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1采購需求一總體說明1總體說明11本章所提出的技術(shù)要求是對本次招標(biāo)貨物及伴隨服務(wù)的基本要求，并未涉及所有技術(shù)細(xì)節(jié)，也未充分引述有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范的全部條款。投標(biāo)人應(yīng)保證其提供的貨物及伴隨服務(wù)除了滿足本技術(shù)要求外，還應(yīng)符合中國國家、行業(yè)、地方或設(shè)備制造商所在國的有關(guān)強(qiáng)制性標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范。當(dāng)上述標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范的有關(guān)規(guī)定之間存在差異時，應(yīng)以要求高的為準(zhǔn)。12本章中提及的工藝、材料、設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)及品牌或型號（如有）僅起說明作用，并沒有強(qiáng)制性。投標(biāo)人在投標(biāo)中可以用替代工藝、材料、設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)及品牌或型號，但這種替代須實質(zhì)上滿足、等同或優(yōu)于本章技術(shù)要求，同時須提供相關(guān)證明材料，否則可能被評標(biāo)委員會認(rèn)定為負(fù)偏離。13除非有特別說明，本章中所列的具體參數(shù)或參數(shù)范圍，均理解為招標(biāo)人可接受的最低要求。2采購內(nèi)容序號標(biāo)的名稱單位數(shù)量備注1ICP刻蝕機(jī)套1由光學(xué)系統(tǒng)、精密位移平臺、數(shù)據(jù)處理模塊和電控環(huán)控模塊四個模塊組成3技術(shù)要求31標(biāo)識符號標(biāo)識類型標(biāo)識符號標(biāo)識符號含義實質(zhì)性參數(shù)★負(fù)偏離或未響應(yīng)視為實質(zhì)性不響應(yīng)招標(biāo)文件要求重要參數(shù)●重要技術(shù)指標(biāo)，根據(jù)評分辦法中相關(guān)要求進(jìn)行評審一般參數(shù)無標(biāo)識一般技術(shù)指標(biāo)，根據(jù)評分辦法中相關(guān)要求進(jìn)行評審注：標(biāo)識條款中如包含多條子項技術(shù)參數(shù)或要求，則需滿足或優(yōu)于該標(biāo)識條款內(nèi)所有子項技術(shù)參數(shù)或要求方能得分。232技術(shù)要求貨物名稱技術(shù)性能參數(shù)ICP刻蝕機(jī)1反應(yīng)腔室本底真空：≤2×10-5Torr；2極限真空度（在12小時以內(nèi)）：≤3×10-6Torr；★3分子泵：工藝腔室用分子泵抽速≥1300L/s；★4干泵：前級泵抽速≥100m3/hr,預(yù)真空室抽速≥15m3/hr；★5ICP射頻電源供應(yīng)滿足：≥3000W，1356MHz；★6射頻偏壓：≥100W，1356MHz；7真空計：100mTorr，控壓范圍5mTorr~90mTorr，控壓精度±02mTorr；8帶有水冷和He背冷功能，冷水機(jī)可調(diào)節(jié)溫度范圍-20℃~80℃，控溫精度±05℃，下電極可調(diào)節(jié)溫度范圍-10℃~80℃，控溫精度±05℃；9氣體質(zhì)量流量計（MFC）控制精度≤1%，氣體質(zhì)量流量計（MFC）控制精度計量重復(fù)性≤1%；●10反應(yīng)氣路≥7路，（至少含：N2、O2、SF6、CHF3、Ar、Cl2、H2）；11適用晶圓尺寸可達(dá)到200mm直徑；12納米級鈮酸鋰脊型波導(dǎo)刻蝕：●（1）刻蝕深度：≥350nm；●（2）刻蝕速率：≥50nm/min；●（3）刻蝕傾角≥65°；●（4）選擇比：LN：Cr≥4:1；LN：（HSQ-fox16）≥12:1；13微米級鈮酸鋰脊型波導(dǎo)刻蝕：●（1）刻蝕深度：≥5微米；●（2）刻蝕速率：≥50nm/min；●（3）刻蝕傾角≥65°；●（4）選擇比：LN：Cr≥4:1。4售后服務(wù)要求（1）供應(yīng)商應(yīng)具備完善的售后服務(wù)體系，有固定的維護(hù)人員并有能力及時處理所有可能發(fā)生的故障。3（2）售后響應(yīng)時間：必須保證快速的服務(wù)響應(yīng)。收到服務(wù)請求后，須在24小時內(nèi)對采購人的服務(wù)要求作出響應(yīng)，一般問題須在48小時內(nèi)解決，如確認(rèn)有必要到達(dá)現(xiàn)場，則應(yīng)在2個工作日內(nèi)派出工程師到達(dá)用戶現(xiàn)場進(jìn)行維修。重大問題或其他無法迅速解決的問題應(yīng)在一周內(nèi)解決或提出明確解決方案，否則中標(biāo)人應(yīng)賠償相應(yīng)損失。（3）產(chǎn)品在出廠前，中標(biāo)人應(yīng)進(jìn)行全面的系統(tǒng)測試及出具產(chǎn)品檢驗報告、測試報告和操作手冊。在免費保修期內(nèi)，中標(biāo)人應(yīng)保證貨物及服務(wù)的質(zhì)量，針對損壞的產(chǎn)品，提供免費上門維修和更換服務(wù)，所有人工和部件維修、更換費用均由中標(biāo)人承擔(dān)（人為不當(dāng)操作或故意損毀或不可抗力因素導(dǎo)致的損壞除外）。（4）在免費保修期之外，中標(biāo)人應(yīng)提供技術(shù)支持，并有償提供維修服務(wù)及所需更換備件。中標(biāo)人在國內(nèi)設(shè)有常用備品備件庫，方便即時解決問題。（5）中標(biāo)人應(yīng)按照采購人指定方式，對采購人進(jìn)行免費培訓(xùn)，培訓(xùn)內(nèi)容包括儀器的技術(shù)原理、操作、數(shù)據(jù)處理、基本維護(hù)等。5其他特殊要求中標(biāo)人負(fù)責(zé)包裝和運(yùn)輸。中標(biāo)人交付的產(chǎn)品應(yīng)符合相關(guān)包裝儲運(yùn)的國家標(biāo)準(zhǔn)，能承受水平受力、垂直受力、適合長途運(yùn)輸，防潮、防濕、防震、防銹、耐粗暴搬運(yùn)。由于采用不充分或不妥善的防護(hù)措施而造成的任何銹損，投標(biāo)人應(yīng)負(fù)擔(dān)由此而產(chǎn)生的一切費用和/或損失。投標(biāo)人應(yīng)在每件包裝上，用不褪色油墨清楚地標(biāo)刷件號、目的地、尺碼、毛重、凈重、“此端向上”，“小心輕放”，“切勿受潮”等字樣。中標(biāo)人保證貨物采用全新材料制造，制造工藝良好，其成品質(zhì)量、規(guī)格和性能與本合同規(guī)定相符。中標(biāo)人負(fù)責(zé)安裝、調(diào)試及人員培訓(xùn)，并負(fù)擔(dān)費用。貨物裝箱時附送貨單、測試報告及操作說明、U盤（U盤內(nèi)包含電子版測試報告、操作說明及應(yīng)用程序）