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北京交通大學飛秒激光智能加工教學實驗平臺公開招標公告采購需求.pdf

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北京市 2025-12-04 179.09KB 業(yè)主:北京交通大學
內容簡介

采購需求一、總體需求1、采購標的二、技術參數(shù)品目名稱技術參數(shù)數(shù)量備注1飛秒激光智能加工教學實驗平臺一、功能與目標1本項目擬采購飛秒激光加工系統(tǒng)一套,該系統(tǒng)主要功能為:將激光聚焦于被加工物體上,使物體加熱、融化或氣化,從而實現(xiàn)光器件設計加工等功能,是光器件制備和實驗教學的基礎設備。2該系統(tǒng)目標用于教學實驗平臺建設,填補學校在激光智能加工方向的實驗教學和科學研究空白,服務研究生和本科生的實驗教學和人才培養(yǎng)。二、配置與組成該套系統(tǒng)包括飛秒激光器、三軸精密定位平臺、光路傳輸系統(tǒng)、機器視覺系統(tǒng)、聚焦光學加工模塊等8個子系統(tǒng)。三、技術指標(一)系統(tǒng)總體功能指標要求:1系統(tǒng)具備逐點法、逐線法和矢量變跡等方法光纖光柵刻寫和波導加工功能。2系統(tǒng)支持切趾光纖光柵加工,具體指標為:3dB帶寬:02~03nm,反射率:10%~99%,中心波長可調范圍:1500~1600nm,邊模抑制比:>20dB,光柵長度:<10mm;產(chǎn)品交貨驗收時需提供上述指標石英光纖切趾光纖光柵樣品一份;3系統(tǒng)支持石英光纖啁啾光纖光柵加工,具體指標為:3dB帶寬:10~100nm,反射率:1套序號設備單位數(shù)量是否接受進口產(chǎn)品1飛秒激光智能加工教學實驗平臺套1否10%~95%,可調波長范圍:1500~1600nm;產(chǎn)品交貨驗收時需提供上述指標光纖光柵樣品一份;4支持加工硬脆材料種類:包括但不限于:玻璃、藍寶石、硅、鈮酸鋰、氮化硅和硼硅酸鹽等各類波導材料,支持4英寸晶圓加工,具備透明真空吸附臺。產(chǎn)品交貨驗收時需提供在石英玻璃材料內部加工的直線型波導器件樣品一份,要求截面圓度>90%。(二)各部分指標要求:1飛秒激光器(1)★中心波長:1030nm和515nm;(2)平均功率:≥10W;(3)最小脈沖寬度:<300fs;(4)最大單脈沖能量:≥10μJ;(5)重頻可調:10Hz-1000KHz;(6)▲內置倍頻模塊一個,最大轉化效率≥50%;(提供生產(chǎn)廠家官方網(wǎng)站截圖或產(chǎn)品白皮書或第三方機構檢驗報告或其他相關證明材料)2三軸精密定位平臺(1)★X/Y/Z三軸行程:≥200mm×200mm×20mm;(2)X/Y/Z軸定位精度:≤±200nm;(3)X/Y/Z軸雙向重復精度:≤±150nm;(4)最大位移速度:≥100mm/s(X/Y軸),≥50mm/s(Z軸);(5)支持三軸基于真實編碼器的PSO同步觸發(fā)。3光路傳輸系統(tǒng)(1)▲電動功率調節(jié)器,調節(jié)范圍:1-95%;(提供生產(chǎn)廠家官方網(wǎng)站截圖或產(chǎn)品白皮書或第三方機構檢驗報告或其他相關證明材料)(2)高反射率介質膜鏡,反射率R>99%;(3)高精度調節(jié)光學支架,俯仰和偏轉調節(jié);(4)光場調控功能,調節(jié)激光光斑光場分布,降低光柵器件插損短波<15dB@R=90%;(5)功率檢測:波長范圍覆蓋400nm-1100nm,功率測試范圍覆蓋05nW-500mW;(6)#預留空間光調制器及匹配4f系統(tǒng)升級空間。