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采購需求一、標的清單序號貨物名稱進口/國產(chǎn)數(shù)量單位最高限價單價（人民幣/元）最高限價總價（人民幣/元）是否為核心產(chǎn)品1場發(fā)射掃描電子顯微鏡進口1套475000000475000000是2電化學工作站國產(chǎn)1臺80000008000000否3A1箱式爐國產(chǎn)1臺40000004000000否4A2箱式爐國產(chǎn)2臺600000012000000否5A4箱式爐國產(chǎn)2臺800000016000000否6三溫區(qū)管式爐國產(chǎn)2臺700000014000000否7同步熱分析儀進口1臺7500000075000000是830L鼓風烘箱國產(chǎn)2臺10000002000000否980L鼓風烘箱國產(chǎn)1臺20000002000000否10高速離心機國產(chǎn)1臺30000003000000否11金剛石線切割機國產(chǎn)1臺*00000否12六級離心萃取機國產(chǎn)1臺*00000否13氣氛箱式爐國產(chǎn)1臺1200000012000000否14真空熱壓爐國產(chǎn)1臺3300000033000000否注：供應(yīng)商針對以上貨物的單項報價不得超過其單價最高限價，否則作無效投標處理。一、技術(shù)要求（一）場發(fā)射掃描電子顯微鏡序號重要性指標項指標要求證明材料要求1★二次電子分辨率07nm@15kV，11nm@1kV；（非樣品臺減速模式下）提供產(chǎn)品制造商或制造商中2★放大倍率10~1,000,000倍或者更寬，根據(jù)加速電壓和工作距離的改變，放大倍數(shù)自動校準3▲低電壓配備電子束減速模式鏡筒內(nèi)減速國分支機構(gòu)或國內(nèi)總代理商針對本項目出具的技術(shù)參數(shù)確認函原件掃描件并加蓋公章進行佐證,技術(shù)參數(shù)確認函中須標注所投產(chǎn)品的品牌、型號。4★電子束加速電壓范圍003kV~20kV5★電子束著陸能量范圍20eV～30keV（非樣品臺減速模式下）6★電子束流≥20nA7★電子槍類型肖特基場發(fā)射電子槍，束流穩(wěn)定性優(yōu)于03%/h8★樣品在1kV或以下可直接對傾斜樣品進行高分辨成像，分辨率能達到11nm9★鐵磁性和易磁性可對鐵磁性和易磁性材料進行2mm內(nèi)短距離下，進行底片倍率高于100,000倍的高分辨成像10★物鏡光闌孔物鏡光闌孔數(shù)量≥7，光闌具備自動坐標記憶功能，可通過軟件自動控制光闌孔徑更換，無需手動調(diào)節(jié)11★通道模式具有雙通道模式，可以在同一區(qū)域同時進行鏡筒內(nèi)二次電子和背散射兩個探測器拍照，一次得到同區(qū)域的二次電子和背散射的圖片12★樣品艙室樣品艙室采用抽屜式拉門設(shè)計，樣品艙室尺寸≥365mm×275mm13★樣品直徑可直接放入的樣品最大樣品直徑≥200mm14▲驅(qū)動樣品臺配備五軸優(yōu)中心馬達驅(qū)動樣品臺，移動最大范圍指標：X方向≥140mm，Y方向≥130mm，R=360°（旋轉(zhuǎn)）,Z≥100mm，雙向傾斜，傾斜范圍不小于-20°至+90°15★控制面板配置多功能旋鈕操作控制面板16★樣品座配有九孔樣品座，多功能樣品座17★最大可載樣品重量5kg（XY軸移動）18★觸碰告警樣品觸碰極靴告警19★探測器樣品室二次電子探測器20★鏡筒內(nèi)部二次電子探測器，位于正光軸上，使用過程不需要加偏壓21★樣品室內(nèi)伸縮式環(huán)形背散射探測器，不小于5分割象限，可以進行多種模式成像22★樣品室內(nèi)紅外CCD相機觀察系統(tǒng)，與SEM軟件集成一體，SEM拍攝時可以同時用CCD監(jiān)控樣品臺情況23★配置樣品配置樣品電流監(jiān)視器24★真空系統(tǒng)無油機械泵，磁懸浮渦輪分子泵和離子泵；樣品室真空度：高真空模式優(yōu)于30×10-4Pa，電子槍真空度：10-7Pa數(shù)量級25▲數(shù)字圖像記錄系統(tǒng)單張圖片最大存儲分辨率≥32k×24k，保證可以大視野高分辨快速成像26★圖像顯示像素≥1024×76827★圖像記錄TIFF,BMP或JPEG28★功能具有漂移校正軟件和中心點功能29★可自動調(diào)節(jié)電子槍對中、真空控制、亮度與襯度、調(diào)焦和象散、動態(tài)聚焦、傾斜補償30★高級測量軟件具有高級測量軟件，可以對各類樣品進行高度或長度測量31★控制和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)基于網(wǎng)絡(luò)架構(gòu)的數(shù)據(