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—1—安徽省省屬高校政府采購科研儀器設備類采購項目公開招標文件項目名稱：安徽大學集成電路先進材料與技術研究設施創(chuàng)新平臺設備更新-Fanout設備采購項目項目編號：FSKY34000120257972號采購人：安徽大學采購代理機構(gòu)：鼎信數(shù)智技術集團股份有限公司2025年11月—2—目錄第一章招標公告3第二章投標人須知9第三章采購需求35第四章評標方法和標準（綜合評分法）97第五章采購合同123第六章投標文件格式134附件1157政府采購供應商質(zhì)疑函范本157附件2159大中小微型企業(yè)劃分標準159—3—第一章招標公告項目概況安徽大學集成電路先進材料與技術研究設施創(chuàng)新平臺設備更新-Fanout設備采購項目招標項目的潛在投標人應在“徽采云”電子交易系統(tǒng)獲取采購文件，并于2025年12月15日10點00分（北京時間）前提交投標文件。一、項目基本情況項目編號：FSKY34000120257972號項目名稱：安徽大學集成電路先進材料與技術研究設施創(chuàng)新平臺設備更新-Fanout設備采購項目預算金額：3660萬元（第1包150萬元；第2包400萬元；第3包500萬元；第4包500萬元；第5包160萬元；第6包800萬元；第7包350萬元；第8包800萬元）最高限價：3530萬元（第1包150萬元；第2包380萬元；第3包500萬元；第4包500萬元；第5包110萬元；第6包800萬元；第7包290萬元；第8包800萬元）采購需求：包別1：包別名稱：反應離子刻蝕機預算金額：150萬元數(shù)量：不限簡要描述規(guī)格或項目基本概況介紹、用途：本項目主要為安徽大學集成電路先進材料與技術研究設施創(chuàng)新平臺設備更新-Fanout設備采購項目，采購內(nèi)容為：反應離子刻蝕機，具體詳見招標文件。合同履行期限：合同簽訂之日起180個日歷天內(nèi)供貨安裝調(diào)試完畢并具備驗收條件。貨物需求表另有規(guī)定的，以貨物需求表為準。本包別（不接受）聯(lián)合體投標。包別2：—4—包別名稱：直寫光刻系統(tǒng)預算金額：400萬元數(shù)量：不限簡要描述規(guī)格或項目基本概況介紹、用途：本項目主要為安徽大學集成電路先進材料與技術研究設施創(chuàng)新平臺設備更新-Fanout設備采購項目，采購內(nèi)容為：直寫光刻系統(tǒng)，具體詳見招標文件。合同履行期限：合同簽訂之日起180個日歷天內(nèi)供貨安裝調(diào)試完畢并具備驗收條件。貨物需求表另有規(guī)定的，以貨物需求表為準。本包別（不接受）聯(lián)合體投標。包別3：包別名稱：手動晶圓塑封機預算金額：500萬元數(shù)量：不限簡要描述規(guī)格或項目基本概況介紹、用途：本項目主要為安徽大學集成電路先進材料與技術研究設施創(chuàng)新平臺設備更新-Fanout設備采購項目，采購內(nèi)容為：手動晶圓塑封機，具體詳見招標文件。合同履行期限：合同簽訂之日起240個日歷天內(nèi)供貨安裝調(diào)試完畢并具備驗收條件。貨物需求表另有規(guī)定的，以貨物需求表為準。本包別（不接受）聯(lián)合體投標。包別4：包別名稱：高精度晶圓級貼片機預算金額：500萬元數(shù)量：不限簡要描述規(guī)格或項目基本概況介紹、用途：本項目主要為安徽大學集成電路先進材料與技術研究設施創(chuàng)新平臺設備更新-Fanout設備采購項目，采購內(nèi)容為：高精度晶圓級貼片機，具體詳見招標文件。合同履行期限：合同簽訂之日起180個日歷天內(nèi)供貨安裝調(diào)試完畢并具備驗收條件。貨物需求表另有規(guī)定的，以貨物需求表為準。本包別（不接受）聯(lián)合體投標。包別5：