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1采購需求一總體說明1總體說明11本章所提出的技術(shù)要求是對本次招標(biāo)貨物及伴隨服務(wù)的基本要求，并未涉及所有技術(shù)細節(jié)，也未充分引述有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范的全部條款。投標(biāo)人應(yīng)保證其提供的貨物及伴隨服務(wù)除了滿足本技術(shù)要求外，還應(yīng)符合中國國家、行業(yè)、地方或設(shè)備制造商所在國的有關(guān)強制性標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范。當(dāng)上述標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范的有關(guān)規(guī)定之間存在差異時，應(yīng)以要求高的為準(zhǔn)。12本章中提及的工藝、材料、設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)及品牌或型號（如有）僅起說明作用，并沒有強制性。投標(biāo)人在投標(biāo)中可以用替代工藝、材料、設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)及品牌或型號，但這種替代須實質(zhì)上滿足、等同或優(yōu)于本章技術(shù)要求，同時須提供相關(guān)證明材料，否則可能被評標(biāo)委員會認定為負偏離。13除非有特別說明，本章中所列的具體參數(shù)或參數(shù)范圍，均理解為招標(biāo)人可接受的最低要求。2采購內(nèi)容序號標(biāo)的名稱單位數(shù)量備注1電子束曝光系統(tǒng)套1/3技術(shù)要求31標(biāo)識符號標(biāo)識類型標(biāo)識符號標(biāo)識符號含義實質(zhì)性參數(shù)★負偏離或未響應(yīng)視為實質(zhì)性不響應(yīng)招標(biāo)文件要求重要參數(shù)●重要技術(shù)指標(biāo)，根據(jù)評分辦法中相關(guān)要求進行評審一般參數(shù)無標(biāo)識一般技術(shù)指標(biāo)，根據(jù)評分辦法中相關(guān)要求進行評審注：標(biāo)識條款中如包含多條子項技術(shù)參數(shù)或要求，則需滿足或優(yōu)于該標(biāo)識條款內(nèi)所有子項技術(shù)參數(shù)或要求方能得分。32技術(shù)要求2貨物名稱技術(shù)性能參數(shù)電子束曝光系統(tǒng)1電子光學(xué)系統(tǒng)11電子槍：肖特基場發(fā)射電子槍；●12分辨率：≤1nm@15kV；≤15nm@1kV；13加速電壓：可調(diào)節(jié)范圍不小于20V～30kV；14最大寫場范圍：不小于500um×500um；●15電子束閘響應(yīng)時間：≤50ns；16放大倍數(shù)：可調(diào)節(jié)范圍不小于1x～2500000x（1x～16x為光學(xué)放大）；★17透鏡系統(tǒng)：高壓管末端減速電場與極靴磁場復(fù)合透鏡系統(tǒng)；18極靴：水冷循環(huán)恒溫物鏡極靴；●19高壓加速管：鏡筒內(nèi)由高壓加速管保持高能電子快速穿過鏡筒，并在電子離開極靴時提供減速電場，降低電子能量，提升低加速電壓的分辨率；●110物鏡光闌：電偏轉(zhuǎn)5孔光闌，無需手動調(diào)節(jié)。2真空系統(tǒng)21泵組：機械泵2臺，渦輪分子泵1臺，離子泵2臺；22真空度：電子槍真空度≤9×10-8Pa；樣品倉真空度≤5×10-4Pa真空控制：全自動，具有真空互鎖功能，有效避免誤操作。3樣品倉和樣品臺●31樣品臺激光干涉系統(tǒng)：閉環(huán)激光干涉樣品臺（雙頻激光干涉儀，激光干涉儀分辨率：≤05nm）；●32樣品臺控溫：恒溫水冷系統(tǒng)，溫度穩(wěn)定性≤±01℃；★33樣品臺類型：高精度電機加納米壓電陶瓷補償?shù)娜]環(huán)樣品臺，高精度電機保證樣品臺的快速移動，納米壓電陶瓷補償保證樣品臺位移精度；●34調(diào)高調(diào)平：獨立的高精度激光器，實現(xiàn)樣品在Z方向的精度和平整度的精確控制；35樣品臺行程：X：≥105mm；Y：≥105mm，最小步進精度≤1nm，重復(fù)定位精度≤10nm；●36拼接精度：≤±50nm（mean+2σ）；●37套刻精度：≤±50nm（mean+2σ）；●38樣品交換倉：配備快速換樣交換倉，采用獨立機械泵快速抽真空，抽真空時間：≤3min；39樣品倉大小：不小于340mm×310mm×290mm；310最大晶圓樣品尺寸：≥4英寸。4探測器：包含1個ETD樣品倉內(nèi)二次電子探測器及1個In-Lens鏡筒內(nèi)高分辨電子探測器。