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1采購需求一總體說明1總體說明11本章所提出的技術要求是對本次招標貨物及伴隨服務的基本要求，并未涉及所有技術細節(jié)，也未充分引述有關標準、規(guī)范的全部條款。投標人應保證其提供的貨物及伴隨服務除了滿足本技術要求外，還應符合中國國家、行業(yè)、地方或設備制造商所在國的有關強制性標準、規(guī)范。當上述標準、規(guī)范的有關規(guī)定之間存在差異時，應以要求高的為準。12本章中提及的工藝、材料、設備的標準及品牌或型號（如有）僅起說明作用，并沒有強制性。投標人在投標中可以用替代工藝、材料、設備的標準及品牌或型號，但這種替代須實質上滿足、等同或優(yōu)于本章技術要求，同時須提供相關證明材料，否則可能被評標委員會認定為負偏離。13除非有特別說明，本章中所列的具體參數(shù)或參數(shù)范圍，均理解為招標人可接受的最低要求。2采購內(nèi)容序號標的名稱單位數(shù)量備注1定制低維材料超高真空富氧耦合生長分析系統(tǒng)套1/3技術要求31標識符號標識類型標識符號標識符號含義實質性參數(shù)★負偏離或未響應視為實質性不響應招標文件要求重要參數(shù)●重要技術指標，根據(jù)評分辦法中相關要求進行評審未標記參數(shù)根據(jù)評分辦法中相關要求進行評審注：標識條款中如包含多條子項技術參數(shù)或要求，則需滿足或優(yōu)于該標識條款內(nèi)所有子項技術參數(shù)或要求方能得分。32技術要求表標序組件名稱技術性能參數(shù)2識符號號★1超高真空生長腔采用316不銹鋼腔體，帶擋板觀察窗，能清楚觀察到靶材、樣品臺；腔體配備電磁控制安全閥和放氣閥；激光入射口視窗采用石英視窗；配置烘烤系統(tǒng)，最高烘烤溫度≥120℃；生長室極限真空≤4E-10Torr；2生長腔泵組配備分子泵：對氮氣抽速≥380L/s，前級干泵：對氮氣抽速≥10m3/h；并且配套氣動閘板閥用于保護分子泵。3生長腔真空規(guī)安裝電離真空規(guī)，測量范圍：2E-11Torr~13E-3Torr；安裝全量程規(guī)，測量范圍：1E-8Torr~760Torr；安裝電容薄膜規(guī)，測量范圍：1E-3Torr~1Torr；★4生長腔襯底加熱器采用SiC輻射加熱，輻射加熱樣品溫度范圍室溫~850℃，溫度穩(wěn)定性≤±05℃；樣品可在一個大氣壓氧壓下進行原位退火；●5樣品架樣品尺寸：10×10mm（旗型樣品托）；X/Y移動行程：±75mm，Z移動行程:≥100mm，Theta（R1，繞Z軸）旋轉范圍：±180°；●6靶材旋轉基臺基臺配有6個1英寸靶材停放位；基臺R1（公轉方向）旋轉，360°連續(xù)旋轉，馬達控制，R2（自轉方向）旋轉，360°連續(xù)旋轉，馬達控制；基于PC的馬達控制軟件，便于樣品操控使用；●7線性mask通過電機控制Mask移動方向、移動速率和掩模版定位，實現(xiàn)樣品的掩膜生長，移動精度01mm；★8射頻等離子體源射頻等離子體源使用固態(tài)射頻電源驅動，能夠適配多種氣體。安裝法蘭：CF40；適用氣體：≥3種工作頻率：415~445MHz；最大功率：200W；真空內(nèi)長度：120±10mm；★9臭氧注入器注入器帶噴嘴，用于O3的注入；O3噴嘴與樣品臺距離可調(diào)節(jié)（0~100mm）；●10快速進樣腔腔體配備電磁控制安全閥和放氣閥；配置烘烤系統(tǒng)，最高烘烤溫度不小于120℃；可停放樣品數(shù)量：進樣可載樣不少于6片（旗型托）或者不少于2個（一英寸靶材托盤）11快速進樣腔泵組安裝分子泵（1臺）和前級干泵（1臺），分子氮氣抽速≥67L/s，前級干泵：對氮氣抽速≥10m3/h；進樣室極限真空優(yōu)于5E-8Torr；12快速進樣腔真空規(guī)全量程規(guī)測量范圍：1E-8Torr~760Torr；13紅外測溫系統(tǒng)采用紅外測溫系統(tǒng)表標定襯底溫度，測溫范圍70℃~1100℃14氣路系統(tǒng)配備3路工藝氣路：3管路由316不銹鋼制造，配VCR配件以及焊接管道；配備質量流量計量，流量范圍0~100sccm，可通過軟件控制氣體流量;★15控制系統(tǒng)集成真空泵保護、真空關聯(lián)互鎖、烘烤安全保護等：采用計算機控制系統(tǒng)，具有工藝配方編程及自動控制功能，工藝程序可存儲；圖形化顯示系統(tǒng)工作狀態(tài)；4商務要求41供應商提供整機1年免費保修服務，包含人工、維修及零件等費用。在合同期內(nèi)，供貨商需要及時提供維修服務，包括設備的正常檢修、維護和調(diào)試等。保修期自儀器驗收簽字之日算起，保修期內(nèi)因質量問題而導致儀器停用的時間從保修期中扣除。保修期滿前1個月廠家負責一次免費全面檢查，出具正式報告，并負責排除潛在問題。42廠家在儀器設備故障報修申請24小時內(nèi)做出相應；常規(guī)問題在48小時內(nèi)解決；較大問題應在3天內(nèi)解決或提出明確的解決方案，經(jīng)用戶認可后，在預定期限內(nèi)解決問題。否則，供應商應賠償由此造成的損失。43供應商常年提供技術支持，以及所需零部件的供應；協(xié)助采購人做好設備開發(fā)應用工作并終身提供免費的應用咨詢和技術幫助。