次成譜范圍：≥60nm@150g/mm?！?27系統(tǒng)能從六個不同方向同步穩(wěn)定探測等離子體特征光譜（光譜總通道數(shù)≥35），并能通過掃描光纖和調(diào)節(jié)鏡組成像倍率實現(xiàn)二維探測，光譜探測視場2mm×2mm~10mm×10mm可調(diào)?！?28配備標(biāo)定的校準(zhǔn)光源，具備光譜探測強度和峰位的校準(zhǔn)能力。●129提供實現(xiàn)系統(tǒng)各設(shè)備協(xié)同控制的總控軟件?！?3系統(tǒng)配置要求：該系統(tǒng)包括但不限于脈沖激光器一套、高分辨成像單色儀及配套CCD陣列探測器一套、門控陣列探測器一套、真空腔體及配套真空泵組、電動真空樣品臺一套、激光入射及光譜收集定制光路、校準(zhǔn)光源、核心設(shè)備（脈沖激光器、高分辨成像單色儀、門控陣列探測器及所有電動位移臺）的控制軟件、可驅(qū)動系統(tǒng)各設(shè)備的工控機以及光學(xué)平臺。2、系統(tǒng)中標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備及定制部件要求：中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所等離子體裝置TS湯姆遜散射分析系統(tǒng)采購項目第53頁/共73頁21脈沖激光器：211納秒脈沖激光器中心波長為1064nm±1nm、可倍頻至532nm±1nm。★212單脈沖能量：≥850mJ@1064nm，脈寬：5ns~10ns（脈沖時間能量波形的半高寬）。213功率調(diào)節(jié)：線偏振輸出，能量電調(diào)范圍：10%~100%。脈沖頻率：1Hz-10Hz分頻可調(diào)。●214光束質(zhì)量：M2≤2（參照國標(biāo)GB/T15175-2012），近場高斯擬合度≥85%，遠(yuǎn)場高斯擬合度≥90%，其中532nm的M2≤2。（投標(biāo)人應(yīng)提供光束質(zhì)量M2≤2的證明材料：經(jīng)用戶簽字驗收合格或第三方有法定檢測資質(zhì)機構(gòu)出具的測試報告）▲215水平和垂直發(fā)散角：≤05mrad，指向不穩(wěn)定性：≤30μrad（測量500個以上脈沖能量計算RMS值）。（投標(biāo)人應(yīng)提供證明材料:包含本條所有對應(yīng)指標(biāo)項，且經(jīng)用戶簽字驗收合格或第三方有法定檢測資質(zhì)機構(gòu)出具的測試報告。）▲216能量不穩(wěn)定性：≤1%@1064nm，≤15%@532nm。（測量100~200個脈沖能量計算RMS值。）22高分辨成像單色儀：★221采用光纖陣列信號導(dǎo)入方式的高分辨成像單色儀。采用全反反射光纖導(dǎo)入模式和全反射式單色儀以減小成像畸變。單色儀需具備平場矯正模式，陣列光纖成像平直且邊緣清晰。（投標(biāo)人需提供全反射光纖導(dǎo)入部件實物圖片證明材料，和陣列光纖光譜成像實際結(jié)果圖片截圖）222單色儀焦長：≥550mm?！?23光譜儀相對孔徑：≤8。（光譜儀焦長/反射鏡（或光柵）邊長）；（投標(biāo)人需提供制造商發(fā)布的彩頁資料或網(wǎng)頁截圖證明材料）★224配置150刻線、1200刻線和2400刻線光柵，三個光柵全自動切換，全自動波長掃描，采用光柵在軸掃描模式。（投標(biāo)人需提供制造商發(fā)布的彩頁資料或網(wǎng)頁截圖證明材料）●225在高分辨掃描模式下，軟件控制光譜自動拼接，無明顯拼接痕跡（如臺階）。中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所等離子體裝置TS湯姆遜散射分析系統(tǒng)采購項目第54頁/共73頁●226極限光譜分辨率≤004nm（波長200nm~1000nm）?！?27光譜重復(fù)性：≤±0002nm（采用氖燈或汞燈信號，測量100次燈線信號峰位，位移量的半差值（HalfRange=(max?min)/2）≤±0002nm）。