5軟件和圖像顯示★51一體化UI界面，電鏡操作和電子束曝光專用功能集成于一個3軟件下，無需切換不同軟件；52圖像顯示像素分辨率：768×512或1536×1024；53圖像保存：最大48k×32k；54成像模式：BSE、SE雙通道成像，自動亮度對比度、小窗口成像；●55導(dǎo)航定位：配備光學(xué)導(dǎo)航；56顯示方式：全屏顯示、分屏顯示；57圖像存儲格式：TIFF、JPG、PNG、BMP格式；58掃描速度：預(yù)設(shè)四種掃描模式（快掃、中掃、慢掃、選區(qū)掃描）掃描速度可自由配置，同時也支持自選區(qū)域掃描模式；59測量功能：支持多種測量標(biāo)記工具，如長度、角度、直徑等；510自動調(diào)整功能：自動聚焦、自動像散、自動亮度對比度等；511計算機配置：專用工作站；內(nèi)存≥16G；硬盤≥500G；顯示器：24英寸（專業(yè)圖像顯示器，分辨率1920×1200）；512遠程控制計算機：除電鏡控制計算機以外，額外增加一臺同配置的計算機，用于遠程控制。6圖形發(fā)生器61電子束主掃描場：20位數(shù)模轉(zhuǎn)換；●62最高掃描頻率：≥50MHz；●63最小駐留時間：≤20ns；★64寫場畸變校正：包含激光干涉儀標(biāo)定的4點校正、9點校正、標(biāo)樣陣列點軟件自動寫場畸變校正；65網(wǎng)口：千兆網(wǎng)口通信。7專用曝光軟件●71版圖處理：支持GDSII、DXF、BMP等標(biāo)準(zhǔn)版圖格式，并提供圖形的導(dǎo)入、旋轉(zhuǎn)和縮放等；顯示圖形尺寸；位圖導(dǎo)入和轉(zhuǎn)換；圖層信息顯示與選擇；自由定義曝光場位置；圖元批量自動處理；●72曝光參數(shù)設(shè)定：用戶可以設(shè)定電子束的加速電壓、束流強度、劑量、寫場大小和聚焦條件等曝光參數(shù)，以確保滿足不同材料和工藝要求；圖形曝光繪制過程可視化；曝光坐標(biāo)生成所見即所得；73曝光設(shè)置：具有數(shù)據(jù)下載進度和曝光進度顯示條；可設(shè)置步進單位和步進長度；掃描路徑包括順序掃描、循環(huán)掃描；支持區(qū)域曝光劑量、線劑量設(shè)置，實現(xiàn)高分辨率的復(fù)雜圖形加工；74劑量校正：根據(jù)圖形形狀、面積分配合適的劑量比例；●75套刻：兩點定標(biāo)、三點定標(biāo)。可輸入定點和曝光點坐標(biāo)；76場拼接：S型拼接模式、自定義拼接場大小、自動分隔拼接場；★77臨近效應(yīng)矯正：具有集成于軟件內(nèi)部的原廠自研鄰近效應(yīng)矯正軟件；78自動聚焦曝光：具有手動式三點測面聚焦和自動化激光高度計動態(tài)實時動態(tài)測高；●79最小單次曝光線寬：＜15nm。48UPS：不小于4h延時供電。9減震臺：配備主動式減震臺。4商務(wù)要求41設(shè)備安裝調(diào)試：設(shè)備安裝環(huán)境布置由供應(yīng)商負責(zé)；42驗收要求：1）設(shè)備發(fā)貨前提供廠內(nèi)測試報告，經(jīng)采購人允許后方可發(fā)貨；2）驗收時，由采購人成立三人以上（由采購人、供應(yīng)商、技術(shù)人員等相關(guān)人員組成）驗收小組，明確責(zé)任，嚴(yán)格按照采購人相關(guān)驗收規(guī)范進行核對、驗收，形成驗收結(jié)論，并出具書面驗收文件；3）驗收時，如因供應(yīng)商原因?qū)е买炇詹煌ㄟ^，供應(yīng)商須無條件立即整改直到驗收通過為止。43技術(shù)培訓(xùn)：1）技術(shù)培訓(xùn)周期為1周；2）技術(shù)培訓(xùn)內(nèi)容包含設(shè)備使用，設(shè)備維護，常見問題解決路徑；44售后服務(wù)：1）免費保修期內(nèi)必須保證快速的服務(wù)響應(yīng)。故障發(fā)生后，供應(yīng)商應(yīng)在接到采購人故障信息后8小時內(nèi)響應(yīng)，72小時到現(xiàn)場，處理故障時間不超過2周，否則供應(yīng)商應(yīng)賠償相應(yīng)損失。在免費保修期之外，中標(biāo)人應(yīng)提供技術(shù)支持，提供設(shè)備使用期限內(nèi)的有償終身維修服務(wù)，按照成本價提供設(shè)備相關(guān)的備品備件5其他說明本次所投產(chǎn)品的工作條件如下：電源：220V，50Hz；環(huán)境溫度：20±5℃；相對濕度：≤60%中標(biāo)人負責(zé)包裝和運輸。中標(biāo)人交付的產(chǎn)品應(yīng)符合相關(guān)包裝儲運的國家標(biāo)準(zhǔn)，能承受水平受力、垂直受力、適合長途運輸，防潮、防濕、防震、防銹、耐粗暴搬運。由于采用不充分或不妥善的防護措施而造成的任何銹損，投標(biāo)人應(yīng)負擔(dān)由此而產(chǎn)生的一切費用和/或損失。投標(biāo)人應(yīng)在每件包裝上，用不褪色油墨清楚地標(biāo)刷件號、目的地、尺碼、毛重、凈重、“此