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中國科學院半導體研究所銻化物感應耦合等離子體（ICP）刻蝕系統(tǒng)采購項目招標文件招標編號：OITC-G250570457采購人：中國科學院半導體研究所采購代理機構(gòu)：東方國際招標有限責任公司2025年8月1目錄第一部分投標邀請2第二部分投標人須知資料表6第三部分投標人須知11第四部分合同一般條款及格式25第五部分合同特殊條款36第六部分附件37第七部分資格審查和評標辦法64第八部分采購需求692第一部分投標邀請項目概況中國科學院半導體研究所銻化物感應耦合等離子體（ICP）刻蝕系統(tǒng)采購項目招標項目的潛在投標人應在wwwoitccascom獲取招標文件，并于2025年9月3日09點30分（北京時間）前遞交投標文件。一、項目基本情況項目編號：OITC-G250570457項目名稱：中國科學院半導體研究所銻化物感應耦合等離子體（ICP）刻蝕系統(tǒng)采購項目預算金額：318萬元（人民幣）最高限價（如有）：318萬元（人民幣）采購需求：1、采購項目的名稱、數(shù)量：投標人可對其中一個包或多個包進行投標，須以包為單位對包中全部內(nèi)容進行投標，不得拆分，評標、授標以包為單位。2、技術(shù)要求詳見公告附件。合同履行期限：詳見采購需求本項目不接受聯(lián)合體投標。二、申請人的資格要求：1滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定；2落實政府采購政策需滿足的資格要求：不涉及包號貨物名稱數(shù)量（臺/套）是否允許采購進口產(chǎn)品采購預算（萬元人民幣）1銻化物感應耦合等離子體（ICP）刻蝕系統(tǒng)1是31833本項目的特定資格要求：（1）除單一來源采購項目外，為采購項目提供整體設計、規(guī)范編制或者項目管理、監(jiān)理、檢測等服務的供應商，不得再參加該采購項目的其他采購活動。同一供應商可以同時承擔項目的整體設計、規(guī)范編制和項目管理、監(jiān)理、檢測等服務；（2）投標單位負責人為同一人或者存在直接控股、管理關系的不同供應商，不得參加同一合同項下的政府采購活動；（3）按本投標邀請的規(guī)定獲取招標文件；（4）本項目不允許分包和轉(zhuǎn)包；（5）投標人不得為列入失信被執(zhí)行人、重大稅收違法案件當事人名單、政府采購嚴重違法失信行為記錄名單的供應商。三、獲取招標文件時間：2025年8月4日至2025年8月29日，每天上午9:00至11:00，下午13:00至17:00。（北京時間，法定節(jié)假日除外）地點：wwwoitccascom；北京市海淀區(qū)丹棱街1號互聯(lián)網(wǎng)金融中心20層方式：登錄東方招標平臺wwwoitccascom注冊并購買。售價：￥600元，本公告包含的招標文件售價總和四、提交投標文件截止時間、開標時間和地點：提交投標文件截止時間：2025年9月3日09點30分（北京時間）開標時間：2025年9月3日09點30分（北京時間）地點：北京市海淀區(qū)丹棱街1號互聯(lián)網(wǎng)金融中心20層科創(chuàng)廳五、公告期限自本公告發(fā)布之日起5個工作日。六、其它補充事宜1、招標文件采用網(wǎng)上電子版本發(fā)售和紙質(zhì)招標文件同時發(fā)售方式：