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一、設(shè)備用途系統(tǒng)將用于微納加工、材料科學(xué)、生命科學(xué)等相關(guān)前沿研究，在無(wú)掩膜條件下實(shí)現(xiàn)在各種材料表面（如聚合物、半導(dǎo)體、金屬等）進(jìn)行納米等級(jí)二維結(jié)構(gòu)以及灰階地貌寫(xiě)入的能力。可實(shí)現(xiàn)高分辨率納米結(jié)構(gòu)圖形化，具備原位圖形檢測(cè)與量測(cè)功能。熱探針也可用于樣品表面薄膜材料的物理或者化學(xué)特性的改變。#二、功能要求21系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)透過(guò)加熱針尖實(shí)現(xiàn)材料局部分解，無(wú)需顯影及鄰近效應(yīng)校正，即可完成高精度圖案制作。22系統(tǒng)應(yīng)能在寫(xiě)入過(guò)程中實(shí)現(xiàn)灰階控制，以形成連續(xù)灰階地形結(jié)構(gòu)。23系統(tǒng)應(yīng)可利用同一探針進(jìn)行樣品表面形貌成像，可于圖案化前、后或進(jìn)行過(guò)程中實(shí)時(shí)觀(guān)測(cè)樣品表面結(jié)構(gòu)。24系統(tǒng)于刻畫(huà)過(guò)程中能持續(xù)監(jiān)測(cè)與評(píng)估實(shí)際寫(xiě)入圖案的形貌，并對(duì)偏離設(shè)計(jì)的微小差異進(jìn)行實(shí)時(shí)自動(dòng)補(bǔ)償與參數(shù)調(diào)整。25系統(tǒng)能進(jìn)行高精度對(duì)位，無(wú)需人工標(biāo)記結(jié)構(gòu)即可完成樣品對(duì)齊。26系統(tǒng)支持單1支熱掃描探針光刻操作。三、技術(shù)要求★31最小線(xiàn)寬分辨率≤20nm?！?2灰度刻寫(xiě)縱向最小分辨率≤2nm。#33探針溫度≥1300℃（提供產(chǎn)品彩頁(yè)或技術(shù)白皮書(shū)或第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)出具的檢測(cè)報(bào)告作為證明材料）?！?4最大寫(xiě)入?yún)^(qū)域≥60μm×60μm?！?5寫(xiě)入后支持原位非破壞性成像與高度分析。△36可實(shí)現(xiàn)無(wú)標(biāo)記高精度套刻和拼接。△37樣本尺寸（X、Y、Z）：≥100mm、≥100mm、≥10mm。#38寫(xiě)入速度(50nm特征尺寸)：?jiǎn)翁结槨?000μm2/min，1mm/s的線(xiàn)速度。（提供產(chǎn)品彩頁(yè)或技術(shù)白皮書(shū)或第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)出具的檢測(cè)報(bào)告作為證明材料）#39寫(xiě)場(chǎng)拼接精度：≤30nm。（提供產(chǎn)品彩頁(yè)或技術(shù)白皮書(shū)或第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)出具的檢測(cè)報(bào)告作為證明材料）#310套刻精度：≤30nm。（提供產(chǎn)品彩頁(yè)或技術(shù)白皮書(shū)或第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)出具的檢測(cè)報(bào)告作為證明材料）△311系統(tǒng)能進(jìn)行高精度對(duì)位，無(wú)需人工標(biāo)記結(jié)構(gòu)即可完成樣品對(duì)齊。四、服務(wù)要求41提供本項(xiàng)目驗(yàn)收后所有設(shè)備的軟硬件1年免費(fèi)質(zhì)保，軟件10年免費(fèi)升級(jí)服務(wù)；42質(zhì)保期滿(mǎn)后，如需更換零部件，供應(yīng)商只收取更換的零部件費(fèi)用，不收取人工服務(wù)費(fèi)用；43維修響應(yīng)時(shí)間：供應(yīng)商應(yīng)在工作日24小時(shí)內(nèi)對(duì)采購(gòu)人的服務(wù)要求做出響應(yīng)。44技術(shù)培訓(xùn)標(biāo)準(zhǔn)與服務(wù)：提供不少于5天不少于2人的工程師安裝、配置和使用等實(shí)操培訓(xùn)課程，場(chǎng)地、交通等與培訓(xùn)相關(guān)的費(fèi)用均由供應(yīng)商承擔(dān)。包括儀器的工作原理、操作規(guī)程、數(shù)據(jù)處理、基本維護(hù)和技術(shù)應(yīng)答。五、其他要求1、交貨時(shí)間：合同簽訂后380天內(nèi)。2、交貨地點(diǎn)：北京理工大學(xué)良鄉(xiāng)校區(qū)信創(chuàng)樓A一層3、采購(gòu)數(shù)量：1套4、接受進(jìn)口產(chǎn)品投標(biāo)5、包裝運(yùn)輸要求：提供的全部貨物，均應(yīng)采用本行業(yè)通用的方式進(jìn)行包裝，且該包裝應(yīng)符合國(guó)家有關(guān)包裝的法律、法規(guī)的規(guī)定。包裝應(yīng)適應(yīng)于遠(yuǎn)距離運(yùn)輸、防潮、防震、防銹和防粗暴裝卸，確保貨物安全無(wú)損，運(yùn)抵現(xiàn)場(chǎng)。由于包裝不善所引起的貨物銹蝕、損壞和損失均由中標(biāo)人承擔(dān)。6、付款方式：見(jiàn)合同模板。五、驗(yàn)收要求設(shè)備的性能應(yīng)符合供應(yīng)商投標(biāo)文件中承諾的技術(shù)指標(biāo)，所有指標(biāo)驗(yàn)收必須由采購(gòu)人確認(rèn)。