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第三章技術(shù)、服務(wù)及其他要求（注：本章的技術(shù)、服務(wù)及其他要求中，帶“★”的要求為實(shí)質(zhì)性要求。采購人、代理機(jī)構(gòu)應(yīng)當(dāng)根據(jù)項(xiàng)目實(shí)際要求合理設(shè)定，并在第五章符合性審查中明確響應(yīng)要求。）31采購內(nèi)容采購包1：采購包預(yù)算金額（元）:5,600,00000采購包最高限價(jià)（元）:5,600,00000序號(hào)采購品目名稱標(biāo)的名稱數(shù)量(計(jì)量單位)標(biāo)的金額（元）所屬行業(yè)是否涉及核心產(chǎn)品是否涉及采購進(jìn)口產(chǎn)品是否涉及強(qiáng)制采購節(jié)能產(chǎn)品是否涉及優(yōu)先采購節(jié)能產(chǎn)品是否涉及優(yōu)先采購環(huán)境標(biāo)志產(chǎn)品1A02100699其他試驗(yàn)儀器及裝置微區(qū)形貌原位納米壓痕分析裝置100（套）5,600,00000工業(yè)是是否否否報(bào)價(jià)要求采購包1：序號(hào)報(bào)價(jià)內(nèi)容數(shù)量（計(jì)量單位）最高限價(jià)價(jià)款形式報(bào)價(jià)說明1微區(qū)形貌原位納米壓痕分析裝置100（套）5,600,00000總價(jià)國產(chǎn)產(chǎn)品價(jià)格包含運(yùn)至安裝現(xiàn)場(chǎng)的所有設(shè)備費(fèi)、運(yùn)輸費(fèi)、稅費(fèi)、保險(xiǎn)、安裝調(diào)試、培訓(xùn)及驗(yàn)收相關(guān)費(fèi)用。進(jìn)口產(chǎn)品價(jià)格包含設(shè)備費(fèi)、運(yùn)輸、保險(xiǎn)、安裝調(diào)試、培訓(xùn)、外貿(mào)代理、報(bào)關(guān)雜費(fèi)等除稅費(fèi)外的全部費(fèi)用。若因供應(yīng)商違約或免稅辦理失誤導(dǎo)致無法免稅，相關(guān)稅費(fèi)由供應(yīng)商承擔(dān)；若因采購人免稅資格變化所致，則由采購人承擔(dān)?！镒ⅲ和稑?biāo)人響應(yīng)產(chǎn)品應(yīng)當(dāng)明確品牌和規(guī)格型號(hào)并指向唯一產(chǎn)品，不能指向唯一產(chǎn)品的，應(yīng)通過報(bào)價(jià)表唯一產(chǎn)品說明欄補(bǔ)充說明。本項(xiàng)目涉及核心產(chǎn)品：-第15頁-采購包1：序號(hào)采購品目名稱標(biāo)的名稱產(chǎn)品名稱1A02100699其他試驗(yàn)儀器及裝置微區(qū)形貌原位納米壓痕分析裝置微區(qū)形貌原位納米壓痕分析裝置注：涉及核心產(chǎn)品的，具體評(píng)審規(guī)定見第五章。本項(xiàng)目涉及采購進(jìn)口產(chǎn)品：采購包1：序號(hào)采購品目名稱標(biāo)的名稱產(chǎn)品名稱1A02100699其他試驗(yàn)儀器及裝置微區(qū)形貌原位納米壓痕分析裝置微區(qū)形貌原位納米壓痕分析裝置★注：不涉及采購進(jìn)口產(chǎn)品時(shí)，投標(biāo)人不得提供進(jìn)口產(chǎn)品進(jìn)行響應(yīng)；涉及采購進(jìn)口產(chǎn)品時(shí)，如國產(chǎn)產(chǎn)品滿足采購需求，也可提供國產(chǎn)產(chǎn)品進(jìn)行響應(yīng)。本項(xiàng)目涉及強(qiáng)制采購節(jié)能產(chǎn)品：采購包1：序號(hào)采購品目名稱標(biāo)的名稱產(chǎn)品名稱不涉及★注：響應(yīng)產(chǎn)品屬于《節(jié)能產(chǎn)品政府采購品目清單》中政府強(qiáng)制采購的產(chǎn)品，投標(biāo)人應(yīng)當(dāng)提供由國家確定的認(rèn)證機(jī)構(gòu)出具的、處于有效期之內(nèi)的節(jié)能產(chǎn)品認(rèn)證證書的原件掃描件或“全國認(rèn)證認(rèn)可信息公共服務(wù)平臺(tái)”（http://cxcncacn）的認(rèn)證信息截圖，否則作無效投標(biāo)處理。