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★一、技術(shù)服務(wù)內(nèi)容及要求：1、技術(shù)要求：11X/Y軸測(cè)量行程：X軸≥300mm，Y軸≥300mm。（提供制造商以往檢測(cè)報(bào)告復(fù)印件，加蓋供應(yīng)商公章。）12Z軸測(cè)量行程：≥200mm。（提供制造商以往檢測(cè)報(bào)告復(fù)印件，加蓋供應(yīng)商公章。）13示值誤差：XY平面內(nèi)（E1）：±（15+L/300）μm；Z軸（E2）：±（15+L/300）μm。（提供制造商以往檢測(cè)報(bào)告復(fù)印件，加蓋供應(yīng)商公章。）14儀器硬件精度1：X軸行走直線度≤3μmY軸行走直線度≤3μm。（提供制造商以往檢測(cè)報(bào)告復(fù)印件，加蓋供應(yīng)商公章。）15儀器硬件精度2：X/Y垂直度≤5μm。（提供制造商以往檢測(cè)報(bào)告復(fù)印件，加蓋供應(yīng)商公章。）16儀器硬件精度3：Z/X方向垂直度≤10μm。（提供制造商以往檢測(cè)報(bào)告復(fù)印件，加蓋供應(yīng)商公章。）17儀器硬件精度4：Z/Y方向垂直度≤10μm。（提供制造商以往檢測(cè)報(bào)告復(fù)印件，加蓋供應(yīng)商公章。）18儀器硬件精度5：鏡頭各倍率中心偏移≤5μm。19測(cè)量速度：200mm/s@X/Y軸，100mm/s@Z軸。110導(dǎo)軌：P級(jí)直線導(dǎo)軌,行走平行度≤3um(500mm范圍內(nèi))。111傳動(dòng)：C3級(jí)研磨滾珠絲桿。112電機(jī)：400瓦伺服電機(jī)。113光柵尺：開放式貼片光柵尺。114光柵尺分辨率：01um。115光學(xué)鏡頭：自動(dòng)變倍光學(xué)鏡頭。116攝像頭：高分辨率工業(yè)數(shù)字相機(jī)，200萬像素以上。117光學(xué)倍率：07x-45x，65:1變倍比或以上。118放大倍率：30x-200x。119激光位移傳感器：光譜共聚焦位移傳感器。120輪廓光：LED平行光。121表面光：軟件調(diào)光，程控8分區(qū)LED環(huán)形光。122同軸光：儀器需具備同軸光源。123控制系統(tǒng)：閉環(huán)控制。124工作站：i512代以上處理器，500G固態(tài)硬盤，8G及以上內(nèi)存，21寸及以上顯示器。125軟件能力：1251可測(cè)量點(diǎn)、線、圓（最大、最小和平均）、弧、曲線、R角等。1252形位公差：可測(cè)量直線度、圓度、位置度、平行度、垂直度、同心度、輪廓度等。1253構(gòu)造功能：中心點(diǎn)、端點(diǎn)、交點(diǎn)、極值點(diǎn)、平行線、垂線、切線、平分線、中心線、兩點(diǎn)連線、多線段連線、平面等。1254坐標(biāo)系功能：支持夾具坐標(biāo)系、點(diǎn)線、兩點(diǎn)X、兩點(diǎn)Y、圓線、兩線、坐標(biāo)系平移、坐標(biāo)系旋轉(zhuǎn)、坐標(biāo)系鏡像等。1255軟件可自動(dòng)尋邊、自動(dòng)對(duì)焦。1256可自動(dòng)控制鏡頭倍率切換，切換倍率后無需重新校正。1257可自動(dòng)控制光源，運(yùn)行程序中可自動(dòng)切換光源。1258編程與自動(dòng)化操作，可生成任務(wù)進(jìn)行全自動(dòng)批量測(cè)量，并支持自動(dòng)和手工交互操作。1259程序測(cè)量：批量檢測(cè)產(chǎn)品可錄制程序后自動(dòng)測(cè)量，光源隨程序控制自動(dòng)變化，可自動(dòng)對(duì)焦，自動(dòng)測(cè)高。12510陣列功能：支持元素陣列及程序陣列測(cè)量。12511激光測(cè)量功能：可用激光快速測(cè)量工件高度及平面度，且同一程序中可影像與激光同時(shí)測(cè)量。12512數(shù)據(jù)導(dǎo)出功能：可將測(cè)量數(shù)據(jù)導(dǎo)出至EXCEL報(bào)表。12513可導(dǎo)入導(dǎo)出DXF格式文件。12514測(cè)量軟件開放MEAS數(shù)據(jù)接口。126儀器結(jié)構(gòu)需為全大理石結(jié)構(gòu)（大理石精度等級(jí)不低于00級(jí)）。2、儀器使用環(huán)境：21使用電源：220V±5%50Hz，儀器能正常運(yùn)行并滿足技術(shù)要求。22溫度范圍22±2℃的環(huán)境下，儀器精度滿足本章13和14技術(shù)要求。23濕度范圍30%-80%的環(huán)境下，儀器均能正常運(yùn)行且滿足精度要求?！锒?、商務(wù)要求：21交貨日期：合同生效后35個(gè)工作日內(nèi)交付。22交貨地點(diǎn)：采購人指定地點(diǎn)。23履約保證金：本項(xiàng)目履約保證金為合同金額的5%。