4機器視覺系統(tǒng)(1)高分辨率成像相機,分辨率≥500萬像素,相機像素≥1920*1200。具備自動聚焦功能、加工過程實時可見。(2)透射/反射雙方式照明。5聚焦光學加工模塊(1)物鏡1:60倍油鏡(NA≥14)(2)物鏡2:20倍空氣鏡(NA≥04)(3)▲三點式二維調平位移臺,調角范圍>±001rad。(提供生產(chǎn)廠家官方網(wǎng)站截圖或產(chǎn)品白皮書或第三方機構檢驗報告或其他相關證明材料)(4)▲大面積加工夾具,支持4英寸晶圓加工,透明真空吸附臺。(提供生產(chǎn)廠家官方網(wǎng)站截圖或產(chǎn)品白皮書或第三方機構檢驗報告或其他相關證明材料)(5)智能光纖夾具,夾具支持光纖光柵加工,具有以光纖纖心為旋轉軸旋轉加工光纖能力。(6)#預留自動卷纖放纖模塊功能位置與控制接口。6電控電器模塊控制器預留標準計算機接口,配置控制電腦;控制柜布置及走線整齊,導線與器件連接可靠并可靠接地;具備基本控制開關、指示燈、緊急停止開關燈。7三維激光加工軟件(1)包含圖形解析軟件與加工操作軟件;(2)圖形解析軟件支持解析格式:位圖、GDS、STL;(3)★支持加工過程實時監(jiān)控。(4)最終可實現(xiàn)加工性能:1)支持加工硬脆材料種類:玻璃、藍寶石、硅、各種閃爍晶體、金屬、陶瓷等。2)支持在材料表面或內部進行改性或減材加工。3)★加工模式:逐行掃描加工、矢量路徑加工、能量高速調制加工。4)支持加工光纖種類:單模光纖、少模光纖、多模光纖、多芯光纖,以及大多數(shù)特種光纖;光柵加工長度在05mm–10mm范圍可調。5)支持免去涂覆層加工,兼容涂覆層種類:無涂覆層、聚酰亞胺涂覆層、丙烯酸酯涂覆層。6)★加工光纖光柵典型參數(shù)(單模光纖):反射率:01%~90%可調,最小3db帶寬02nm,邊模抑制比>15dB;7)▲提供弱反射光柵陣列OFDR測試結果圖,反射率<001%;8)▲提供超結構光柵加工樣品測試光譜圖9)▲提供多芯光纖加工結構顯微鏡表征圖8安全護罩設備采用大理石龍門架結構,具備安全防護罩、帶觀察窗、應急急停按鈕;配備阻尼隔振系統(tǒng)。四、環(huán)境要求安裝時對溫度、濕度、潔凈、電源、水源、氣源等的要求:設備部署環(huán)境:超凈間,溫度22±2℃,相對濕度<50%,恒溫恒濕。外接設施參數(shù):220V16A。五、質量要求投標人提供產(chǎn)品需保證產(chǎn)品為全新原裝正品。三、服務要求1包裝運輸投標人承擔本合同設備的包裝和運輸工作,并承擔相應費用。包裝應滿足國家和行業(yè)有關規(guī)定,滿足包裝、設備裝卸和運輸要求,以確保貨物安全無損運抵交貨地點。2安裝調試投標人負責整套設備采購人現(xiàn)場安裝、調試,并需遵守采購人的規(guī)章制度。3質量保障措施對提供的產(chǎn)品有明確的質量保障措施,質量把控流程嚴格,措施合理。4培訓投標人應提供對采購人的技術人員、維修人員及操作人員進行使用前的培訓。5技術支持投標人根據(jù)項目特點提供產(chǎn)品技術服務支持。四、售后服務1在質保期內設備若出現(xiàn)故障,投標人進行更換零部件及維修服務。投標人接到采購人匯報的故障信息后應在4小時內予以響應,需要抵達現(xiàn)場進行維修的,

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