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PZT薄膜制造系統(tǒng)-國(guó)際招標(biāo)公告(1)PZT-產(chǎn)品清單.xls

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商品信息模板*項(xiàng)序號(hào)*產(chǎn)品名稱*數(shù)量*簡(jiǎn)要技術(shù)規(guī)格備注1PZT薄膜制造系統(tǒng)1套最大可加工12”晶圓;多濺射腔、具備電極材料、中間層材料、壓電PZT材料薄膜沉積能力。詳見(jiàn)第八章“技術(shù)規(guī)格”。