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—1—安徽省省屬高校政府采購科研儀器設(shè)備類采購項(xiàng)目公開招標(biāo)文件項(xiàng)目名稱：安徽大學(xué)集成電路先進(jìn)材料與技術(shù)研究設(shè)施創(chuàng)新平臺(tái)設(shè)備更新-TSV/TGV設(shè)備采購項(xiàng)目項(xiàng)目編號：FSKY34000120257976號采購人：安徽大學(xué)采購代理機(jī)構(gòu)：鼎信數(shù)智技術(shù)集團(tuán)股份有限公司2025年11月—2—目錄第一章招標(biāo)公告3第二章投標(biāo)人須知8第三章采購需求34第四章評標(biāo)方法和標(biāo)準(zhǔn)（綜合評分法）87第五章采購合同108第六章投標(biāo)文件格式119附件1142政府采購供應(yīng)商質(zhì)疑函范本142附件2144大中小微型企業(yè)劃分標(biāo)準(zhǔn)144—3—第一章招標(biāo)公告項(xiàng)目概況安徽大學(xué)集成電路先進(jìn)材料與技術(shù)研究設(shè)施創(chuàng)新平臺(tái)設(shè)備更新-TSV/TGV設(shè)備采購項(xiàng)目招標(biāo)項(xiàng)目的潛在投標(biāo)人應(yīng)在“徽采云”電子交易系統(tǒng)獲取采購文件，并于2025年12月16日10點(diǎn)00分（北京時(shí)間）前提交投標(biāo)文件。一、項(xiàng)目基本情況項(xiàng)目編號：FSKY34000120257976號項(xiàng)目名稱：安徽大學(xué)集成電路先進(jìn)材料與技術(shù)研究設(shè)施創(chuàng)新平臺(tái)設(shè)備更新-TSV/TGV設(shè)備采購項(xiàng)目預(yù)算金額：2721萬元（第1包550萬元；第2包350萬元；第3包350萬元；第4包400萬元；第5包760萬元；第6包311萬元）最高限價(jià)：2461萬元（第1包480萬元；第2包310萬元；第3包200萬元；第4包400萬元；第5包760萬元；第6包311萬元）采購需求：包別1：包別名稱：化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)（CMP）預(yù)算金額：550萬元數(shù)量：不限簡要描述規(guī)格或項(xiàng)目基本概況介紹、用途：本項(xiàng)目主要為安徽大學(xué)集成電路先進(jìn)材料與技術(shù)研究設(shè)施創(chuàng)新平臺(tái)設(shè)備更新-TSV/TGV設(shè)備采購項(xiàng)目，采購內(nèi)容為：化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)（CMP），具體詳見招標(biāo)文件。合同履行期限：合同簽訂之日起180個(gè)日歷天內(nèi)供貨安裝調(diào)試完畢并具備驗(yàn)收條件。本包別（不接受）聯(lián)合體投標(biāo)。包別2：包別名稱：激光玻璃通孔刻蝕機(jī)預(yù)算金額：350萬元—4—數(shù)量：不限簡要描述規(guī)格或項(xiàng)目基本概況介紹、用途：本項(xiàng)目主要為安徽大學(xué)集成電路先進(jìn)材料與技術(shù)研究設(shè)施創(chuàng)新平臺(tái)設(shè)備更新-TSV/TGV設(shè)備采購項(xiàng)目，采購內(nèi)容為：激光玻璃通孔刻蝕機(jī)，具體詳見招標(biāo)文件。合同履行期限：合同簽訂之日起180個(gè)日歷天內(nèi)供貨安裝調(diào)試完畢并具備驗(yàn)收條件。本包別（不接受）聯(lián)合體投標(biāo)。包別3：包別名稱：晶圓清洗甩干系統(tǒng)預(yù)算金額：350萬元數(shù)量：不限簡要描述規(guī)格或項(xiàng)目基本概況介紹、用途：本項(xiàng)目主要為安徽大學(xué)集成電路先進(jìn)材料與技術(shù)研究設(shè)施創(chuàng)新平臺(tái)設(shè)備更新-TSV/TGV設(shè)備采購項(xiàng)目，采購內(nèi)容為：晶圓清洗甩干系統(tǒng)，具體詳見招標(biāo)文件。合同履行期限：合同簽訂之日起180個(gè)日歷天內(nèi)供貨安裝調(diào)試完畢并具備驗(yàn)收條件。本包別（不接受）聯(lián)合體投標(biāo)。包別4：包別名稱：深硅刻蝕系統(tǒng)預(yù)算金額：400萬元數(shù)量：不限簡要描述規(guī)格或項(xiàng)目基本概況介紹、用途：本項(xiàng)目主要為安徽大學(xué)集成電路先進(jìn)材料與技術(shù)研究設(shè)施創(chuàng)新平臺(tái)設(shè)備更新-TSV/TGV設(shè)備采購項(xiàng)目，采購內(nèi)容為：深硅刻蝕系統(tǒng)，具體詳見招標(biāo)文件。合同履行期限：合同簽訂之日起270個(gè)日歷天內(nèi)供貨安裝調(diào)試完畢并具備驗(yàn)收條件。本包別（不接受）聯(lián)合體投標(biāo)。包別5：包別名稱：多腔室原子層沉積系統(tǒng)和晶圓級原子層沉積系統(tǒng)預(yù)算金額：760萬元