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11采購(gòu)必要性及用途基于提高生產(chǎn)線真空系統(tǒng)穩(wěn)定生產(chǎn)時(shí)的狀態(tài)監(jiān)測(cè)的精準(zhǔn)度和便捷性，需開展真空系統(tǒng)運(yùn)行期可靠性評(píng)估服務(wù)的采購(gòu)工作，即對(duì)真空獲得系統(tǒng)數(shù)據(jù)進(jìn)行關(guān)聯(lián)性分析服務(wù)，對(duì)真空運(yùn)功與對(duì)接系統(tǒng)數(shù)據(jù)進(jìn)行可靠性分析服務(wù)，用于提升真空系統(tǒng)狀態(tài)監(jiān)測(cè)精準(zhǔn)度提供數(shù)據(jù)支撐。2采購(gòu)技術(shù)要求真空系統(tǒng)運(yùn)行期可靠性評(píng)估要滿足表1所示指標(biāo)要求。表1真空系統(tǒng)運(yùn)行期可靠性評(píng)估指標(biāo)要求序號(hào)分系統(tǒng)要求項(xiàng)要求值1真空獲得系統(tǒng)關(guān)聯(lián)性分析抽真空過程回歸模型≥1個(gè)2關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)分析樣本≥5個(gè)3回歸模型解釋根據(jù)抽真空過程解釋回歸模型4高真空穩(wěn)態(tài)過程若能得到回歸模型與1、2、3條一致5若不能得到回歸模型提供進(jìn)一步監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)種類及分析方法6真空運(yùn)功與對(duì)接系統(tǒng)可靠性分析提取特征參數(shù)種類≥27可靠性評(píng)估方法及代碼1套21數(shù)據(jù)預(yù)處理要求（1）真空獲得系統(tǒng)數(shù)據(jù)真空獲得系統(tǒng)數(shù)據(jù)需按照抽真空過程進(jìn)行分開處理，真空獲得系統(tǒng)數(shù)據(jù)分開過程如下：按照抽真空的過程將數(shù)據(jù)分開，共分為八個(gè)階段，階段①為開始啟動(dòng)前級(jí)泵組與預(yù)抽泵組的螺桿泵、泵口閥抽真空至1000Pa啟動(dòng)羅茨泵；階段②為前一階段的結(jié)束至前級(jí)管道真空小于10Pa時(shí)開啟前級(jí)閥；階段③為為前一階段的結(jié)束至前級(jí)管道示數(shù)8×10-1Pa啟動(dòng)擴(kuò)散泵進(jìn)行加熱；階段④為為前一階段的結(jié)束至當(dāng)主工作室真空小于10Pa時(shí)打開冷阱制冷機(jī)；階段⑤為前一階段的結(jié)束至擴(kuò)散2泵溫度大于230℃且主工作室真空小于10Pa且冷阱溫度小于-50℃時(shí)關(guān)閉預(yù)抽閥打開高閥開始抽高真空；階段⑥為前一階段結(jié)束至持續(xù)抽高真空過程（小于等于5×10-3Pa）至關(guān)閉高閥、停擴(kuò)散泵加熱、停冷阱制冷機(jī)；階段⑦為前一階段結(jié)束至冷阱溫度大于等于5℃時(shí)關(guān)閉真空計(jì)打開曝空閥；階段⑧為前一階段結(jié)束至擴(kuò)散泵溫度小于等于90℃時(shí)關(guān)閉前級(jí)閥、關(guān)閉低真空機(jī)組。以上階段數(shù)據(jù)過程根據(jù)閥門狀態(tài)、擴(kuò)散泵狀態(tài)、冷阱制冷機(jī)狀態(tài)數(shù)據(jù)找到時(shí)間，見圖1所示。將分開后的數(shù)據(jù)再進(jìn)行清洗、轉(zhuǎn)化和標(biāo)準(zhǔn)化。圖1抽高真空過程三個(gè)真空計(jì)真空度數(shù)據(jù)（2）真空運(yùn)動(dòng)與對(duì)接系統(tǒng)數(shù)據(jù)根據(jù)傳動(dòng)系末端位置，將電機(jī)電流數(shù)據(jù)和電機(jī)溫度數(shù)據(jù)按照工況進(jìn)行分開處理。以升降機(jī)構(gòu)為例，如圖12所示為升降傳動(dòng)機(jī)構(gòu)電機(jī)電流與末端位置的數(shù)據(jù)，將其分為上升工況和下降工況，然后根據(jù)這兩個(gè)工況將電機(jī)電流與電機(jī)溫度分開。啟動(dòng)螺桿泵打開前級(jí)開始時(shí)間啟動(dòng)擴(kuò)散泵啟動(dòng)冷阱制冷關(guān)閉高閥打開曝空閥關(guān)閉低真空機(jī)結(jié)束時(shí)間階段①階段②階段③階段④階段⑤階段⑦階段⑧打開高閥啟動(dòng)羅茨階段⑥3圖2升降機(jī)構(gòu)電流與末端位置數(shù)據(jù)22多元回歸分析要求（1）利用數(shù)據(jù)挖掘算法或其他方法對(duì)真空獲得系統(tǒng)數(shù)據(jù)進(jìn)行相關(guān)性分析，提取出抽真空相關(guān)性較強(qiáng)的特征參數(shù)。（2）建立因變量是抽真空過程真空度，自變量是與抽真空過程真空度有相關(guān)性的特征參數(shù)的回歸模型。（3）利用最小二乘法確定兩個(gè)回歸模型的回歸系數(shù)、然后進(jìn)行模型檢驗(yàn)、模型診斷、模型優(yōu)化。（4）對(duì)回歸模型結(jié)合工藝過程進(jìn)行解釋。（5）利用數(shù)據(jù)挖掘算法或其他方法對(duì)真空獲得系統(tǒng)數(shù)據(jù)進(jìn)行相關(guān)性分析，提取出高真空穩(wěn)定時(shí)相關(guān)性較強(qiáng)的特征參數(shù)。（6）建立因變量高真空穩(wěn)態(tài)時(shí)真空度，自變量是與高真空穩(wěn)態(tài)時(shí)有相關(guān)性的特征參數(shù)的回歸模型。（7）利用最小二乘法確定兩個(gè)回歸模型的回歸系數(shù)、然后進(jìn)行模型檢驗(yàn)、模型診斷、模型優(yōu)化。（8）得到可解釋的回歸模型并結(jié)合工藝過程進(jìn)行解釋，若不能得到可解釋的回歸模型則需提供進(jìn)一步監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)種類及分析方法。23可靠性分析要求（1）提取電機(jī)電流與溫度的特征值，如每次工況下電流和溫度的均值、方差等隨運(yùn)行時(shí)間的變化；4（2）查看特征值是否存在退化趨勢(shì)，若有則進(jìn)行第（3）步；（3）將特征值與考核次數(shù)的關(guān)系代入相應(yīng)退化趨勢(shì)模型中得到退化模型中的各個(gè)參數(shù)；（4）設(shè)置有退化趨勢(shì)特征值的失效閾值，得到傳動(dòng)系的壽命值及壽命分布曲線，進(jìn)而獲得傳動(dòng)系的可靠度。（5）若提取的特征參數(shù)沒有退化趨勢(shì)，需提供進(jìn)一步監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)的種類及分析方法。24驗(yàn)收要求參考本技術(shù)要求表1編制驗(yàn)收測(cè)試大綱及驗(yàn)收測(cè)試記錄進(jìn)行驗(yàn)收。