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1采購需求標(biāo)包1：一總則11本技術(shù)規(guī)格所提出的要求是對本次招標(biāo)貨物的基本技術(shù)要求，并未涉及所有技術(shù)細(xì)節(jié)，也未充分引述有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范的全部條款。投標(biāo)人應(yīng)保證其提供的貨物除了滿足本技術(shù)規(guī)格的要求外，還應(yīng)符合中國國家、行業(yè)、地方或設(shè)備制造商所在國的有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范（尤其是必須符合中國國家標(biāo)準(zhǔn)的有關(guān)強(qiáng)制性規(guī)定)。12本技術(shù)規(guī)格中提及的工藝、材料、設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)及參考品牌或型號（如有）僅起說明作用，并沒有強(qiáng)制性。投標(biāo)人在投標(biāo)中可以用替代工藝、材料、設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)及品牌或型號，但這種替代須實(shí)質(zhì)上滿足、等同或優(yōu)于本技術(shù)規(guī)格的要求，否則其投標(biāo)無效。13除“三技術(shù)要求”外，本章中所列的具體參數(shù)及技術(shù)要求等，均理解為采購人可接受的最低要求。14中標(biāo)的主要產(chǎn)品的數(shù)量、單價、規(guī)格等將予以公布。二采購范圍序號標(biāo)的名稱單位數(shù)量備注1自動機(jī)器人傳片系統(tǒng)套1三技術(shù)要求31標(biāo)識符號標(biāo)識類型標(biāo)識符號標(biāo)識符號含義實(shí)質(zhì)性參數(shù)★負(fù)偏離或未響應(yīng)視為實(shí)質(zhì)性不響應(yīng)招標(biāo)文件要求重要參數(shù)●重要技術(shù)指標(biāo)，根據(jù)評分辦法中相關(guān)要求進(jìn)行評審一般參數(shù)無標(biāo)識一般技術(shù)指標(biāo)，根據(jù)評分辦法中相關(guān)要求進(jìn)行評審注：標(biāo)識條款中如包含多條子項(xiàng)技術(shù)參數(shù)或要求，則需滿足或優(yōu)于該標(biāo)識條款內(nèi)所有子項(xiàng)技術(shù)參數(shù)或要求方能得分。32技術(shù)要求2擬采購的自動機(jī)器人傳片系統(tǒng)（AMHS）系統(tǒng)，通過OHT（天車系統(tǒng)）、STK（晶圓盒自動存儲柜）及OHB(空中存儲位）實(shí)現(xiàn)實(shí)驗(yàn)室內(nèi)晶圓盒等物料在加工生產(chǎn)過程中在暫存位與生產(chǎn)機(jī)臺間全天候無人化全自動搬運(yùn)及集中式智能化管理；通過氮?dú)猓∟2）或超純壓縮空氣（XCDA）針對料盒內(nèi)空氣進(jìn)行凈化，將料盒內(nèi)的濕度及氧含量降至1%以內(nèi)。技術(shù)性能參數(shù)1★AMHS系統(tǒng)至少需包含：天車(OHT)模塊，存儲柜(STK)模塊，軌道系統(tǒng)，空中存儲位(OHB)模塊，臨時上下料站點(diǎn)，維修站點(diǎn)，對應(yīng)控制軟件及服務(wù)器。2AMHS系統(tǒng)整體功能需求①★可自定義傳輸4-12英寸樣品；②★單次可傳遞25片12英寸樣品；③★可實(shí)時監(jiān)控樣品流轉(zhuǎn)情況；④★每日流轉(zhuǎn)樣品最大量≥500片；⑤●滿足產(chǎn)能1000片/月的全自動搬運(yùn)能力，具備后期擴(kuò)產(chǎn)的延展能力；⑥●AMHS系統(tǒng)架構(gòu)可滿足100臺以上OHT天車控制及調(diào)度，同時能管理STK，OHB等自動化設(shè)備；調(diào)度系統(tǒng)CPU利用率≤30%；⑦●AMHS運(yùn)行中，不可出現(xiàn)掉貨、撞貨、撞車現(xiàn)象，連續(xù)運(yùn)行一個月(或一萬筆,優(yōu)先達(dá)成為基準(zhǔn))無異常；⑧★整體AMHS運(yùn)用的設(shè)備需要滿足Class100要求；⑨整體設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定性(Uptime)≥95%；⑩★支持SECS/GEM及其他定制協(xié)議與CIM系統(tǒng)對接。3STK模塊功能要求①STK總體面積≤16㎡；②●FOUP(12寸樣品卡匣)STK數(shù)量≥2臺（≥500個儲位）；③●光罩盒STK≥1臺(≥300個儲位)；④配備顯示器尺寸≥15"，用于顯示Carrier信息，F(xiàn)OUPID等運(yùn)行信息；⑤設(shè)備日志保存時長≥6個月；⑥具備至少一個三色狀態(tài)信號燈，實(shí)時顯示設(shè)備正常運(yùn)行，待機(jī)&異常等狀態(tài)信息；⑦STK系統(tǒng)需具備庫位控制與管理功能。