指標(biāo)需求(平臺項(xiàng)目,指標(biāo)需求先寫明平臺指標(biāo),再寫明各個(gè)設(shè)備、軟件的指標(biāo)。)主要功能指標(biāo)1激光穩(wěn)頻精度:≤±005ppm指標(biāo)2測量精度:≤±05ppm指標(biāo)3分辨率:1nm指標(biāo)4測量范圍:0-40m指標(biāo)5最高測量速度:2m/s指標(biāo)6預(yù)熱時(shí)間:<10min指標(biāo)7指定精度范圍:5℃-35℃指標(biāo)8動(dòng)態(tài)采樣頻率:10Hz-50kHz指標(biāo)9激光安全等級達(dá)到ClassI級別環(huán)境要求環(huán)境溫度:0℃-40℃;氣壓:5-115kPa;相對濕度:0-95%RH非冷凝計(jì)量需求設(shè)備交付前送至計(jì)量院進(jìn)行設(shè)備檢定并出具檢定證書。(每3年檢定一次:每月累計(jì)使用時(shí)長≤80h)。檢測機(jī)構(gòu):中國計(jì)量院、江蘇計(jì)量院、南京晨光計(jì)量、上海市計(jì)量院、深圳市計(jì)量院、廣東計(jì)量院等具備檢定資質(zhì)的相關(guān)計(jì)量單位。其他說明接口:USB通訊端口電源100-240V、AC自適應(yīng)脈沖出發(fā)輸入配置清單1激光干涉儀主機(jī)及標(biāo)配附件;2通用三腳架;3便攜式筆記本電腦;4環(huán)境補(bǔ)償單元(環(huán)境補(bǔ)償主機(jī)、空氣溫度探頭、材料溫度探頭);5角度鏡組(干涉鏡、反射鏡);6線性鏡組(干涉鏡、反射鏡、夾緊孔座);7短直線度鏡組(干涉鏡、反射鏡);8直線度附件(大角錐反射鏡、90度轉(zhuǎn)向鏡、接頭);9自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺
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