具體要求詳見第五章符合性審查表。本項(xiàng)目涉及優(yōu)先采購節(jié)能產(chǎn)品：采購包1：序號(hào)采購品目名稱標(biāo)的名稱產(chǎn)品名稱不涉及注：響應(yīng)產(chǎn)品屬于《節(jié)能產(chǎn)品政府采購品目清單》中優(yōu)先采購的產(chǎn)品，投標(biāo)人提供由國家確定的認(rèn)證機(jī)構(gòu)出具的、處于有效期之內(nèi)的節(jié)能產(chǎn)品認(rèn)證證書的原件掃描件或“全國認(rèn)證認(rèn)可信息公共服務(wù)平臺(tái)”（http://cxcncacn）的認(rèn)證信息截圖，可以享受優(yōu)先采購政策。具體要求詳見第五章規(guī)定。本項(xiàng)目涉及優(yōu)先采購環(huán)境標(biāo)志產(chǎn)品：采購包1：序號(hào)采購品目名稱標(biāo)的名稱產(chǎn)品名稱不涉及注：響應(yīng)產(chǎn)品屬于《環(huán)境標(biāo)志產(chǎn)品政府采購品目清單》中的產(chǎn)品，投標(biāo)人提供由國家確定的認(rèn)證機(jī)構(gòu)出具的、處于有效期之內(nèi)的環(huán)境標(biāo)志產(chǎn)品認(rèn)證證書的原件掃描件或“全國認(rèn)證認(rèn)可信息公共服務(wù)平臺(tái)”（http://cxcncacn）的認(rèn)證信息截圖，可以享受優(yōu)先采購政策。具體要求詳見第五章規(guī)定。32技術(shù)要求采購包1：標(biāo)的名稱：微區(qū)形貌原位納米壓痕分析裝置序號(hào)符號(hào)標(biāo)識(shí)技術(shù)要求名稱技術(shù)參數(shù)與性能指標(biāo)一、主要功能-第16頁-★11該設(shè)備需具備在掃描電鏡微區(qū)環(huán)境下，對(duì)巖石、金屬、納米材料及非均相有機(jī)/無機(jī)材料等樣品進(jìn)行微納米尺度原位壓痕測(cè)試的能力，可實(shí)時(shí)觀察測(cè)試過程中的樣品表面形貌變化。同時(shí)，設(shè)備應(yīng)能實(shí)現(xiàn)微區(qū)成分元素種類與含量分析，還應(yīng)該具備材料樣品專業(yè)級(jí)拋光附件。二、電子光學(xué)系統(tǒng)★21分辨率：≤07nm@15kV(SE)（要求測(cè)試在非浸沒模式以及無需減速臺(tái)模式實(shí)現(xiàn)。）；★22分辨率：≤11nm@1kV(SE)（要求測(cè)試在非浸沒模式以及無需減速臺(tái)模式實(shí)現(xiàn)。）；▲23在不使用樣品臺(tái)減速狀態(tài)下，加速電壓范圍：002kV～30kV，且著陸能量范圍：20eV~30keV，步進(jìn)10V可調(diào)；★24放大倍率：×10～×1,000,000（膠片圖像格式），根據(jù)加速電壓和工作距離的改變，放大倍數(shù)自動(dòng)校準(zhǔn)，低倍率與高倍率無需任何模式更換；25電子槍類型：肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍，束流穩(wěn)定性優(yōu)于03%/h；26鏡筒內(nèi)具有靜電透鏡設(shè)計(jì)，電磁透鏡和靜電透鏡復(fù)合物鏡，無論哪種模式都能夠保證樣品室內(nèi)無漏磁具有2mm工作距離對(duì)鐵磁性樣品進(jìn)行探測(cè)能力；▲27電磁光闌：≥7孔；三、樣品探測(cè)艙▲31樣品艙室采用抽屜式拉門設(shè)計(jì)，樣品艙室內(nèi)部尺寸≥350mm（直徑）×250mm（高度）；★32抽屜式拉門上預(yù)留≥3個(gè)獨(dú)立接口,接口適用于后期原位功能拓展；▲33最大樣品尺寸≥250mm直徑；▲34具有五軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)工件臺(tái)，樣品臺(tái)移動(dòng)行程X方向≥135mm，Y方向≥130mm，Z方向≥100mm，樣品臺(tái)移動(dòng)行程T（傾斜）范圍≥-20°~90°，R=360°；35若配合能譜儀使用時(shí)，在35o最佳出射角時(shí)分析時(shí)，工作距離≤85mm；★36配置要求：配備獨(dú)立九孔樣品臺(tái)1個(gè)，單樁樣品臺(tái)1個(gè)，截面樣品臺(tái)1個(gè)。