4OHT模塊功能要求①OHT運(yùn)行噪聲≤75dB；3②●OHT天車最大走行速度≥55m/s(空載)，天車轉(zhuǎn)彎最大速度≥1m/s(空載)；③●OHT軌道總長度≥1100m且≤1500m；④●天車高度≤900mm,天車整體重量(空載)≤120kg；⑤天車具有RFID讀取器，RFID讀取失敗率≤01%；⑥天車收到設(shè)備上/下貨需求至任務(wù)完成平均時間（ADT）≤3min；⑦●OHT天車硬件配置數(shù)量≥16臺；⑧●運(yùn)行振動≤035G(GCI測試)；⑨OHT天車上顯示屏≥7"，同時可提供實(shí)時車速顯示；⑩●OHT控制模式需采用當(dāng)前最先進(jìn)的PCB方式。5上下料站點(diǎn)功能要求①●系統(tǒng)需配備臨時上下料站點(diǎn)≥14個；②上下料站點(diǎn)需雙工位，一進(jìn)一出；③具有安全感應(yīng)裝置及連鎖裝置，確保人員及制品安全；④儲位具備限位功能；⑤具備聲光提示報(bào)警功能。6天車維修站點(diǎn)功能要求①●提供至少1處維修天車的自動升降平臺；②維修站點(diǎn)面積≤5㎡；③提供至少1處符合標(biāo)準(zhǔn)的調(diào)校（teaching）平臺以及相應(yīng)調(diào)校（teaching）所需的工具和設(shè)備；④可將天車自動下降到地面，避免人員登高作業(yè)。7空中存儲位（OHB）功能要求①離地高度≥24m；②●OHB總儲位≥1000個:其中充氣凈化（purge）OHB(FOUP)≥162個，充氣凈化（purge）OHB(reticle)≥20個；③充氣流量要求：能穩(wěn)定控制進(jìn)氣流量持續(xù)充氣；④★具備OHB充氣凈化(purge)功能,充氣氣體支持氮?dú)猓∟2）或超純壓縮空氣（XCDA）；⑤●濕度控制規(guī)格：10LPM，Purge30min內(nèi)，RH濕度≤8%；25LPM，Purge15min內(nèi)，RH濕度≤1%；⑥●Purge充氣嘴材質(zhì)TVOC＜50ppb，投標(biāo)文件中提供以往使用該材質(zhì)的客戶認(rèn)4可證明（同時提供所對應(yīng)的合同/協(xié)議影印件）；⑦●purge氣體進(jìn)氣端需配備過濾器，過濾器精度≤001um。8●提供適應(yīng)AMHS軟件系統(tǒng)的一套服務(wù)器系統(tǒng)（含一用一備）。四其他要求1項(xiàng)目交付進(jìn)度及其他交付時間：合同簽訂之日起24個月內(nèi)完成生產(chǎn)并具備發(fā)貨條件，接采購人通知后方可發(fā)貨，接采購人通知之日起6個月內(nèi)完成到貨、安裝調(diào)試并具備驗(yàn)收條件。交付地點(diǎn)：采購人指定地點(diǎn)2其他事項(xiàng)如供應(yīng)商原因?qū)е陆桓哆M(jìn)度延期，采購人駐廠費(fèi)用由供應(yīng)商承擔(dān)，包括但不限于交通、食宿等費(fèi)用。3驗(yàn)收31本項(xiàng)目驗(yàn)收分為【初步驗(yàn)收】和【最終驗(yàn)收】兩個階段。（1）初步驗(yàn)收（a）檢查貨物的內(nèi)外包裝是否完好，安全標(biāo)志完好正常；貨物及其附件是否齊全，外表是否有殘損、銹蝕、碰傷等。檢查設(shè)備和所附配件的型號、編號核對是否無誤。（b）安裝并調(diào)試完成后，供應(yīng)商應(yīng)按照技術(shù)協(xié)議相關(guān)條款對各項(xiàng)性能指標(biāo)進(jìn)行測試。測試應(yīng)在雙方技術(shù)人員共同見證下進(jìn)行。（c）性能測試的所有技術(shù)性能參數(shù)必須全部合格，方可視為通過初步驗(yàn)收。供應(yīng)商出具《初步驗(yàn)收報(bào)告》，采購人確認(rèn)后有效。（2）最終驗(yàn)收（a）初步驗(yàn)收通過后，設(shè)備進(jìn)入為期【90】天的試運(yùn)行期。（b）試運(yùn)行期屆滿且滿足技術(shù)協(xié)議所有條件后，視為設(shè)備通過最終驗(yàn)收，雙方簽署《最終驗(yàn)收報(bào)告》。32其他驗(yàn)收要求（1）采購人負(fù)責(zé)保障合同設(shè)備驗(yàn)收期間所需的工藝條件，并及時配合供應(yīng)商進(jìn)行合同設(shè)備現(xiàn)場驗(yàn)收。供應(yīng)商應(yīng)在確認(rèn)設(shè)備發(fā)貨日期前30日到采購人設(shè)備安裝地點(diǎn)確認(rèn)設(shè)備所需場地和設(shè)備所需工藝條件。在確保設(shè)備場地和工藝條件符合設(shè)備要求的前提下，再確定發(fā)貨日期進(jìn)行發(fā)貨。采購人提出因場地受限無法接收貨物的，從供應(yīng)商發(fā)出交貨通知至采購人場地受