交款方式：銀行轉(zhuǎn)賬，支票/匯票/本票，保函/保險(xiǎn)。交款時(shí)間：成交通知書發(fā)放后，合同簽訂前。收款單位：中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所開戶行：中行雙流光電所支行銀行賬號(hào)：125255436815退還時(shí)間：成交供應(yīng)商履行完成合同約定的權(quán)利義務(wù)事項(xiàng)并在質(zhì)保期滿后原路退回，不計(jì)利息。24付款方式：采購人在合同簽訂生效后并收到成交供應(yīng)商支付的履約保證金和40%合同總金額發(fā)票后30個(gè)工作日內(nèi)支付合同總金額的40%；驗(yàn)收調(diào)試完，成交供應(yīng)商向采購人開具60%合同總金額發(fā)票，采購人收到發(fā)票后30個(gè)工作日內(nèi)支付合同總金額的60%。25質(zhì)量保證期：貨物驗(yàn)收合格后12個(gè)月。26設(shè)備的安裝、調(diào)試與培訓(xùn)驗(yàn)收：261安裝、調(diào)試：2611成交供應(yīng)商需按采購人要求在指定時(shí)間和地點(diǎn)對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行安裝和調(diào)試。2612成交供應(yīng)商負(fù)責(zé)測(cè)量儀的安裝、調(diào)試。采購人應(yīng)在合同生效時(shí)提供機(jī)房配套電氣設(shè)施。2613測(cè)量儀安裝前采購人確保測(cè)量機(jī)房達(dá)到規(guī)定的技術(shù)條件。2614采購人收到貨并在安裝條件具備后，提前3天通知成交供應(yīng)商安排技術(shù)人員前往安裝調(diào)試。2614成交供應(yīng)商負(fù)責(zé)測(cè)量儀就位和安裝技術(shù)指導(dǎo)，進(jìn)行測(cè)量儀的聯(lián)機(jī)和精度調(diào)試工作；2615裝調(diào)試工作在一星期內(nèi)完成。262設(shè)備培訓(xùn)：在采購人所在地對(duì)用戶進(jìn)行至少3人、為期至少2天培訓(xùn)。培訓(xùn)內(nèi)容包括儀器的技術(shù)原理、操作、數(shù)據(jù)處理、基本維護(hù)等。成交供應(yīng)商需要提供培訓(xùn)所需的講義、資料、教材等資料，培訓(xùn)費(fèi)用由成交供應(yīng)商承擔(dān)。成交供應(yīng)商負(fù)責(zé)對(duì)采購人操作人、維修人員和有關(guān)的工藝技術(shù)人員進(jìn)行操作培訓(xùn)、維修培訓(xùn)、設(shè)備保養(yǎng)培訓(xùn)，使之完全掌握設(shè)備基本原理和全部使用技術(shù)，并使甲方人員能夠正常地使用、維修保養(yǎng)設(shè)備。263設(shè)備驗(yàn)收：設(shè)備完成調(diào)試后，依據(jù)招標(biāo)文件、響應(yīng)文件、相應(yīng)的承諾、合同文件、驗(yàn)收大綱、成交供應(yīng)商提供的出廠檢測(cè)報(bào)告、出廠質(zhì)量合格報(bào)告、說明書、維護(hù)手冊(cè)、培訓(xùn)手冊(cè)等必要文件，由甲方負(fù)責(zé)組織驗(yàn)收，驗(yàn)收通過后，雙方簽署驗(yàn)收?qǐng)?bào)告，作為付款的最終依據(jù)。如果設(shè)備不能通過驗(yàn)收，乙方同意退貨，并退還甲方已支付的所有款項(xiàng)，同時(shí)，乙方應(yīng)當(dāng)賠償甲方遭受的損失。在設(shè)備驗(yàn)收之前需提供正確的樣品或者書面產(chǎn)品圖紙為產(chǎn)品的驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)，如因使用方的標(biāo)準(zhǔn)提高導(dǎo)致產(chǎn)品無法達(dá)到使用方需求。供貨方不予承擔(dān)一切責(zé)任。27售后服務(wù)：271儀器發(fā)生故障后，成交供應(yīng)商應(yīng)在收到采購人維修請(qǐng)求后，15分鐘之內(nèi)作出遠(yuǎn)程指導(dǎo)響應(yīng)，如出現(xiàn)確需現(xiàn)場(chǎng)處理的狀況，成交供應(yīng)商在接到采購人通知48小時(shí)內(nèi)安排技術(shù)人員赴現(xiàn)場(chǎng)解決問題。272當(dāng)儀器保修期滿后，應(yīng)保證10年內(nèi)提供優(yōu)惠價(jià)零備件和優(yōu)質(zhì)維修服務(wù)。對(duì)已配裝給用戶的同平臺(tái)同功能模塊測(cè)量軟件，在不更換硬件的條件下，可免費(fèi)升級(jí)至最新版本。28成交供應(yīng)商應(yīng)當(dāng)按照采購人歸檔要求進(jìn)行檔案資料歸檔。注：1、“★”為實(shí)質(zhì)性要求，負(fù)偏離將導(dǎo)致響應(yīng)文件無效。