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1/4采購需求一、技術(shù)要求（一）采購清單序號名稱數(shù)量（單位）進(jìn)口/國產(chǎn)單價（人民幣）備注1離子減薄儀1臺進(jìn)口12500萬元2超聲切割機(jī)1臺進(jìn)口2500萬元3等離子清洗儀1臺進(jìn)口9000萬元核心產(chǎn)品離子減薄儀（二）技術(shù)需求序號貨物名稱技術(shù)要求數(shù)量（單位）1離子減薄儀1離子源：兩束獨立可調(diào)節(jié)聚焦氬離子源，無永磁體，離子槍無任何耗材；2離子束束流密度：≥5mA/cm2。可選擇單個或者兩個離子源工作，每個離子源都有獨立法拉第杯直接檢測電子束流值；3加速電壓范圍：每支離子槍能量范圍：不低于0eV～6keV；4離子束束斑尺寸范圍：不小于300μm～1mm；5離子槍調(diào)節(jié)范圍：不小于-10°～+10°；6用戶界面：觸摸屏內(nèi)嵌式用戶界面，具備配方式自動加工功能，同時具備黑匣子事件記錄器，可記錄儀器故障信息，為設(shè)備后續(xù)維修提供精準(zhǔn)判斷依據(jù)；7樣品臺：能夠水平360度連續(xù)旋轉(zhuǎn)，同時可進(jìn)行搖擺，減小離子束減薄時帶來的窗簾效應(yīng)；8配備預(yù)換樣室設(shè)計，換樣時間小于1min；9控制系統(tǒng)：不小于10英寸觸屏設(shè)計，可實現(xiàn)配方編程控1臺2/4制；10配備專業(yè)光學(xué)顯微鏡，可對減薄過程進(jìn)行實時觀察。11具備系統(tǒng)自檢功能及事件記錄器；12配備液氮冷臺及控溫系統(tǒng)，溫度調(diào)節(jié)范圍≥-120℃～室溫連續(xù)可調(diào)，一次加注液氮可持續(xù)制冷時間≥6小時13配備專用精密凹坑系統(tǒng)，通過研磨輪和底座旋轉(zhuǎn)，對樣品進(jìn)行凹坑處理，減少離子減薄時間，同時保證樣品具備連續(xù)厚度，從而更好承載離子減薄薄區(qū);14真空系統(tǒng)：兩級真空系統(tǒng)：無油機(jī)械泵和不低于60L/s渦輪分子泵；15樣品厚度連續(xù)可讀，具備自動控制及手動調(diào)節(jié)兩種終止方式；16凹坑控制精度:≤5μm，且坑速率能夠控制，研磨速度調(diào)節(jié)精度≤05μm/min。17以上1-15項投標(biāo)文件中提供投標(biāo)人所投產(chǎn)品為進(jìn)口產(chǎn)品的，提供制造商（或制造商在中國設(shè)立的子公司或分公司或中國總代理商）出具合法有效的技術(shù)參數(shù)確認(rèn)函進(jìn)行佐證（材料若為外文材料須提供中文翻譯件并加蓋投標(biāo)人公章）；投標(biāo)人所投產(chǎn)品為國產(chǎn)的，提供技術(shù)要求響應(yīng)/偏離表（技術(shù)參數(shù)完全響應(yīng)或優(yōu)于）。2超聲切割機(jī)1針對玻璃、陶瓷、半導(dǎo)體及地質(zhì)等脆性材料可切割出滿足透射電鏡制樣需要的3mm直徑圓片;2驅(qū)動頻率≥20kHZ超聲波對切削液進(jìn)行振蕩，實現(xiàn)對脆性材料的無損切割，切割形狀由前段配備的金屬頭來進(jìn)行控制；3配套顯微鏡附件用于樣本觀察和定位，且采用反射光系統(tǒng)加強對樣品的觀察,顯微鏡放大倍數(shù)不低于10倍，重復(fù)定位精度不低于20um；4超聲切割容器通過支架與載物臺剛性連接，使材料平行1臺3/4于刀具，從而方便切割平行厚度的樣品；5、以上1-4項投標(biāo)文件中提供投標(biāo)人所投產(chǎn)品為進(jìn)口產(chǎn)品的，提供制造商（或制造商在中國設(shè)立的子公司或分公司或中國總代理商）出具合法有效的技術(shù)參數(shù)確認(rèn)函進(jìn)行佐證（材料若為外文材料須提供中文翻譯件并加蓋投標(biāo)人公章）；投標(biāo)人所投產(chǎn)品為國產(chǎn)的，提供技術(shù)要求響應(yīng)/偏離表（技術(shù)參數(shù)完全響應(yīng)或優(yōu)于）。3等離子清洗儀1具備能夠真空存儲透射電鏡樣品桿的功能;2采用ICP誘導(dǎo)方式產(chǎn)生等離子體，同時通過配備的Downstream區(qū)域能夠去除等離子體中的離子/電子成分，僅利用自由基進(jìn)行清洗，去除濺射損傷和熱效應(yīng)對樣品的破壞；3等離子清洗功率調(diào)節(jié)范圍：≥0-50W；4觸摸屏式電腦控制；5清洗去除效率：不小于1nm/min@30W;6進(jìn)氣濾網(wǎng)孔徑：≤05μm；7配有專用真空泵及真空清洗腔體，且樣品艙尺寸不小于3英寸；8配有不小于60L/s隔膜泵，提供無油真空環(huán)境；9能夠同時清洗和存儲不少于2根透射電鏡樣品桿10配備真空觸發(fā)設(shè)定機(jī)制，可自動在設(shè)定真空范圍內(nèi)進(jìn)行樣品清洗；11等離子清洗儀配備全量程真空計，能夠?qū)崟r讀出系統(tǒng)真空值；12、以上1-11項投標(biāo)文件中提供投標(biāo)人所投產(chǎn)品為進(jìn)口產(chǎn)品的，提供制造商（或制造商在中國設(shè)立的子公司或分公司或中國總代理商）出具合法有效的技術(shù)參數(shù)確認(rèn)函進(jìn)行佐證（材料若為外文材料須提供中文翻譯件并加蓋投標(biāo)人公章）；投標(biāo)人所投產(chǎn)品為國產(chǎn)的，提供技術(shù)要求響應(yīng)/偏離表（1臺4/4技術(shù)參數(shù)完全響應(yīng)或優(yōu)于）。注：以上所有的技術(shù)要求為必須滿足項，否則作無效響應(yīng)處理。