中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所干涉儀采購項目第24頁/共63頁第五章采購項目技術(shù)、服務(wù)內(nèi)容條款及商務(wù)要求★一、技術(shù)服務(wù)內(nèi)容及要求:1、技術(shù)要求:11出射平行光波像差優(yōu)于05λ,使用剪切干涉儀檢測。12光源:波長調(diào)諧激光,中心波長6328nm。13衍射環(huán)紋抑制技術(shù):具有環(huán)形光源(硬件)和點光源,兩種光源一鍵切換。14探測器:靶面尺寸不小于2/3英寸,有效使用分辨率≥2000*2000,采樣頻率高于200Hz。15測量方式:波長相移、MST和壓電陶瓷機械移相。16測量口徑:≥1016mm。(提供制造商以往類似設(shè)備檢測報告復(fù)印件,加蓋供應(yīng)商公章。)17RMS重復(fù)性:≤00001λ。(提供制造商以往類似設(shè)備檢測報告復(fù)印件,加蓋供應(yīng)商公章。)18RMS精度:≤0001λ。(提供制造商以往類似設(shè)備檢測報告復(fù)印件,加蓋供應(yīng)商公章。)19橫向分辨率:ITF>07@54lp/mm,使用位相板測量。(提供制造商以往類似設(shè)備檢測報告復(fù)印件,加蓋供應(yīng)商公章。)110輔助對準,十字線雙光點快速對準,對準角度±2°,使用數(shù)字對準相機。111光瞳調(diào)焦范圍:±55m。112具有MST多表面分離技術(shù),可以多表面解析物理厚度大于15mm的平行平板,測試結(jié)果與短相干光源干涉儀測試結(jié)果比對,誤差PVr小于λ/20。(提供制造商以往類似設(shè)備檢測報告復(fù)印件,加蓋供應(yīng)商公章。)113單次干涉條紋采集可以同時獲得:前表面面形,后表面面形,光學(xué)厚度變化,物理厚度變化;可以通過兩次測試得到樣品的均勻性變化。114具有抗震技術(shù),可以在地基VC-B的情況下進行高精度測試。115150mm平面透過標準鏡TF(PVr<λ/40)1塊;使用三平板絕對測量標定誤差,誤差文件存儲在軟件中,可以通過位相相減進行高精度測量。(提供制造商以往中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所干涉儀采購項目第25頁/共63頁類似設(shè)備檢測報告復(fù)印件,加蓋供應(yīng)商公章。)116150mm平面反射標準鏡RF(PVr<λ/40)1塊。(提供制造商以往類似設(shè)備檢測報告復(fù)印件,加蓋供應(yīng)商公章。)117150mm平面透過標準鏡TF和150mm平面反射標準鏡RF使用三平板絕對測量標定誤差,誤差文件存儲在軟件中,可以通過位相相減進行高精度測量。118150mm鍍動態(tài)膜平面透過標準鏡1塊,可以測試反射率從2%到99%的樣品。119光學(xué)均勻性測試功能:具有經(jīng)典四步法,MST兩步法(針對接近平行平板),MST四步法(針對楔角稍大,但有自身干涉條紋干擾)測量光學(xué)均勻性。2、配置:21波長調(diào)制MST激光干涉儀主機一臺,包含干涉條紋分析軟件。22150mm平面透過標準鏡TF(PVr<λ/40)1塊。23150mm平面反射標準鏡RF(PVr<λ/40)1塊。24150mm鍍動態(tài)膜平面透過標準鏡1塊。25RF二維俯仰調(diào)整架。26平面樣品調(diào)整架,最大夾持φ300mm,具有二維俯仰,一維旋轉(zhuǎn)功能。3、測量功能:31可提供以下專業(yè)應(yīng)用測試:面形測試;透射波前測試;楔角測試;材料均勻性測試與分析。32提供可旋轉(zhuǎn)的3維圖像,等軸圖,等高線圖,斜率圖,線狀曲線圖。這些圖像可以在顯示器上顯示。33軟件提供以下數(shù)據(jù)剪輯:矩形,橢圓,正方形,圓,多邊形以及曲線連接(自由形態(tài))。34軟件有計算以下參數(shù)的功能:36個Zernike系數(shù)、峰—谷值、標準偏差、Strehl系數(shù)(比率)、方差、rms誤差和rms剩余誤差(殘差)。35Zernike系數(shù)(多項式系數(shù))的編輯,包括:輸入各項,產(chǎn)生,刪除,存儲,倒轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn),相加和相減。36具有直接測量非連續(xù)條紋功能,無需畫輔助線等特殊處理?!锒?、商務(wù)要求:21交貨日期:合同簽訂后1個月內(nèi)。中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所干涉儀采購項目第26頁/共63頁22交貨地點:采購人指定地點。23履約保證金:本項目履約保證金為合同金額的5%。交款方式:銀行轉(zhuǎn)賬,支票/匯票/本票,保函/保險。交款時間:成交通知書發(fā)放后,合同簽訂前。收款單位:中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所開戶行:中行雙流光電所支行銀行賬號:125255436815退還時間:成交供應(yīng)商履行完成合同約定的權(quán)利義務(wù)事項并在質(zhì)保期滿后原路退回,不計利息。