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一、技術(shù)要求：1、動態(tài)干涉儀主機(jī)：★11光源：穩(wěn)頻HeNe激光，波長：6328nm，相干長度：＞100m?！?2測試光口徑：100mm?！?3CCD分辨率：＞1k*1k像素?！?4調(diào)焦范圍：≥30mm（需提供技術(shù)支持資料并加蓋投標(biāo)人公章。技術(shù)支持資料包括制造商公開發(fā)布的印刷資料、第三方檢測機(jī)構(gòu)出具的檢測報告、或經(jīng)制造商蓋章的技術(shù)方案、或投標(biāo)人提供的技術(shù)方案的詳細(xì)論述或說明）?！?5RMS重復(fù)精度：＜0001波長@6328nm。★16RMS測量精度：＜0002波長@6328nm。17樣品反射率：1%~100%。18數(shù)據(jù)分析軟件：數(shù)據(jù)平均，峰谷值（PV值）、標(biāo)準(zhǔn)偏差（RMS）、等高圖、三維立體圖、干涉條紋圖、X-Y剖面圖、MTF光學(xué)傳遞函數(shù)、PSF點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)、波前梯度等。▲19最小曝光時間：≤35μs（需提供技術(shù)支持資料并加蓋投標(biāo)人公章。技術(shù)支持資料包括制造商公開發(fā)布的印刷資料、第三方檢測機(jī)構(gòu)出具的檢測報告、或經(jīng)制造商蓋章的技術(shù)方案、或投標(biāo)人提供的技術(shù)方案的詳細(xì)論述或說明）。110光瞳放大率：固定光學(xué)變焦≥1倍+數(shù)字變焦≥3倍。2、五維調(diào)整臺附件：21三維平移調(diào)整范圍：≥30mm。22三維平移調(diào)整分辨率：≤1μm。23二維角度（偏擺和俯仰）調(diào)整范圍：≥3°。24二維角度（偏擺和俯仰）調(diào)整分辨率：≤1″。3、球面標(biāo)準(zhǔn)鏡頭附件：▲31球面標(biāo)準(zhǔn)鏡頭1：EFL=9mm，透射波前：≤λ/10（λ@6328nm）。（需提供測試光路和測試數(shù)據(jù)圖并加蓋投標(biāo)人公章。）▲32球面標(biāo)準(zhǔn)鏡頭2：EFL=175mm，透射波前：≤λ/10（λ@6328nm）。（需提供測試光路和測試數(shù)據(jù)圖并加蓋投標(biāo)人公章。）33球面標(biāo)準(zhǔn)鏡頭3：EFL=27mm，透射波前：≤λ/10（λ@6328nm）。34球面標(biāo)準(zhǔn)鏡頭4：EFL=35mm，透射波前：≤λ/10（λ@6328nm）。35球面標(biāo)準(zhǔn)鏡頭5：EFL=60mm，透射波前：≤λ/10（λ@6328nm）。36球面標(biāo)準(zhǔn)鏡頭6：EFL=150mm，透射波前：≤λ/10（λ@6328nm）。4、光束擴(kuò)展模塊：▲41輸出口徑：≥Φ150mm（需提供技術(shù)支持資料并加蓋投標(biāo)人公章。技術(shù)支持資料包括制造商公開發(fā)布的印刷資料、第三方檢測機(jī)構(gòu)出具的檢測報告、或經(jīng)制造商蓋章的技術(shù)方案、或投標(biāo)人提供的技術(shù)方案的詳細(xì)論述或說明）。▲42輸出波前PVq：≤λ/4（λ@6328nm）。（需提供測試光路和測試數(shù)據(jù)圖并加蓋投標(biāo)人公章。）5、平面校準(zhǔn)參考模塊：51標(biāo)準(zhǔn)平面鏡：511材質(zhì)要求：熔石英或微晶材料。512標(biāo)準(zhǔn)平面鏡有效口徑：≥Φ150mm。513標(biāo)準(zhǔn)平面鏡精度：▲5131面形精度：PV≤λ/20（λ@6328nm）。（需提供測試光路和測試數(shù)據(jù)圖并加蓋投標(biāo)人公章。）▲5132中頻誤差精度：PSD1≤08nm。（需提供測試光路和測試數(shù)據(jù)圖并加蓋投標(biāo)人公章。）52標(biāo)準(zhǔn)平面鏡五維調(diào)整架：521可夾持口徑：≥Φ160mm。522調(diào)節(jié)方式：三維平移調(diào)節(jié)，兩維角度調(diào)節(jié)。523三維平移調(diào)節(jié)范圍：≥20mm。524兩維角度調(diào)節(jié)范圍：≥3°。6、干涉測量輔助定位模塊：▲61空間測量距離：≥20m（需提供技術(shù)支持資料并加蓋投標(biāo)人公章。技術(shù)支持資料包括制造商公開發(fā)布的印刷資料、第三方檢測機(jī)構(gòu)出具的檢測報告、或經(jīng)制造商蓋章的技術(shù)方案、或投標(biāo)人提供的技術(shù)方案的詳細(xì)論述或說明。）