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蘇州大學(xué)關(guān)于光刻系統(tǒng)招標公告（招標編號：S2025122）項目所在地區(qū)：江蘇省/蘇州市一、招標條件本光刻系統(tǒng)已由項目審批/核準/備案機關(guān)批準，項目資金來源為其他資金：37100000000萬元，招標人為蘇州大學(xué)。本項目已具備招標條件，現(xiàn)招標方式為公開招標。二、項目概況與招標范圍規(guī)模：標段1：雙面對準紫外光刻機（預(yù)算金額為51萬元）標段2：超快激光精密測量系統(tǒng)（預(yù)算金額為220萬元）標段3：高精度3D無掩膜光刻設(shè)備（預(yù)算金額為100萬元）。范圍：本招標項目劃分為1個標段，本次招標為其中的：光刻系統(tǒng)三、投標人資格要求光刻系統(tǒng)：（一）一般資格條件1具有獨立承擔民事責任的能力2具有良好的商業(yè)信譽和健全的財務(wù)會計制度3具有履行合同所必需的設(shè)備和專業(yè)技術(shù)能力4有依法繳納稅收和社會保障資金的良好記錄5近三年內(nèi)，在經(jīng)營活動中沒有重大違法記錄6本項目不接受聯(lián)合體投標（二）落實政府采購政策需滿足的資格要求：無。本項目不允許聯(lián)合體投標。四、招標文件的獲取獲取時間：2025年11月13日15時00分到2025年12月01日12時00分獲取方式：網(wǎng)上自行下載：https://zbzxsudaeducn/66/98/c9291a681624/pagehtm五、投標文件的遞交遞交截止時間：2025年12月05日09時00分遞交方式：順豐快遞（建議優(yōu)先采用）六、開標時間及地點開標時間：2025年12月05日09時00分開標地點：江蘇省蘇州市東環(huán)路50號凌云樓0903室七、其他一、項目名稱：光刻系統(tǒng)二、招標編號：S2025122三、招標人：蘇州大學(xué)采購與招投標管理中心地址：江蘇省蘇州市東環(huán)路50號凌云樓0904室郵編：215021傳真：0512-67165076聯(lián)系人：羅老師電話：0512-67504198，67504359電子郵箱：lrb998@sudaeducn技術(shù)聯(lián)系人：王老師電話：*電子郵箱：kxwang@sudaeducn四、招標貨物品名、數(shù)量、主要性能參數(shù)基本要求本項目共分3標段，所有標段可兼投兼中。供應(yīng)商可選擇參與其中一個或多個標段投標，也可參與全部標段投標。標段1：雙面對準紫外光刻機（預(yù)算金額為51萬元）標段2：超快激光精密測量系統(tǒng)（預(yù)算金額為220萬元）標段3：高精度3D無掩膜光刻設(shè)備（預(yù)算金額為100萬元）第一標段雙面對準紫外光刻機1臺1光源類型：LED光源或汞燈等。2曝光面積：8寸向下兼容。3曝光波長：365mm:0-50mW/cm2數(shù)字連續(xù)可調(diào)。4分辨力：1μm。5對準精度：12μm(單面)，2μm(雙面，片厚≤08mm)。6正面面對準：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計算機合像，物鏡軸距范圍40mm?140mm。7底面面對準：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計算機合像，物鏡軸距范圍20mm-140mm。8具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能。9照明不均勻性:士2%(Ф100mm范圍)，士3%(Ф150mm范圍)。10質(zhì)保期不少于1年。第二標段超快激光精密測量系統(tǒng)1套1激光脈沖時域特性測量11輸入脈沖波長范圍：450nm?1200nm。12脈寬長度測試范圍：7fs?10ps。13掃描范圍：最大到30ps。14掃描分辨率≤2fs。15最小延遲增量：1fs。16光譜分辨率：06nm?1nm。17光譜范圍：225nm?600nm。18脈沖復(fù)雜度：TBWP≤50。19強度精度：~2%。110相位精度：001radians。111實時靈敏度：~4W2。112平均靈敏度：~001W2。113輸入光斑直徑：2mm~8mm,準直。114極化方向：水平。115采集速度：≥2Hz(64x64柵格)。2激光空域特性測量21全自動分析激光光束質(zhì)量：光斑大小、能量分布、質(zhì)心、峰值中心、高斯擬合度、光斑指向穩(wěn)定性、M2因子、發(fā)散角等，所有結(jié)果均符合ISO標準。22響應(yīng)波長范圍：266nm?1100nm。23最大測量光斑大?。?7×56mm。24分辨率：2472×2064。25像素大小：274×274μm。26動態(tài)范圍：67dB。27速度快：1分鐘內(nèi)出結(jié)果，并可輸出PDF測量結(jié)果報告以及多種格式的日志。28含自動衰減器。29連續(xù)和脈沖激光均可測量。3激光波形捕獲特性測量31模擬通道帶寬：2GHz。324個模擬通道，16個數(shù)字通道，1個EXT通道。33最高實時采樣率：10GSa/s(非交織模式)。34最高存儲深度：500Mpts。35波形捕獲率高于600,000個波形每秒。36選配支持眼圖和抖動分析(需購買選件)。37垂直靈敏度范圍：1mV/div-10V/div(1MΩ)。38時基范圍：200ps/div-1ks/div。