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HW2024110701復(fù)旦大學(xué)原子層沉積（ALD）設(shè)備國際公開招標(biāo)采購項(xiàng)目招標(biāo)文件（第二冊）招標(biāo)編號(hào)：1417-2442401FD045項(xiàng)目名稱：復(fù)旦大學(xué)原子層沉積(ALD)設(shè)備國際公開招標(biāo)采購項(xiàng)目招標(biāo)人：復(fù)旦大學(xué)招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)：上海銀鑫建設(shè)咨詢有限公司2024年11月i第二冊目錄第五章投標(biāo)邀請1第六章投標(biāo)資料表5第七章合同專用條款29第八章貨物需求一覽表和技術(shù)規(guī)格30復(fù)旦大學(xué)原子層沉積(ALD)設(shè)備國際公開招標(biāo)采購項(xiàng)目招標(biāo)文件第1頁第五章投標(biāo)邀請復(fù)旦大學(xué)原子層沉積(ALD)設(shè)備國際公開招標(biāo)采購項(xiàng)目招標(biāo)文件第2頁第五章投標(biāo)邀請上海銀鑫建設(shè)咨詢有限公司（以下簡稱“招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)”）受復(fù)旦大學(xué)（以下簡稱“招標(biāo)人”）的委托，現(xiàn)以國際公開招標(biāo)方式邀請合格的投標(biāo)人就下列所提供的貨物和相關(guān)服務(wù)提交密封投標(biāo)。一、項(xiàng)目基本情況：1、項(xiàng)目名稱：復(fù)旦大學(xué)原子層沉積(ALD)設(shè)備國際公開招標(biāo)采購項(xiàng)目2、項(xiàng)目編號(hào)：HW2024110701（招標(biāo)編號(hào)：1417-2442401FD045）3、采購需求：包件號(hào)名稱數(shù)量簡要技術(shù)規(guī)格備注1原子層沉積(ALD)設(shè)備11原子層沉積（ALD）設(shè)備腔體技術(shù)性能要求：真空腔外壁需為全冷壁，在設(shè)備的正常運(yùn)行時(shí)，真空腔外壁溫度不超過35℃，腔體漏率低于10-6mbarL/s。真空腔外壁需配有循環(huán)水冷卻功能，無隔熱材料。2氣體管路技術(shù)性能要求：在設(shè)備的前驅(qū)體管路中需配置在線自動(dòng)惰性氣體凈化系統(tǒng)。3常溫液態(tài)前驅(qū)源管路技術(shù)性能要求：每個(gè)常溫液態(tài)料源裝置均需配制循環(huán)水水浴裝置，應(yīng)能穩(wěn)定高蒸發(fā)液態(tài)源溫度。溫度控制精度：≤±2℃。預(yù)算金額：人民幣280萬元最高限價(jià)：人民幣2744萬元合同履行期限：2025年6月30日前完成交付4、技術(shù)要求：見本招標(biāo)文件第八章“貨物需求一覽表及技術(shù)規(guī)格”，本次招標(biāo)所需的資金來源已落實(shí)。二、本次招標(biāo)的合格投標(biāo)人應(yīng)同時(shí)滿足下列資格條件：1、來自中華人民共和國或是與中華人民共和國有正常貿(mào)易往來的國家或地區(qū)(以下簡稱“合格來源國/地區(qū)”)的法人或其他組織；2、投標(biāo)人應(yīng)為投標(biāo)產(chǎn)品的制造商或其合法代理商，代理商投標(biāo)應(yīng)提供投標(biāo)產(chǎn)品的制造商針對(duì)本項(xiàng)目的正式授權(quán)；3、投標(biāo)人須在投標(biāo)截止期之前在國家商務(wù)部認(rèn)可的機(jī)電產(chǎn)品招標(biāo)投標(biāo)電子交易平臺(tái)（以下簡稱機(jī)電產(chǎn)品交易平臺(tái)，網(wǎng)址為：http://wwwchinabiddingcom）上完成有效注冊；4、接受委托參與項(xiàng)目前期咨詢和招標(biāo)文件編制的法人或其他組織不得參加受托項(xiàng)目的投標(biāo)，也不得為該項(xiàng)目的投標(biāo)人編制投標(biāo)文件或者提供咨詢。