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松山湖材料實驗室自旋量子材料與器件團隊關于小型臺式無掩膜直寫光刻系統(tǒng)采購項目(50-100萬)征求意見公示報價單3.pdf

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東莞市 2025-11-25 1.19MB 業(yè)主:松山湖材料實驗室
內容簡介

QuantumDesign中國wwwqd-chinacominfo@qd-chinacom北京市朝陽區(qū)酒仙橋路10號上海市靜安區(qū)威海路511號廣州市番禺區(qū)漢溪大道東290號恒通商務園B22座5層501室上海國際集團大廈1405室保利大都匯A3棟1509室郵編100015郵編200041郵編511495電話:010-85120280電話:021-52280980電話:020-89202739*聲明:上述購買折扣方案僅適用于指定客戶,并不具普適性;在接到指定客戶正式認可通知后該價格生效。在此之前,指定客戶有責任對美國QuantumDesign公司中國子公司提供的價格信息保密。DurhamMagnetoOpticsMicrowriterML3Mesa臺式無掩膜光刻機報價單致:松山湖材料實驗室吳昊老師報價日期:20251021(報價有效期:90天)中國區(qū)授權銷售:孟令鵬手機:86-*Email:burning@qd-chinacomQuantumDesign中國(廣州)產(chǎn)品名稱:小型臺式無掩膜激光直寫系統(tǒng)產(chǎn)品型號:MicrowriterML3Mesa制造商:DurhamMagnetoOpticsInc價格形式:CIP中國主要機場付款方式:100%TT簽訂外貿合同后7日內交貨期:收到預付款、免稅相關文件后6個月質保期:驗收合格后12個月QuantumDesign中國wwwqd-chinacominfo@qd-chinacom北京市朝陽區(qū)酒仙橋路10號上海市靜安區(qū)威海路511號廣州市番禺區(qū)漢溪大道東290號恒通商務園B22座5層501室上海國際集團大廈1405室保利大都匯A3棟1509室郵編100015郵編200041郵編511495電話:010-85120280電話:021-52280980電話:020-89202739*聲明:上述購買折扣方案僅適用于指定客戶,并不具普適性;在接到指定客戶正式認可通知后該價格生效。在此之前,指定客戶有責任對美國QuantumDesign公司中國子公司提供的價格信息保密。MicrowriterML3Mesa小型臺式無掩膜激光直寫系統(tǒng)標準配置ItemDescription11MicrowriterML3MesabasesystemMicroWriterML3Mesabasesystema149mmx149mmmaximumwritingareab155mmx155mmx7mmmaximumwafersizec06um,1μmand5umminimumfeaturesizeacrossfullwritingaread385nmlong-lifesemiconductorlightsource,suitableforpositivephotoresists(egS1800)eExtremelyfastwritingspeed-upto:15mm2/minute(06μmminimumfeaturesize),50mm2/minute(1μmminimumfeaturesize),and180mm2/minute(5μmminimumfeaturesize)Theseallowatypical50mmx50mmareacombiningcriticalandnoncriticalareastobeexposedinunder30minutesfOpticalautofocussystemusingyellowlightwithreal-timesurfacetrackingmodule–nominimumwafersizegHighqualityinfiniteconjugateopticalmicroscopewithx3asphericobjectivelens,x10Olympusplanachromaticobjectivelens,x20Olympusplanapochromatobjectivelens,andyellowlightilluminationforalignmenttolithographicmarkersonthewafer(±10μm3σalignmentaccuracy)QuantumDesign中國wwwqd-chinacominfo@qd-chinacom北京市朝陽區(qū)酒仙橋路10號上海市靜安區(qū)威海路511號廣州市番禺區(qū)漢溪大道東290號恒通商務園B22座5層501室上海國際集團大廈1405室保利大都匯A3棟1509室郵編100015郵編200041郵編511495電話:010-85120280電話:021-52280980電話:020-89202739*聲明:上述購買折扣方案僅適用于指定客戶,并不具普適性;在接到指定客戶正式認可通知后該價格生效。在此之前,指定客戶有責任對美國QuantumDesign公司中國子公司提供的價格信息保密。hGreyscaleexposuremodefor3-dimensionalpatterning(upto255greylevels)iBuilt-in2-dimensionalopticalsurfaceprofiler(200nmthicknessresolution)forexaminingexposedresistsandMEMSprocessstepsjBulls-eyetoolcanautomaticallyidentifytheprecisepositionoflithographicmarkersvisibleunderthereal-timemicroscopekCanbelaterupgradedtoProlClewinmaskdesignsoftware,Acceptablefileformats:CIF,GDS2,BMP,TIFF,JPEG,PNG,GIF;Oasis,DXF,GerberRS-274XacceptableviaKLayoutconversion12Installation&trainingCertifiedInstallation&Customeron-sitetraining目的地:用戶指定地點總價:¥990,000QuantumDesign中國wwwqd-chinacominfo@qd-chinacom北京市朝陽區(qū)酒仙橋路10號上海市靜安區(qū)威海路511號廣州市番禺區(qū)漢溪大道東290號恒通商務園B22座5層501室上海國際集團大廈1405室保利大都匯A3棟1509室郵編100015郵編200041郵編511495電話:010-85120280電話:021-52280980電話:020-89202739*聲明:上述購買折扣方案僅適用于指定客戶,并不具普適性;在接到指定客戶正式認可通知后該價格生效。在此之前,指定客戶有責任對美國QuantumDesign公司中國子公司提供的價格信息保密。2.可選附件ItemDescriptionPriceinUSD21OPT_365-405Dualwavelengthlightsource-softwareselectable¥220,000