24付款方式:采購人在合同簽訂生效后并收到成交供應(yīng)商支付的履約保證金和40%合同總金額發(fā)票后30個工作日內(nèi)支付合同總金額的40%;驗收調(diào)試完,成交供應(yīng)商向采購人開具60%合同總金額發(fā)票,采購人收到發(fā)票、出廠檢驗報告、合格證后30個工作日內(nèi)支付合同總金額的60%。25質(zhì)量保證期:貨物驗收合格后12個月。26設(shè)備的安裝、調(diào)試與培訓(xùn)驗收:261安裝、調(diào)試:成交供應(yīng)商需按采購人要求在指定時間和地點對產(chǎn)品進行安裝和調(diào)試。262操作人員培訓(xùn):在用戶所在地對用戶進行至少3人、為期至少2天的免費培訓(xùn)。培訓(xùn)內(nèi)容包括儀器的技術(shù)原理、操作、數(shù)據(jù)處理、基本維護等。263設(shè)備驗收:2631提供設(shè)備原生產(chǎn)廠出廠質(zhì)量合格報告、出廠檢測報告、說明書、維護手冊、培訓(xùn)手冊等必要文件。2632驗收標準:按照投標技術(shù)文件、檢測大綱和相關(guān)要求進行設(shè)備驗收。2633設(shè)備開箱完好并安裝完畢后,進行檢驗驗收。首先對設(shè)備組成進行常規(guī)性檢測,其次進行實際的運行測試,最終檢驗合格后,進行操作、維修等技術(shù)培訓(xùn)。2634待規(guī)定的項目完成和設(shè)備工作正常后驗收,驗收合格后雙方簽署驗收文件。2635每臺儀器的安裝調(diào)試-驗收期不應(yīng)長于10個工作日。27易損、易耗件清單和價格表:請供應(yīng)商提供設(shè)備的備品備件、易損、易耗件清單中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所干涉儀采購項目第27頁/共63頁和價格表,并承諾在質(zhì)保期后3年內(nèi)以不高于上述清單價格按招標人不時要求的數(shù)量及合理時間向招標人提供該易損件和備品備件。28質(zhì)量保證與售后服務(wù):281供應(yīng)商所提供的產(chǎn)品發(fā)生故障后,采購人應(yīng)及時通知供應(yīng)商,供應(yīng)商應(yīng)在接到故障通知后8小時內(nèi)給予響應(yīng),如果采購人要求緊急處理,供應(yīng)商應(yīng)在收到采購人通知后的48小時內(nèi)趕到現(xiàn)場,為采購人修理或更換相關(guān)產(chǎn)品,并承擔(dān)因此所產(chǎn)生的一切費用。282供應(yīng)商應(yīng)保證合同項下所供貨物是全新的、未使用過的,除非合同另有規(guī)定,貨物應(yīng)含有設(shè)計上和材料的全部最新改進。供應(yīng)商進一步保證,合同項下提供的全部貨物在最終目的地正常使用時沒有設(shè)計、材料或工藝上的缺陷(由于按采購人的要求設(shè)計或按采購人的規(guī)格提供的材料所產(chǎn)生的缺陷除外),也沒有因供應(yīng)商的行為或疏忽而產(chǎn)生的缺陷。283如因供應(yīng)商產(chǎn)品質(zhì)量原因不能達到合同及附件規(guī)定的技術(shù)要求時,供應(yīng)商應(yīng)對所供產(chǎn)品負責(zé)處理并承擔(dān)因此而發(fā)生的全部直接費用,除質(zhì)量保證期順延外,還應(yīng)承擔(dān)影響采購人研發(fā)/生產(chǎn)所帶來的相關(guān)責(zé)任。284產(chǎn)品在質(zhì)量保證期內(nèi),如發(fā)現(xiàn)質(zhì)量問題,供應(yīng)商應(yīng)在規(guī)定的時間內(nèi)抵達現(xiàn)場負責(zé)修理或更換,所需費用由供應(yīng)商自行承擔(dān)。如果收到通知后,供應(yīng)商在采購人或業(yè)主規(guī)定的時間內(nèi)未能以合理的速度彌補缺陷,采購人可采取必要的補救措施,但其風(fēng)險和相關(guān)費用將由供應(yīng)商承擔(dān),采購人根據(jù)采購合同約定對供應(yīng)商行使的其他權(quán)利不受影響。在質(zhì)量保證期外,并不解除供應(yīng)商對所供產(chǎn)品的質(zhì)量應(yīng)承擔(dān)的責(zé)任。285若因項目實施或現(xiàn)場存儲等原因,當(dāng)不適合將貨物運至現(xiàn)場時,供應(yīng)商對所供貨物有交貨期后至少3個月的倉儲保管義務(wù),其費用包括在總價中。286若因供應(yīng)商自身提前生產(chǎn)或儲存原材料等所產(chǎn)生的費用包括在總價中,由此產(chǎn)生的費用及風(fēng)險由供應(yīng)商承擔(dān)。29成交供應(yīng)商應(yīng)當(dāng)按照采購人歸檔要求進行檔案資料歸檔。注:1、“★”為實質(zhì)性要求,負偏離將導(dǎo)致響應(yīng)文件無效。2、在談判過程中,談判小組可以根據(jù)談判文件和談判情況實質(zhì)性變動采購需求中的技
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