（投標(biāo)人需提供實測數(shù)據(jù)曲線截圖證明材料）●228配適配的CCD陣列探測器，光譜響應(yīng)范圍：200nm~1000nm，制冷溫度：≤-50℃。（投標(biāo)人需提供制造商發(fā)布的彩頁資料或網(wǎng)頁截圖證明材料）23門控陣列探測器：▲231分辨率：≥2048×2048個像元。（投標(biāo)人需提供制造商發(fā)布的彩頁資料或網(wǎng)頁截圖證明材料）?！?32光譜響應(yīng)范圍：200nm~850nm。（投標(biāo)人需提供制造商發(fā)布的彩頁資料或網(wǎng)頁截圖證明材料。）233采集幀宰：≥16fps@全幅?！?34延時分辨率：＜1ns。235同步接口：外觸發(fā)輸入×1；同步輸出×2。★236采集分辨率：3ns。24真空腔體與電動真空樣品臺：▲241真空腔內(nèi)體尺寸和空間滿足真空樣品臺運行和樣品控制，真空腔體配置不少于8個光學(xué)窗口?！?42配置高穩(wěn)定性泵組以保證腔體長時間的真空度，分子泵抽速≥1200L/s、無油干泵抽速≥10L/s，真空腔工作真空度≤10-3Pa。●243配置真空兼容電動樣品臺，可實現(xiàn)XYZ三軸平移及Y軸旋轉(zhuǎn)共四維聯(lián)動。樣品臺XY方向最大位移量≥30mm，最小步進≤2μm；樣品臺Z方向最大位移量≥30mm，最小步進≤2μm；旋轉(zhuǎn)角度≥360°，最小步進≤01°。25激光入射及光譜收集定制光路：251激光入射光路將脈沖激光器光束聚焦至測試區(qū)域，配電動位移臺實現(xiàn)光軸方向的焦點調(diào)控功能，調(diào)節(jié)范圍≥30mm。●252配置6路收集光路從不同角度探測特征光譜，每一路配置分束器、成像鏡組、探測器、位移臺和光纖夾具等，可獨立觀察并調(diào)節(jié)使等離子體成中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所等離子體裝置TS湯姆遜散射分析系統(tǒng)采購項目第55頁/共73頁像于光纖陣列端口；每一路成像鏡組與陣列光纖配合實現(xiàn)單次探測一維視場2~10mm可調(diào)，通過電動位移臺掃描實現(xiàn)2mm×2mm~10mm×10mm二維視場。●253總共配置不少于3根陣列光纖，每根的工作芯數(shù)為M（M≥35），其中一頭均為1×M排布，另一頭不同：1根為整束，排布為1×M；1根分為6子束（每束約1×M/6），1根分為4子束（每束約1×M/4）。3根光纖均能隨意集成到任意一路或者多路特征光譜收集光路中。▲26光學(xué)平臺：≥18m（長）×12m（寬），平臺高度≥08m，確保全系統(tǒng)的安裝、及穩(wěn)定運行需求。★二、商務(wù)要求：21交貨期：合同生效后六個月。22交貨地點：采購人指定地點。23履約保證金：本項目履約保證金為合同金額的5%。交款方式：銀行轉(zhuǎn)賬，支票/匯票/本票，保函/保險。交款時間：中標(biāo)通知書發(fā)放后，合同簽訂前。收款單位：中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所開戶行：中行雙流光電所支行銀行賬號：125255436815退還時間：中標(biāo)人履行完成合同約定的權(quán)利義務(wù)事項并在質(zhì)保期滿后原路退回，不計利息。24付款方式：采購人在合同簽訂生效后并收到中標(biāo)人支付的履約保證金和40%合同總金額發(fā)票后30個工作日內(nèi)支付合同總金額的40%；貨物通過技術(shù)方案和驗收檢測大綱評審合格后，中標(biāo)人向采購人開具20%合同總金額發(fā)票，采購人收到發(fā)票后30個工作日內(nèi)支付合同總金額的20%；驗收調(diào)試完，中標(biāo)人向采購人開具40%合同總金額發(fā)票，采購人收到發(fā)票后30個工作日內(nèi)支付合同總金額的40%。25質(zhì)量保證期：貨物驗收合格后12個月。26安裝調(diào)試與驗收：