第四章采購(gòu)需求一、總則1、工作條件除非在技術(shù)規(guī)格中另有說(shuō)明,所有儀器、設(shè)備和系統(tǒng)都應(yīng)符合下列要求:11適于在氣溫為攝氏-40℃~+50℃和相對(duì)濕度為90%的環(huán)境條件下運(yùn)輸和貯存。12適于在電源220V(?10%)/50Hz、氣溫?cái)z氏+15℃~+30℃和相對(duì)濕度小于80%的環(huán)境條件下運(yùn)行。能夠連續(xù)正常工作。13配置符合中國(guó)有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)要求的插頭,如果沒(méi)有這樣的插頭,則需提供適當(dāng)?shù)霓D(zhuǎn)換插座。14如產(chǎn)品達(dá)不到上述要求,投標(biāo)人應(yīng)注明其偏差。如儀器設(shè)備需要特殊工作條件(如水、電源、磁場(chǎng)強(qiáng)度、溫度、濕度、動(dòng)強(qiáng)度等)投標(biāo)人應(yīng)在投標(biāo)文件中加以說(shuō)明。2、驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)除非在技術(shù)規(guī)格中另有說(shuō)明,所有儀器、設(shè)備和系統(tǒng)按下列要求進(jìn)行驗(yàn)收:21儀器設(shè)備運(yùn)抵安裝現(xiàn)場(chǎng)后,采購(gòu)人將與中標(biāo)人共同開(kāi)箱驗(yàn)收,如中標(biāo)人屆時(shí)不派人來(lái),則驗(yàn)收結(jié)果應(yīng)以采購(gòu)人的驗(yàn)收?qǐng)?bào)告為最終驗(yàn)收結(jié)果。采購(gòu)人發(fā)現(xiàn)所提供的儀器品質(zhì)和技術(shù)規(guī)范不符合合同要求時(shí),或有明顯損壞,采購(gòu)人有權(quán)要求中標(biāo)人負(fù)責(zé)更換。中標(biāo)人應(yīng)承擔(dān)相應(yīng)責(zé)任并負(fù)責(zé)賠償全部損失,并承擔(dān)由此給采購(gòu)人帶來(lái)延期使用等方面造成的損失。22驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)以中標(biāo)人提供的投標(biāo)文件中所列的指標(biāo)為準(zhǔn)。任何虛假指標(biāo)響應(yīng)一經(jīng)發(fā)現(xiàn)即作廢標(biāo),中標(biāo)人必須承擔(dān)由此給采購(gòu)人帶來(lái)的一切經(jīng)濟(jì)損失和其它相關(guān)責(zé)任。如因中標(biāo)人原因使儀器不能正常使用,中標(biāo)人應(yīng)承擔(dān)全部責(zé)任。23驗(yàn)收由采購(gòu)人、中標(biāo)人及相關(guān)人員依國(guó)家有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、合同及有關(guān)附件要求進(jìn)行,驗(yàn)收完畢由采購(gòu)人及中標(biāo)人在驗(yàn)收?qǐng)?bào)告上簽名。24中標(biāo)人需要配合甲方完成學(xué)校組織技術(shù)專(zhuān)家在場(chǎng)的驗(yàn)收,并出具驗(yàn)收?qǐng)?bào)告。最終驗(yàn)收以學(xué)校驗(yàn)收為準(zhǔn)。3、本技術(shù)規(guī)格書(shū)中標(biāo)注“★”號(hào)的為關(guān)鍵技術(shù)參數(shù),對(duì)這些關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)的任何負(fù)偏離將導(dǎo)致廢標(biāo)。4、如在具體技術(shù)規(guī)格中有本總則不一致之處,以具體技術(shù)規(guī)格中的要求為準(zhǔn)。三、具體技術(shù)規(guī)格雙束電子顯微鏡1工作條件:11見(jiàn)總則第1條。12如有特殊要求應(yīng)逐項(xiàng)列出有關(guān)工作環(huán)境條件的要求。13如供電、供水、溫度、濕度、抗振動(dòng)、抗干擾要求等等。