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—1—安徽省省屬高校政府采購科研儀器設備類采購項目公開招標文件項目名稱：安徽大學集成電路先進材料與技術研究設施創(chuàng)新平臺設備更新-TSV/TGV設備采購項目項目編號：FSKY34000120257976號采購人：安徽大學采購代理機構：鼎信數智技術集團股份有限公司2025年11月—2—目錄第一章招標公告3第二章投標人須知8第三章采購需求34第四章評標方法和標準（綜合評分法）87第五章采購合同108第六章投標文件格式119附件1142政府采購供應商質疑函范本142附件2144大中小微型企業(yè)劃分標準144—3—第一章招標公告項目概況安徽大學集成電路先進材料與技術研究設施創(chuàng)新平臺設備更新-TSV/TGV設備采購項目招標項目的潛在投標人應在“徽采云”電子交易系統(tǒng)獲取采購文件，并于2025年12月16日10點00分（北京時間）前提交投標文件。一、項目基本情況項目編號：FSKY34000120257976號項目名稱：安徽大學集成電路先進材料與技術研究設施創(chuàng)新平臺設備更新-TSV/TGV設備采購項目預算金額：2721萬元（第1包550萬元；第2包350萬元；第3包350萬元；第4包400萬元；第5包760萬元；第6包311萬元）最高限價：2461萬元（第1包480萬元；第2包310萬元；第3包200萬元；第4包400萬元；第5包760萬元；第6包311萬元）采購需求：包別1：包別名稱：化學機械拋光機（CMP）預算金額：550萬元數量：不限簡要描述規(guī)格或項目基本概況介紹、用途：本項目主要為安徽大學集成電路先進材料與技術研究設施創(chuàng)新平臺設備更新-TSV/TGV設備采購項目，采購內容為：化學機械拋光機（CMP），具體詳見招標文件。合同履行期限：合同簽訂之日起180個日歷天內供貨安裝調試完畢并具備驗收條件。本包別（不接受）聯合體投標。包別2：包別名稱：激光玻璃通孔刻蝕機預算金額：350萬元—4—數量：不限簡要描述規(guī)格或項目基本概況介紹、用途：本項目主要為安徽大學集成電路先進材料與技術研究設施創(chuàng)新平臺設備更新-TSV/TGV設備采購項目，采購內容為：激光玻璃通孔刻蝕機，具體詳見招標文件。合同履行期限：合同簽訂之日起180個日歷天內供貨安裝調試完畢并具備驗收條件。本包別（不接受）聯合體投標。包別3：包別名稱：晶圓清洗甩干系統(tǒng)預算金額：350萬元數量：不限簡要描述規(guī)格或項目基本概況介紹、用途：本項目主要為安徽大學集成電路先進材料與技術研究設施創(chuàng)新平臺設備更新-TSV/TGV設備采購項目，采購內容為：晶圓清洗甩干系統(tǒng)，具體詳見招標文件。合同履行期限：合同簽訂之日起180個日歷天內供貨安裝調試完畢并具備驗收條件。本包別（不接受）聯合體投標。包別4：包別名稱：深硅刻蝕系統(tǒng)預算金額：400萬元數量：不限簡要描述規(guī)格或項目基本概況介紹、用途：本項目主要為安徽大學集成電路先進材料與技術研究設施創(chuàng)新平臺設備更新-TSV/TGV設備采購項目，采購內容為：深硅刻蝕系統(tǒng)，具體詳見招標文件。合同履行期限：合同簽訂之日起270個日歷天內供貨安裝調試完畢并具備驗收條件。本包別（不接受）聯合體投標。包別5：包別名稱：多腔室原子層沉積系統(tǒng)和晶圓級原子層沉積系統(tǒng)預算金額：760萬元