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中國科學院上海技術物理研究所外延材料微納生長無損檢測設備采購項目競爭性磋商3078-采購需求.doc

下載文件（56.82KB）

上海市 2025-11-08 56.82KB 業(yè)主：中國科學院上海技術物理研究所

內容簡介

中國科學院上海技術物理研究所外延材料微納生長無損檢測設備采購項目競爭性磋商文件采購編號：OITC-G250303078東方國際招標有限責任公司2025年11月競爭性磋商文件1目錄磋商邀請書第一部分：供應商須知前附表第二部分：供應商須知第三部分：合同一般條款及特殊條款第四部分：磋商響應文件格式第五部分：采購需求競爭性磋商文件2第五部分：采購需求貨物需求一覽表包號貨物名稱數(shù)量交貨期項目現(xiàn)場（交貨地點）1外延材料微納生長無損檢測設備1套合同生效后2個月內用戶指定地點注：交貨期從合同生效之日起計算，以設備在用戶指定地點完成安裝調試日期為準。質保期從驗收合格之日起計算。競爭性磋商文件3技術規(guī)格第1包外延材料微納生長無損檢測設備（一）綜述：1貨物名稱：外延材料微納生長無損檢測設備2數(shù)量：1套3交貨期：合同生效后2個月內到貨，到貨2個月內完成驗收4質保期：到貨最終驗收合格后免費質保1年（二）計量標準設備的設計和制造符合出廠技術指標要求，并符合ISO國際標準；所有的可更換零部件和各種儀表的計量單位和標出單位應全部采用國際單位（SI）標準；設備符合有關國際和中國國家安全標準，以及相應的安全與健康及環(huán)保要求。（三）技術要求★1核心技術指標：★11分辨率:<=25nm；★12放大倍數(shù):>=50萬倍；★13加速電壓:1-15kV連續(xù)可調；★14電動樣品臺:XY二軸/XYZ三軸/XYT三軸/五軸。2其它技術指標：#21電子光學系統(tǒng)211電子槍：肖特基場發(fā)射電子槍；212三級磁透鏡，雙聚光鏡，束流大范圍可調；213無漏磁物鏡，可直接觀察磁性樣品；22真空系統(tǒng)221渦輪分子泵1臺，≥240L/s；222機械干泵1臺，≥240L/min(50Hz)；#223離子泵2臺，≥25L/s；