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zycgr22011903晶圓清洗機采購招標項目更正公告文件.pdf

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上海市 2025-11-07 1.07MB
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晶圓清洗機采購招標項目招標文件項目編號：2505004026項目名稱：晶圓清洗機采購招標項目招標人：ZYCGR22011903招標代理機構：上海國際招標有限公司2025年10月SITCi總目錄第一章投標邀請書1第二章投標人須知5第三章評標辦法28第四章合同條款及格式37第五章采購需求49第六章投標文件格式57第1頁共74頁招標文件項目編號：2505004026第一章投標邀請書SITC晶圓清洗機采購招標項目招標文件（項目編號：2505004026）第2頁共74頁投標邀請書項目概況晶圓清洗機采購招標項目的潛在投標人應在上海國際招標有限公司網(wǎng)站(https://wwwshabiddingcom)獲取招標文件，并于2025年11月21日9點00分（北京時間）前遞交投標文件。一、項目基本情況項目編號：2505004026項目名稱：晶圓清洗機采購招標項目預算金額：人民幣660萬元最高限價（如有）：人民幣660萬元采購需求：標的的名稱：晶圓清洗機數(shù)量：貳套簡要技術需求：晶圓清洗機是為確保薄膜沉積與光刻工藝前襯底表面絕對潔凈而設計的高可靠性系統(tǒng)，具備中試生產(chǎn)規(guī)模，為提升柔性神經(jīng)電極和其他幾乎所有微納器件的良率與性能一致性提供了基礎保障。其核心優(yōu)勢在于采用多槽式全封閉集群設計，集成多種清洗手段，實現(xiàn)全程超凈環(huán)境下的自動化清洗與干燥，徹底消除顆粒污染，杜絕因表面污染導致的薄膜脫落、電性能劣化及缺陷問題。該設備是保障前后道工藝界面質(zhì)量的關鍵環(huán)節(jié)。是否允許采購進口產(chǎn)品或服務：本項目不允許采購進口產(chǎn)品或服務。上述采購需求中未明確允許采購進口產(chǎn)品的，視為拒絕進口產(chǎn)品參加。合同履行期限：詳見本項目招標文件“第五章采購需求”本項目不接受聯(lián)合體投標。二、申請人的資格要求：1滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定；為此，投標人應按《中華人民共和國政府采購法實施條例》第十七條第一款的規(guī)定在投

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