jù)傳輸系統(tǒng)32★處理系統(tǒng)6核/12線程內(nèi)存RAM：16GB33★操作系統(tǒng)專業(yè)版操作系統(tǒng)34▲聯(lián)用接口預(yù)留光電關(guān)聯(lián)接口：升級光電關(guān)聯(lián)之后在光學顯微鏡下自動到對應(yīng)的光鏡觀察的區(qū)域35★能譜儀探測器分析型SDD硅漂移電制冷探測器，≥65mm2有效面積；高分子超薄窗設(shè)計36★能量分辨率MnKa保證優(yōu)于129eV（@計數(shù)率100,000cps）37★元素分析范圍B5～Cf9838★修正功能具備零峰修正功能，可以快速穩(wěn)定譜峰，開機后無需重新修正峰位39★能譜平臺能譜應(yīng)用軟件采用最新的實時能譜平臺，多線程設(shè)計40★元素譜圖Live功能在譜圖采集時實時顯示MinQuant的定量分析結(jié)果41▲元素面分布Live功能在樣品臺靜止狀態(tài)、移動及改變放大倍數(shù)時，均可實時顯示電子圖像、不同元素分布以及它們的疊加圖。42★引擎內(nèi)置引擎，自動扣除背底，確定譜峰的位置及峰型43★線掃描分析每條線可包含高達8192點，可從線掃描結(jié)果重建單點譜圖?？稍谒交虼怪狈较蜻M行多線依次采集44★定性分析AutoID可自動標識譜峰，可進行譜重構(gòu)45★定量分析采用XPP定量修正技術(shù)。具有完備的標樣數(shù)據(jù)庫，20kv及5kv高低電壓定量數(shù)據(jù)庫46★分辨率電子圖像分辨率≥8192*8192像素；元素面分布圖分辨率≥4096*4096像素；可從面分布圖上進行點、線譜圖重建47★處理器采用X1脈沖與圖像處理器：可高效進行脈沖處理和圖像采集，在1,000,000計數(shù)率下進行元素面分布分析，在100,000計數(shù)率下進行定量分析48▲電子背散射衍射分析系統(tǒng)高速低噪音CMOS相機，分辨率≥1244*1024，并能夠與各主流型號的電鏡良好配合49▲EBSD在線解析標定速度≥400pps，花樣分辨率保持為≥312*25650★取向精度高達01度51#采用光纖傳導系統(tǒng)，每一個像素點具有相應(yīng)光纖傳導光信號，適合弱信號分析52#采用主動式防碰撞傳感器設(shè)計，在碰撞發(fā)生前探測器自動預(yù)警并后撤，起到保護EBSD作用53★探測器插入退出，最快速度：≥15mm/s，精度：優(yōu)于10μm54★軟件配置操作軟件采用多任務(wù)設(shè)計，可以同時支持數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)后處理分析，并支持分屏顯示及遠程控制55★操作軟件完全與能譜儀軟件一體化56★電子圖像分辨率≥8192*8192，EBSD面分布圖分辨率≥4096*409657▲動態(tài)自動背景扣除技術(shù)，探測器參數(shù)自動優(yōu)化。切換樣品、更換分析位置、以及EBSD探測器伸縮后均無需重新扣除背景或重新優(yōu)化58★能對所有對稱性（從三斜到立方）晶體材料的EBSP花樣進行自動化的標定59★配置HKL及ICSD海量晶體學數(shù)據(jù)庫，數(shù)據(jù)容量不小于5萬種60★多條帶標定方法（最多可以用12條菊池帶進行標定），根據(jù)平均角度偏差MAD結(jié)構(gòu)因子進行完全自動化的菊池帶識別和花樣標定61★配有標定模式，實現(xiàn)更高角度分辨率的標定62★配有64位EBSD數(shù)據(jù)后處理軟件包，和采集軟件同一風格，支持10種語言界面，可處理包含多至6400萬像素的單個文件63▲微型原位力學試驗系統(tǒng)實現(xiàn)單軸拉伸壓縮、彎曲、剪切、疲勞等試驗功能，能夠搭配溫控環(huán)境系統(tǒng)以及可以放置在SEM中使用64▲4通道全閉環(huán)控制具備載荷(應(yīng)力)控制、位移（應(yīng)變）控制兩種加載模式，可自由切換，能實現(xiàn)多步循環(huán)加載控制65★試驗軟件需要具有設(shè)備過載保護功能，具有疲勞測試、拉伸測試、蠕變測試功能，還可以自由配置多步加載測試功能66#具有試驗數(shù)據(jù)存儲功能并且可以設(shè)置存儲模式，數(shù)據(jù)可以在第三方軟件打開并分析67#具有多種數(shù)據(jù)存儲模式，包括線性存儲、對數(shù)存儲、2^n存儲等模式68★試驗軟件需具有載荷、位移等參數(shù)標定功能69#具有疲勞試驗峰值的間隔調(diào)整（變幅）功能70#可實時顯示和存儲載荷速度、位移速度、應(yīng)變速度和各通道的疲勞曲線均值等數(shù)值71★載荷量程≥5000N72★載荷分辨力≤001N73★載荷測量精度示值的05%74★測量范圍量程1%-100%