；四、探測(cè)器★41配備樣品室內(nèi)獨(dú)立的二次電子探測(cè)器1個(gè)；配備樣品室內(nèi)極靴正下方獨(dú)立抽拉式5分割環(huán)形背散射探測(cè)器1個(gè)；配備鏡筒內(nèi)部環(huán)形二次電子探測(cè)器1個(gè)，位于正光軸上，使用過程不需要加偏壓?！?2配備樣品室彩色I(xiàn)R-CCD相機(jī)1個(gè)。配備的抽屜式拉門上有彩色導(dǎo)航相機(jī)1個(gè)；五、真空系統(tǒng)▲51樣品室真空度：高真空模式≤2×10-4Pa，電子槍真空度≤1×10-7Pa；52無油磁懸浮渦輪分子泵，≥250升每秒；★53具備低真空模式；▲54低真空模式真空度≥130Pa；六、數(shù)據(jù)處理和系統(tǒng)控制系統(tǒng)61具有雙通道操作系統(tǒng)，具有多功能旋鈕操作控制面板或多功能鍵盤?！?2可自動(dòng)調(diào)節(jié)：電子槍對(duì)中、真空控制、亮度與襯度、調(diào)焦和象散、動(dòng)態(tài)聚焦、傾斜補(bǔ)償；-第17頁-1微區(qū)形貌原位納米壓痕分析裝置▲63單張圖片最大存儲(chǔ)分辨率≥30k×24k（非工程師模式）。64操作界面可自定義≥30種快捷鍵操作模塊，提供≥250種功能模塊的宏編輯器。65具有光電互通精準(zhǔn)定位升級(jí)接口。66多點(diǎn)定位硬件接口可快速穿梭于可見光光學(xué)系統(tǒng)和電子光學(xué)系統(tǒng)，并且?guī)в小?個(gè)高精度定位點(diǎn)。67具有可觸摸式中英文操作軟件，可通過觸控軟件直接掃描電鏡拍圖。七、能譜儀★71探測(cè)器：硅漂移（SDD）電制冷探測(cè)器，芯片有效面積≥30mm2；72能量分辨率：Mn-Ka優(yōu)于129eV；73元素分析范圍:B5～Cf98；▲74具有元素譜圖Live功能：在移動(dòng)樣品或改變放大倍率時(shí)，元素譜圖實(shí)時(shí)刷新顯示，無需在電鏡和能譜軟件間切換。八、氬離子拋光儀★81功能：同時(shí)具備橫截面切割和平面大面積拋光功能；▲82離子源：兩束獨(dú)立可調(diào)節(jié)的全電磁線圈聚焦氬離子源，無永磁體，離子槍無任何耗材；83加速電壓范圍：100eV~10keV?！?4束斑尺寸：300μm~5mm，可連續(xù)調(diào)節(jié)。85離子束束流密度≥10mA/cm2，可選擇單個(gè)或者兩個(gè)離子源工作，每個(gè)離子源都有獨(dú)立法拉第杯直接檢測(cè)電子束流值。▲86能夠提供絕對(duì)定位精度，具有樣品厚度測(cè)量功能，能夠?qū)崿F(xiàn)不同厚度樣品自動(dòng)匹配最佳拋光位置。87真空系統(tǒng)：兩級(jí)真空系統(tǒng)，無油干泵和≥80L/s渦輪分子泵。88用戶界面：具有配方式自動(dòng)加工功能，同時(shí)具有事件記錄器，可記錄儀器故障信息。89具有預(yù)換樣室設(shè)計(jì)，換樣時(shí)間≤1min?！?10樣品尺寸：橫截面≥25mm×10mm×5mm；★811拋光速率≥300μm/Hr；★812配置要求：配備≥2個(gè)橫截面切割樣品臺(tái)，≥2個(gè)平拋拋光樣品臺(tái)；能夠?qū)崿F(xiàn)高通量制樣；813具有專用配套顯微鏡，能夠?qū)崟r(shí)觀察切割過程；九、原位微區(qū)納米壓痕儀▲91、最大壓痕深度≥25μm，此范圍內(nèi)的位移背景噪音≤005nm；92、力傳感器更換時(shí)間：≤1分鐘；★93、原位微區(qū)納米壓痕最大縱向載荷≥10mN；▲94、包含最大載荷20mN、最大載荷200mN和最大載荷2N的三套傳感器；20mN量程內(nèi)的載荷背底噪音（10Hz下測(cè)量）：≤50nN；200mN量程內(nèi)的載荷背底噪音（10Hz下測(cè)量）：≤500nN；2N量程內(nèi)的載荷背底噪音（10Hz下測(cè)量）：≤5uN；95、最大位移、載荷數(shù)據(jù)記錄和保存頻率：≥90kHz；★96、具有連續(xù)剛度法（CSM）納米壓痕功能，能夠以給定頻率下的位移或載荷振-第18頁-