?！?2空間坐標(biāo)測量最大允許誤差（MPE值）：≤±（10μm+5μm/m）（需提供技術(shù)支持資料并加蓋投標(biāo)人公章。技術(shù)支持資料包括制造商公開發(fā)布的印刷資料、第三方檢測機(jī)構(gòu)出具的檢測報告、或經(jīng)制造商蓋章的技術(shù)方案、或投標(biāo)人提供的技術(shù)方案的詳細(xì)論述或說明。）。63測距模式：絕對測距+干涉測距。64干涉測距精度：≤05μm/m?！锒?、商務(wù)要求：1、交貨期：合同簽訂后8周內(nèi)到貨并完成安裝。2、交貨地點(diǎn)：中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所3、付款方式：31合同生效后15個工作日內(nèi)，在收到中標(biāo)人開具合同金額5%的履約保證金后（自主選擇以支票、匯票、本票、保函等非現(xiàn)金形式繳納或提交。履約保證金在中標(biāo)人履行完成合同約定的權(quán)利義務(wù)事項(xiàng)并在質(zhì)保期滿后按原方式退還。），向中標(biāo)人支付合同總金額的40%。32在中標(biāo)人現(xiàn)場通過采購人組織預(yù)驗(yàn)收后，采購人憑預(yù)驗(yàn)收合格報告在15個工作日內(nèi)向中標(biāo)人支付合同總金額的30%；33在采購人現(xiàn)場完成安裝調(diào)試，并通過采購人組織終驗(yàn)收，由中標(biāo)人先開具全部貨款發(fā)票，采購人憑終驗(yàn)收合格報告并在15個工作日內(nèi)向中標(biāo)人支付合同總金額的30%。4、質(zhì)量保證期：終驗(yàn)收合格后2年質(zhì)保。5、安裝調(diào)試與驗(yàn)收：51安裝與調(diào)試：511中標(biāo)人有專門的項(xiàng)目負(fù)責(zé)人負(fù)責(zé)產(chǎn)品到貨、安裝、調(diào)試、維護(hù)等，在合同執(zhí)行期間采購人在任何工作時間均可以聯(lián)系上該項(xiàng)目負(fù)責(zé)人。（提供承諾函）512中標(biāo)人具備提供快速服務(wù)響應(yīng)的能力，可長期提供設(shè)備的安裝、調(diào)試、維修、培訓(xùn)、備件供應(yīng)等技術(shù)服務(wù)。中標(biāo)人在收到設(shè)備故障通知后12小時內(nèi)做出響應(yīng)；如有必要，中標(biāo)人維修人員須在48小時內(nèi)抵達(dá)采購人現(xiàn)場維修。重大問題或其他無法迅速解決的問題應(yīng)在一周內(nèi)解決或提出明確解決方案。質(zhì)保期內(nèi)，中標(biāo)人有責(zé)任和義務(wù)提供非人為因素故障的免費(fèi)維修服務(wù)，并免費(fèi)提供故障更換零件，免費(fèi)軟件升級；質(zhì)保期外，中標(biāo)人亦應(yīng)及時提供有償服務(wù)。513設(shè)備終驗(yàn)收完成后，若采購人安裝場地變更，中標(biāo)人需免費(fèi)提供一次整套設(shè)備的搬遷調(diào)試及精度復(fù)原工作的服務(wù)。52驗(yàn)收：521按照合同及協(xié)議所列技術(shù)要求編制驗(yàn)收檢測大綱，經(jīng)采購人質(zhì)量檢驗(yàn)部門審核后作為驗(yàn)收依據(jù)。522預(yù)驗(yàn)收：雙方（采購人派遣質(zhì)量檢驗(yàn)人員）依照驗(yàn)收檢測大綱在中標(biāo)人場地進(jìn)行設(shè)備預(yù)驗(yàn)收，由雙方簽署預(yù)驗(yàn)收檢測報告。523設(shè)備到達(dá)采購人指定使用地點(diǎn)后，由雙方共同進(jìn)行開箱，查看設(shè)備狀態(tài)，收集資料，按照設(shè)備清單（或裝箱單）清點(diǎn)設(shè)備及附件，雙方簽字。524終驗(yàn)收：雙方依照驗(yàn)收檢測大綱在采購人現(xiàn)場進(jìn)行設(shè)備終驗(yàn)收，由采購人質(zhì)量檢驗(yàn)部門出具設(shè)備入所檢測報告。6、技術(shù)培訓(xùn)要求：61設(shè)備安裝后，進(jìn)行終驗(yàn)收時，在采購人現(xiàn)場提供不少于2天的操作、日常維護(hù)、軟件使用等培訓(xùn)。7、設(shè)備隨機(jī)文檔：71裝箱清單（紙質(zhì)版）：1份。72用戶手冊（紙質(zhì)版）：2份。73軟件使用說明書（紙質(zhì)版）：2份。74出廠檢驗(yàn)報告（紙質(zhì)版）：2份。75質(zhì)量合格證書或證明文件（紙質(zhì)版）：1份。三、其他要求（此部分內(nèi)容無須在響應(yīng)表中進(jìn)行響應(yīng)）：