2設(shè)備用途:21設(shè)備功能:利用電子束高分辨成像,在微納尺度下實(shí)現(xiàn)超硬金剛石材料物相成分的精準(zhǔn)定位與顯微結(jié)構(gòu)觀(guān)測(cè);利用離子束快速精準(zhǔn)切割超硬金剛石樣品,實(shí)現(xiàn)TEM樣品的高質(zhì)量制備。22設(shè)備配置:1雙束電子顯微鏡主機(jī)2自動(dòng)透射樣品制備功能3自動(dòng)采集和拼圖軟件4空氣壓縮機(jī)5冷卻循環(huán)水6可伸縮定向背散射電子探測(cè)器7固態(tài)探測(cè)器集成套件8高級(jí)信號(hào)選擇9一體化納米機(jī)械手10鎢沉積11等離子體清洗機(jī)12手動(dòng)用戶(hù)界面13TEM銅網(wǎng)圓形樣品臺(tái)14底座1510KVA不間斷電源(續(xù)航1小時(shí))16電制冷能譜儀。3技術(shù)規(guī)格:31離子束及輔助氣體注入系統(tǒng)技術(shù)要求1離子源種類(lèi):液態(tài)Ga離子源;2★交叉點(diǎn)分辨率:30nm@30kV(采用Selective-edge平均值法測(cè)量方式)3加速電壓:05kV-30kV;4★束流強(qiáng)度:15pA-65nA;515孔光闌;6兩級(jí)差分排氣;7離子源壽命:≥1000小時(shí);8輔助氣體注入系統(tǒng);9擁有獨(dú)立的分離式氣體注入系統(tǒng),可重新配置;10具備金屬沉積系統(tǒng),可在離子束、電子束誘導(dǎo)下進(jìn)行Pt、W、SiO2等沉積;11配備鎢沉積氣體;12每種氣體配備獨(dú)立的氣體注入器,防止不同氣體交叉污染;13具備束流測(cè)量裝置;14具備實(shí)時(shí)觀(guān)察離子束加工的監(jiān)控功能。32電子束技術(shù)要求1電子槍類(lèi)型:場(chǎng)發(fā)射燈絲;2★分辨率:在最佳工作距離:1nm@15kV;14nm@1kV(非減速模式);3加速電壓:200V-30kV(連續(xù)可調(diào)),著陸電壓:20V-30kV(連續(xù)可調(diào));4★束流強(qiáng)度:1pA-400nA;5★具備可加熱式物鏡光闌,全自動(dòng)光闌,自動(dòng)合軸。33樣品室1內(nèi)徑≥370mm;2具備等離子清洗系統(tǒng),可清洗樣品倉(cāng)或樣品表面。34樣品臺(tái)1五軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái);2X、Y方向移動(dòng)范圍≥110mm;3方向移動(dòng)范圍≥65mm,可繞Z軸旋轉(zhuǎn)任意角度(360度),回復(fù)精度<30微米(在0度傾斜);4傾角范圍包含:-15至90度;5最大樣品直徑≥120mm。35真空系統(tǒng)1完全無(wú)油真空系統(tǒng):由機(jī)械干泵;磁懸浮渦輪分子泵;和離子泵構(gòu)成;2樣品室真空度:<26?10-6mBar(連續(xù)24小時(shí)抽真空后)。36探測(cè)器1高真空模式下二次電子探測(cè)器;2極靴內(nèi)探測(cè)器(二次電子和背散射電子模式);3可伸縮性定向背散射電子探測(cè)器;4導(dǎo)航相機(jī);5樣品室紅外CCD相機(jī);6可伸縮掃描透射電子探測(cè)器。37納米操作手★配備與主機(jī)一體化的納米操作手一套,可以通過(guò)電鏡軟件進(jìn)行全自動(dòng)操作。38冷卻水系統(tǒng)有空壓機(jī)和冷卻循環(huán)水系統(tǒng),分別用于冷卻SEM鏡筒及其它部件。39系統(tǒng)控制1基于Windows操作系統(tǒng)的≥64位圖形用戶(hù)界面,鍵盤(pán),鼠標(biāo),及手動(dòng)用戶(hù)界面;2≥16位圖像生成器;3具備程序制定、改造軟件,能控制鏡筒,探測(cè)器,樣品臺(tái),等的運(yùn)作模式;4具有自動(dòng)透射樣品制備流程,可以實(shí)現(xiàn)除樣品提取以外的全套自動(dòng)控制流程。310軟件功能1智能掃描功能;2集成漂移補(bǔ)償;3蒙太奇導(dǎo)航功能。
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